收藏本站
《声学学报》 1988年03期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

光声显微镜对集成电路的分层成象

陈力  张淑仪  
【摘要】:利用光声显微镜对集成电路的亚表面结构进行剖析和检测是研究光声显微镜的重要目的之一.本文在理论上从一维热弹模型出发,针对我们的光声成象系统(特别是光声效应的压电接收系统)提出了一些特定的边界条件,计算并分析了利用光声显微镜系统对集成电路实现分层成象的可能性,并且在实验上得到了部分分层成象的结果,显示出光声显微镜作为集成电路生产的监控和检测工具有重要的应用前景.

知网文化
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 张淑仪,陈力,徐建生;激光扫描光电显微镜[J];应用科学学报;1987年01期
2 张淑仪;光声显微成象——一种新型显微成象技术[J];应用声学;1983年03期
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 张淑仪,陈力,徐建生;激光扫描光电显微镜[J];应用科学学报;1987年01期
【相似文献】
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 蒋诗平;陈亮;陈阳;施朝淑;杜淮江;王忠民;范扬眉;韩荣典;;快中子成象的实验研究(摘要)[A];第七届全国中子计学术会议论文摘要集[C];2004年
2 华铁均;;红外亚成象光电混合实时处理技术[A];'99十一省(市)光学学术会议论文集[C];1999年
3 潘新宇;李霞;龚旗煌;;飞秒时间分辨光声波谱技术[A];第五届全国光学前沿问题研讨会论文摘要集[C];2001年
4 钱祖平;洪伟;;FD方法与MEI方法应用于地下二维目标的电磁成象[A];1999年全国微波毫米波会议论文集(下册)[C];1999年
5 汤栋;李方华;滕晨明;邹进;姜彦岛;;Li~+HREM象衬的研究[A];第四次全国电子显微学会议论文摘要集[C];1986年
6 周欣;孙献平;罗军;曾锡之;刘买利;;通过SPINOE激光增强天然丰度~(13)C的NMR信号[A];第十三届全国波谱学学术会议论文摘要集[C];2004年
7 顾本立;顾宁;;二维逆散射成象数值解[A];1987年全国微波会议论文集(上)[C];1987年
8 ;2004全国物理声学会议论文集前言[A];2004年全国物理声学会议论文集[C];2004年
9 章东;陈曦;龚秀芬;;生物组织的声参量阵效应成像[A];中国声学学会1999年青年学术会议[CYCA'99]论文集[C];1999年
10 田作喜;门丽洁;刘彦琼;陈军锋;;激光产生的水下声源特性[A];中国声学学会2005年青年学术会议[CYCA'05]论文集[C];2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 尹邦政;基于多元阵列探测器的快速光声层析成像[D];华南师范大学;2004年
2 李华星;用多重尺度方法研究布拉格光栅中光声耦合方程[D];浙江师范大学;2011年
3 刘欣;基于光声光热检测技术的材料物理参数分布重构新方法的研究[D];天津师范大学;2012年
4 徐晓明;不透明材料热扩散率PTR测量方法的研究[D];苏州大学;2001年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026