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《上海师范大学学报(自然科学版)》 2020年04期
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国产硅片锥形缺陷的改善方法

陆振杰  李杰  郎玉红  
【摘要】:针对某国产硅片在验证过程中的锥形缺陷,通过优化拉晶和制作工艺中的等待时间管控,减少硅片的缺陷,提升硅片的质量.

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