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《人工晶体学报》 2014年08期
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基于CVD自组装生长氧化锌半导体纳米结构的光电导紫外探测器研究

刘晗  赵小龙  彭文博  贺永宁  
【摘要】:报道了一种基于自组装生长ZnO纳米结构的光电导型紫外探测器。首先,在石英衬底上制备银叉指电极,然后溅射ZnO纳米薄膜形成一种共面光电导型金属-半导体-金属(MSM)结构,再利用低压CVD生长方法进行ZnO纳米线的原位生长,从而在器件顶部形成了ZnO纳米线垂直阵列和其上交错排列ZnO纳米线所构成的双层ZnO纳米线结构。这种器件底部的ZnO薄膜既是MSM光电导器件的电荷传输层,也同时作为上层ZnO纳米结构自组装生长的籽晶层,顶部的ZnO纳米结构层作为紫外光敏感层,测试结果表明该器件具有光响应速度快、光响应电流大和良好的紫外响应可分辨特性。研究表明,相比于单根ZnO纳米线光电导紫外器件而言,基于ZnO纳米结构膜层的光电导紫外探测器能够大幅度提高可测光响应电流。
【作者单位】西安交通大学电子与信息工程学院;
【基金】:中央高校基本科研业务费专项资金(xkjc2014011)
【分类号】:TQ132.41;TB383.1

【参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
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3 王万君;张艳;吴海霞;;热蒸发快速氧化法制备四枝杈纳米氧化锌[J];人工晶体学报;2011年01期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前4条
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中国重要会议论文全文数据库 前1条
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中国硕士学位论文全文数据库 前1条
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【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
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3 吴莉莉;邹科;赵金博;石元昌;吴佑实;;纳米ZnO的形态控制及其发光性能[J];人工晶体学报;2009年03期
4 张威;李梦轲;魏强;曹璐;杨志;乔双双;;ZnO纳米线场效应管的制备及I-V特性研究[J];物理学报;2008年09期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前3条
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2 高凯;李志宏;;金刚石材料的功能特性研究与应用[J];真空电子技术;2010年04期
3 周泽义;周鑫;赵玉祥;;痕量臭氧标准气体发生装置的研制[J];化学分析计量;2010年03期
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