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《人工晶体学报》 2018年12期
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N_2流量对脉冲溅射CrN_x薄膜结构和耐蚀性的影响

鲁媛媛  丁旭  罗甲文  吴坤尧  
【摘要】:采用脉冲磁控溅射法在不同氮气流量下制备出CrN_x薄膜,并利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)和电化学工作站对薄膜进行了系统分析,以研究氮气流量对其微观结构和耐蚀性的影响规律。结果表明:氮气流量较低时,薄膜的物相为Cr_2N~+CrN的复合相,当氮气流量增加至150sccm,物相转变为CrN单相;表面和截面形貌照片显示,随着氮气流量的增多,薄膜的表面粗糙度逐渐减小、致密度也得到改善。物相的变化和致密度的改善,使得腐蚀电流密度随氮气流量的增加而降低,即腐蚀速度逐渐减小,当氮气流量为150sccm时薄膜表现出最好的耐蚀性。

【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 谈淑咏;张旭海;吴湘君;蒋建清;;氮流量比对直流反应磁控溅射制备氮化铬涂层组织和性能的影响[J];机械工程材料;2010年07期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 谈淑咏;吴湘君;张旭海;张炎;蒋建清;朱雪锋;江先彪;;层厚比对磁控溅射Cr/CrN多层涂层组织和性能的影响[J];材料工程;2014年11期
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 田俊红;;磁控溅射制备CrN_x薄膜及其结构和性能研究[J];真空与低温;2007年03期
2 李戈扬,张俊秋,韩增虎,张惠娟;氮分压对CrN_x薄膜相结构与力学性能的影响[J];电子显微学报;2002年05期
【相似文献】
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1 鲁媛媛;丁旭;罗甲文;吴坤尧;;N_2流量对脉冲溅射CrN_x薄膜结构和耐蚀性的影响[J];人工晶体学报;2018年12期
2 张鑫;周艳文;高健波;郭媛媛;解志文;吕哲;;氮气流量对热丝增强等离子体磁控溅射制备CrN_x薄膜组织结构与性能的影响[J];真空科学与技术学报;2017年10期
3 张栋;孙丽丽;王振玉;柯培玲;汪爱英;谢仕芳;;离子束辅助磁控溅射沉积CrN_x薄膜结构以及力学性能研究[J];真空科学与技术学报;2013年12期
4 蔡元兴;主沉浮;李剑;;击穿电位法测定锌铬膜的耐蚀性能[J];腐蚀与防护;2007年07期
5 ;海洋性气候和海水中碳化铬基硬质合金的耐蚀性[J];硬质合金;1995年02期
6 郭树启,隋全武,唐风军,刘钢;影响碳—铝复合材料耐蚀性的因素[J];复合材料学报;1991年03期
7 刘倩;刘莹;朱秀榕;胡敏;;氩气与氮气流量比对磁控溅射法制备TiN薄膜的影响[J];机械工程材料;2009年03期
8 符寒光;自蔓延高温合成油气管的耐蚀性研究进展[J];材料开发与应用;2002年03期
9 周灵平,黄桂芳,李绍禄,李德意,陈小华;离子束类金刚石膜的摩擦磨损及耐蚀性能[J];材料开发与应用;2003年03期
10 吴立国;王铁钢;郭玉垚;杨祖兵;刘艳梅;唐宽瑜;;氮气流量对直流磁控溅射Zr-B-O-N薄膜摩擦学行为的影响[J];真空科学与技术学报;2018年10期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 张国平;;阴极弧沉积技术制备ZrN薄膜时氮气流量(分压)对薄膜性质的影响[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
2 杨帆;叶卫平;李威;程旭东;;锌铝复合涂层的耐蚀性能研究[A];第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛论文摘要集(一)[C];2014年
3 阎有花;刘迎春;方玲;赵海花;李德仁;卢志超;周少雄;;氮气流量对CuInS_2薄膜微结构的影响[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(1)[C];2007年
4 徐文彬;王德苗;董树荣;;双路反应气体溅射模型研究[A];TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2007年
5 李言荣;陶伯万;刘兴钊;;多元氧化物电子薄膜的倒筒式溅射技术研究[A];TFC'05全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2005年
6 薛玉明;刘维一;朴英美;李凤岩;何青;周志强;孙云;;孪生对靶溅射ZnO:AI薄膜的研究[A];2005'全国真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2005年
7 陈姝帆;李昌朋;孙来喜;叶鑫;蒋晓东;;激光打靶溅射防护氟化聚合物薄膜研究进展[A];第十二届全国光学前沿问题讨论会会议论文摘要集[C];2017年
8 曾武贤;谢泉;梁艳;张晋敏;肖清泉;杨吟野;任学勇;;不同溅射气压对β-FeSi_2形成的影响[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(1)[C];2007年
9 郭亮;漆璇;江伯鸿;戚震中;;非晶态镍钛形状记忆薄膜的溅射及晶化[A];面向21世纪的科技进步与社会经济发展(下册)[C];1999年
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