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《金属学报》 2010年01期
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多组分缓冲层W梯度掺杂DLC复合薄膜研究

杨义勇  彭志坚  付志强  邬苏东  陈新春  王成彪  
【摘要】:用离子束辅助非平衡中频磁控溅射技术,在Si,高速钢或不锈钢基体上分别沉积得到了具有多组分过渡金属层缓冲的W梯度掺杂类金刚石碳(DLC)膜,研究了W靶电流对DLC膜组成、结构和性能的影响。实验表明,随着W靶电流增大,薄膜中W掺杂量增加,W的碳化物含量增加,sp~3结构含量减少;薄膜的纳米硬度和弹性模量逐渐增大,且材料抗塑性参数H/E随之增大;随W靶电流增大,材料与基体结合力增强,划痕实验临界载荷在80—100 N之间,材料摩擦系数增大;但磨损率因W掺杂而明显减小,且随W靶电流增大而减小。样品表面元素分布均匀,粗糙度(R_a)较小,R_a值在7.56—15.8 nm之间。

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 陈新春;彭志坚;付志强;王成彪;;梯度掺杂和纳米多层调制类金刚石薄膜的摩擦学性能[J];中国表面工程;2010年02期
2 吴忠振;田修波;程思达;巩春志;杨士勤;;高结晶度CrN纳米粒子掺杂的DLC薄膜的显微结构及力学性能[J];金属学报;2012年03期
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 王伟;钨含量及摩擦条件对掺钨类金刚石膜摩擦磨损性能影响[D];中国地质大学(北京);2010年
2 郑愉;类金刚石薄膜过渡层结构设计及薄膜力学性能研究[D];兰州理工大学;2012年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 代明江,林松盛,侯惠君,朱霞高,李洪武,况敏;用离子源技术制备类金刚石膜研究[J];中国表面工程;2005年05期
2 牛仕超;余志明;代明江;林松盛;候惠君;李洪武;;Cr/CrN/CrNC/CrC/Cr-DLC梯度膜层的研究[J];中国表面工程;2007年03期
3 孙丽丽;代伟;张栋;汪爱英;;Cr掺杂及Cr过渡层对类金刚石薄膜附着力的影响[J];中国表面工程;2010年04期
4 张碧云;曲燕青;谢红梅;聂朝胤;;类金刚石膜的制备技术及应用领域概况[J];表面技术;2007年03期
5 付志强;王成彪;杜秀军;王伟;邬苏东;于翔;彭志坚;林松盛;代明江;;靶电流对掺钨类金刚石膜的结构与摩擦学行为的影响[J];材料工程;2009年S1期
6 孟宪明;王凤英;黑立富;姜春生;唐伟忠;吕反修;;沉积参数对化学气相沉积纳米金刚石薄膜的影响[J];材料科学与工艺;2009年03期
7 李振军,徐洮,李红轩,郝俊英,周惠娣,陈建敏;类金刚石薄膜的摩擦学特性及磨损机制研究进展[J];材料科学与工程学报;2004年05期
8 柳翠,李国卿,张成武,李新;非平衡磁控溅射类金刚石碳膜的性能[J];材料研究学报;2004年02期
9 侯惠君;李洪武;林松盛;朱霞高;林凯生;代明江;;掺钨类金刚石膜的制备与性能研究[J];广东有色金属学报;2006年03期
10 李刘合,夏立芳,马欣新,孙跃;真空阴极弧离子镀类金刚石碳膜[J];哈尔滨工业大学学报;1999年01期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 李敬财;真空阴极电弧及等离子体化学气相法沉积类金刚石碳膜的研究[D];广东工业大学;2004年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 张贺勇;代明江;胡芳;韦春贝;林松盛;侯惠君;;SiC靶功率密度对无氢掺硅类金刚石薄膜摩擦学性能的影响[J];中国表面工程;2012年02期
2 崔锦峰;杨涛;张斌;强力;郑愉;张俊彦;;基底温度对掺氟类金刚石碳膜摩擦学性能的影响[J];中国表面工程;2012年03期
3 谢红梅;;类金刚石薄膜的摩擦学特性研究进展[J];表面技术;2011年03期
4 岳文;高晓成;王松;付志强;王成彪;刘家浚;;掺钨类金刚石膜离子渗硫后的微观结构与摩擦学性能[J];材料热处理学报;2012年12期
5 王永军;李红轩;吉利;刘晓红;吴艳霞;周惠娣;陈建敏;;非平衡磁控溅射制备类石墨碳膜及性能研究[J];物理学报;2012年05期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 高晓成;WS_2/W-DLC复合固体润滑薄膜的制备与组织性能研究[D];中国地质大学(北京);2012年
【相似文献】
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1 陈新春;彭志坚;付志强;王成彪;;梯度掺杂和纳米多层调制类金刚石薄膜的摩擦学性能[J];中国表面工程;2010年02期
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3 阎兴斌,徐洮,杨生荣,薛群基;电化学沉积DLC薄膜的摩擦学性能研究[J];摩擦学学报;2003年03期
4 王智;宋红霞;刘建立;张平余;张玉娟;;负偏压对DLC薄膜结构和摩擦学性能的影响[J];润滑与密封;2007年11期
5 王智;;射频感应耦合化学气相沉积类金刚石薄膜的摩擦性能研究[J];河北化工;2011年07期
6 白秀琴;李健;;对偶件表面状态对DLC薄膜摩擦学性能的影响[J];武汉理工大学学报;2007年11期
7 李国禄,王昆林,崔周平,刘家浚;助剂用量对 MC 尼龙力学和摩擦学性能的影响[J];清华大学学报(自然科学版);1998年08期
8 陈爽,刘维民;温度对PbS纳米微粒摩擦学性能的影响[J];摩擦学学报;1999年02期
9 方建华,陈波水,董凌,王九,李晓东;含硫、硼的改性菜籽油润滑添加剂的制备及摩擦学性能[J];石油学报(石油加工);2004年04期
10 万勇;刘维民;郭峰;;苯并噻唑衍生物的抗磨性能及作用机制[J];润滑与密封;2007年10期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 陈刚;阎兴斌;刘惠文;徐洮;;电化学沉积DLC和CNx薄膜摩擦学性能的比较[A];第五届全国表面工程学术会议论文集[C];2004年
2 李红轩;徐洮;陈建敏;周惠娣;刘惠文;;化学气相沉积类金刚石薄膜摩擦学性能的研究[A];第五届全国表面工程学术会议论文集[C];2004年
3 王建华;王国良;;含氮硼酸酯与硫化异丁烯配伍性研究[A];第七届全国摩擦学大会会议论文集(一)[C];2002年
4 江晓红;陆路德;杨绪杰;汪信;Struk V.A.;Skaskevich A.A.;;纳米类金刚石聚合物基复合材料的力学和摩擦学性能[A];纳米材料和技术应用进展——全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集(下卷)[C];2003年
5 杨广彬;柴单淘;熊秀娟;张晟卯;张平余;;纳米铜润滑油添加剂的制备及其摩擦学性能研究[A];2011年全国青年摩擦学与表面工程学术会议论文集[C];2011年
6 徐洮;陈建敏;赵家政;;铝质材料的摩擦学表面改性(Ⅱ)——铝阳极氧化膜的多孔质结构及自润滑处理[A];第六届全国摩擦学学术会议论文集(上册)[C];1997年
7 高永建;陈国需;王志民;蒋松;董俊修;;异辛酸稀土化合物的摩擦学性能研究[A];第七届全国摩擦学大会会议论文集(一)[C];2002年
8 周仲荣;;摩擦学尺寸效应及相关问题的思考[A];第七届全国摩擦学大会论文集(二)[C];2002年
9 高水英;张平余;;分子沉积聚合物纳米复合膜的摩擦学性能研究[A];第七届全国摩擦学大会论文集(二)[C];2002年
10 徐建生;何家胜;顾卡丽;游中流;;特效切削液添加剂的摩擦学特性研究[A];第七届全国摩擦学大会论文集(二)[C];2002年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 江苏茶梅灯芯绒科技有限公司 许汉国;贝特纶(PTT)多组分灯芯绒试制心得[N];中国纺织报;2005年
2 江其勤;多组分显微荧光探针分析技术成功应用[N];中国石化报;2007年
3 段安乐 田华;绿洲多组分大麻混纺纺织品及纺织工艺获国家专利[N];中国服饰报;2009年
4 天津长源医药科技发展有限公司 徐为公 徐鹏;中药提取物的国际化策略中(药发展战略研究三)[N];中国医药报;2005年
5 叶工;棉/玻纤包芯纱及织物[N];中国建材报;2005年
6 记者 姜艳;严厉打击制售假劣药品行为坚决治理"一药多名"现象[N];河北日报;2006年
7 国讯;《药品注册管理办法》实施有关事宜明确[N];中国医药报;2007年
8 徐研;陶瓷釉料配方的化学组成逐项满足法[N];广东建设报;2007年
9 记者  刘正午;用一年时间整顿和规范药品市场秩序[N];医药经济报;2006年
10 刘正午;中药标准化就是创新[N];医药经济报;2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
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1 王行;动态负载含油轴承摩擦学性能研究[D];浙江大学;2005年
2 黄海栋;片状纳米石墨和无机类富勒烯二硫化钼作为润滑油添加剂的摩擦学性能[D];浙江大学;2006年
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6 聂林;含油轴承摩擦学性能的分形研究[D];浙江大学;2006年
7 麻洪霞;聚合物纳米复合膜的制备及其摩擦学行为研究[D];河南大学;2008年
8 刘建芳;绿色水基润滑添加剂的研究[D];机械科学研究院;2005年
9 胡立琼;掺氮类金刚石薄膜的制备及其表征[D];北京印刷学院;2006年
10 杨攀龙;含氮硫润滑油添加剂的合成、表征和摩擦学性能研究(Ⅰ)[D];湘潭大学;2006年
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