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《红外与激光工程》 2005年04期
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硒化锌基底8~12μm高性能增透膜的研究

潘永强  朱昌  
【摘要】:为了提高硒化锌基底的透过率以及膜层的机械强度,对硒化锌基底上高性能的红外宽带减反射膜的设计与制备工艺进行了研究。介绍了红外宽带减反射膜的膜料选择、膜系的设计以及采用离子束辅助沉积该膜系的过程,给出了用该方法制备的8~12μm波段宽带减反射膜的实测光谱曲线,其峰值透过率高达99%以上,在设计波段范围内平均透过率大于98%,膜层附着性能好,光机性能稳定。这对于红外光学系统的应用具有十分重要的意义。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 贺才美;付秀华;张家斌;李珊;;可见与红外双波段宽带增透膜的研制[J];光学学报;2009年10期
2 潘永强;杭凌侠;梁海锋;田刚;;硒化锌基底2~16μm超宽带硬质红外增透膜的研制[J];光学学报;2010年04期
3 王利;程鑫彬;王占山;唐骐;范滨;;离子束辅助沉积薄膜工艺[J];红外与激光工程;2007年06期
4 杨雪;汪怡平;郭延龙;曹海源;米朝伟;田方涛;;脉冲激光沉积类金刚石膜红外增透技术研究[J];红外与激光工程;2011年01期
5 杨洁;付秀华;张静;;可见与远红外分色滤光片的研制[J];激光与红外;2011年02期
6 杨崇民;师建涛;赵兴梅;;红外探测装置中光谱分光镜的设计与制备[J];应用光学;2009年04期
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 胡常炳;紫外光固化有机—无机复合增透膜制备研究[D];浙江大学;2012年
2 陈作锦;红外透过材料的可控制备及其性能研究[D];北京化工大学;2012年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
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2 张泉,苏哲湘,陈耿晖,吴长发;高质量非规整多层膜自动制备的研究[J];光学精密工程;2004年03期
3 陈治平,王健,王歧英,何佑明,许自富,齐建文,侯本涛;多种物质的远红外吸收研究[J];红外与激光工程;2004年03期
4 严一心;卢进军;刘卫国;刘吉祥;王树棠;;宽束冷阴极离子源及其应用[J];西安工业大学学报;1989年04期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 谢强;张晓梅;;声光Q开关用1.064μm融石英低损耗增透膜实验研究[J];半导体光电;2006年04期
2 汤炳书;刘丽丽;殷恭维;周艳玮;沈廷根;;用一维多元光子晶体实现光学梳状滤波的数值研究[J];半导体光电;2006年06期
3 杨晓妍;半导体激光器腔面SiO、Au涂层的研究[J];半导体技术;1996年02期
4 罗晓春;孙继银;;物体表面发射率的测量方法[J];兵工自动化;2007年08期
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6 蔡家敏,林实;红外辐射加热过程分析[J];北京科技大学学报;1997年03期
7 林永昌,卢维强,李宸章,施华;硅膜特性与1060nm窄带干涉滤光片的研究[J];北京理工大学学报;1992年04期
8 迟莱茹;;非接触式红外立靶设计[J];长春光学精密机械学院学报;1993年01期
9 车英,刘炯;多半波滤光片的研究[J];长春光学精密机械学院学报;1995年03期
10 杨晓妍,杨莲,王玉霞;半导体激光器腔面高反射涂层的研究[J];长春光学精密机械学院学报;1995年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 康海宏;董华;李英;;典型天气条件下辐射制冷换热模型分析[A];中国建筑学会建筑热能动力分会第十七届学术交流大会暨第八届理事会第一次全会论文集[C];2011年
2 莫卫东;范琦;张海防;贾晋超;杨百愚;冯明德;;旨在减小散射损耗的激光反射膜系的研究与设计[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
3 王海涛;;二维扫描反射镜特性分析[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
4 栾亚东;;采用288×4CMT探测器的红外R-C光学系统的设计[A];2004全国光学与光电子学学术研讨会、2005全国光学与光电子学学术研讨会、广西光学学会成立20周年年会论文集[C];2005年
5 孙金玲;;点式红外可燃气体探测器的光学配置[A];山东省石油学会油田电力、通信及自动化技术研讨会优秀工程技术论文集[C];2009年
6 冯生荣;吴诚;;非制冷焦平面热像仪的光学问题[A];'99十一省(市)光学学术会议论文集[C];1999年
7 谭天亚;晋云霞;邵建达;范正修;;LBO晶体上ZrO_2薄膜的光学性质[A];上海市激光学会2005年学术年会论文集[C];2005年
8 李番;郑永超;韩春生;邬双阳;王治中;杨红果;;红外波段地球辐射特性的试验研究[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集(A 光电系统总体技术专题)[C];2006年
9 张滢清;张鑫;傅雨田;;长波红外探测器接收的冷屏内壁辐射估算[A];2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会论文集[C];2007年
10 石红春;郑冉;鲁泥藕;黄万才;霍承松;杨海;;热等静压(HIP)对CVDZnSe透过率的影响[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集(上册)[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 陈澎;机载激光荧光海上溢油信息提取与反演研究[D];大连海事大学;2012年
2 吴东江;有机及聚合物微腔激光器[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2000年
3 米凤文;衍/折红外混和光学系统及其测试技术研究[D];浙江大学;2001年
4 白胜元;光学薄膜设计及其在光波分复用系统中的应用[D];浙江大学;2001年
5 汤云晖;电气石的表面吸附与电极反应研究[D];中国地质大学(北京);2003年
6 杨立功;聚合物半导体薄膜的光电特性和器件研究[D];浙江大学;2005年
7 黄伟;中远红外激光薄膜技术研究[D];四川大学;2005年
8 李晓平;WDM薄膜滤光片和分束器的设计与制造研究[D];华中科技大学;2005年
9 张宏梅;微腔有机发光二极管的理论与实验研究[D];吉林大学;2006年
10 刘锡辉;高精度低定量纸页红外水分仪的研制及其在造纸生产中的应用[D];浙江大学;1995年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 赵缨慰;900nm~1100nm抗激光损伤高反射膜的研究[D];长春理工大学;2010年
2 孟庆蕾;提高有机太阳电池中空穴输出效率方法的研究[D];江南大学;2010年
3 李晓阳;红外目标模拟器标定技术研究[D];西安电子科技大学;2011年
4 李璟;红外全景光学系统设计[D];西安工业大学;2011年
5 袁渊明;磁约束磁控溅射源的关键技术研究[D];西安工业大学;2011年
6 李文星;具有无线数据传输功能的红外测温仪设计[D];河北科技大学;2010年
7 郭洪玮;基于薄膜滤波器的光分插复用器的研究[D];吉林大学;2011年
8 刘艳春;远度项目踏跳越线犯规显示仪的研发[D];河北师范大学;2011年
9 蔡道民;基于InP/InGaAs HBT技术的单片集成光接收OEIC[D];西安电子科技大学;2011年
10 马永利;红外双波段导引头光学系统设计[D];长春理工大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 周伟斌;钱家盛;杨海洋;;聚碳酸酯多孔增透膜的制备及性能研究[J];安徽大学学报(自然科学版);2008年06期
2 谢强;张晓梅;;声光Q开关用1.064μm融石英低损耗增透膜实验研究[J];半导体光电;2006年04期
3 付秀华;姜会林;付新华;王崇娥;;多波段红外增透与保护膜技术的研究[J];兵工学报;2007年10期
4 万军鹏,程金树,汤李缨;浅谈硼硅酸盐玻璃的应用现状和发展趋势[J];玻璃;2004年05期
5 郑修麟,刘正堂,憨勇;ZnS的不同制备方法及性能的对比[J];材料导报;1995年04期
6 黄占杰;中红外导流罩及窗口材料的发展趋势[J];材料导报;1998年03期
7 张明福;张海亮;郭怀新;韩杰才;杨海;霍承松;黎建明;;蓝宝石强化研究进展[J];材料导报;2010年03期
8 郭莉;王丹军;李东升;黄静;王继武;;ZnS微球的水热法合成与光催化活性[J];材料工程;2008年10期
9 车俊;姚熹;姜海青;汪敏强;;高能球磨制备ZnSe纳米晶粉体[J];稀有金属材料与工程;2006年S2期
10 邵忠宝;牛盾;马国峰;陈雪冰;王冲冲;;纳米硫化锌的制备及助燃性能[J];材料研究学报;2006年01期
中国重要报纸全文数据库 前1条
1 胡晓雷;[N];中国建材报;2008年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 宋利民;软X射线多层膜反射镜的设计与制作[D];大连理工大学;2002年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 金波;多通道薄膜滤光片的设计、制备与测试[D];浙江大学;2005年
2 张熹;千赫兹飞秒脉冲激光制备类金刚石薄膜研究[D];华中科技大学;2006年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张晓娟;乔冠军;刘汉臣;;多层光学薄膜模拟退火算法的研究[J];光学学报;2010年12期
2 许云丽;李朝龙;姜浩;王跃川;;有机/无机杂化纳米粒子制备多孔增透膜[J];光学学报;2012年01期
3 李晓伟;周毅;孙丽丽;汪爱英;;椭偏法表征四面体非晶碳薄膜的化学键结构[J];光学学报;2012年10期
4 崔传安;姜万春;董鑫;孙云厚;;高速列车暴露症候及伪装防护对策[J];四川兵工学报;2012年12期
5 潘永强;王飞飞;杭凌侠;弥谦;;四栅网式离子能量分析仪栅网特性研究[J];表面技术;2013年02期
6 付秀华;孙钰林;贺才美;董洁凌;;硫化锌基底可见-红外多波段的光学薄膜[J];红外与激光工程;2009年05期
7 李珊;付秀华;苏佳妮;赵缨慰;;激光雷达测距系统中滤光片的制备(英文)[J];红外与激光工程;2010年05期
8 高晓丹;葛卫龙;;光纤到户单纤三向截止滤光片的研制[J];红外与激光工程;2011年08期
9 吴倩;陈松林;马平;;不同制备工艺下氧化硅和氧化铪薄膜的椭偏光谱[J];红外与激光工程;2012年03期
10 潘永刚;刘冬梅;张静;付秀华;杨道奇;;空间光通信系统三波段滤光膜的研究[J];激光与光电子学进展;2012年01期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 杨海平;钽醇盐的电化学合成及纯化研究[D];中南大学;2011年
2 颜培;ZrTiN梯度涂层刀具的制备及性能研究[D];山东大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李艳;PVD技术制备铂基掺铈薄膜及其结构研究[D];昆明理工大学;2009年
2 李璟;红外全景光学系统设计[D];西安工业大学;2011年
3 邱永龙;氧化钛薄膜的制备工艺及其光电性能研究[D];电子科技大学;2011年
4 魏孜洵;三维腹腔镜端面宽带增透膜技术的研究[D];长春理工大学;2011年
5 石澎;双波长激光防护红外减反滤光片的研制[D];长春理工大学;2011年
6 莘明哲;铂基铜(镧)催化剂薄膜材料的结构及电化学性能研究[D];昆明理工大学;2012年
7 赵伟;GaN基蓝光LED氧化铝钝化膜的制备与性能研究[D];南昌大学;2012年
8 杨道奇;ZNS基底红外多波段滤光膜的研究与制备[D];长春理工大学;2012年
9 王正凤;紫外告警系统光谱分析滤光片的研究[D];长春理工大学;2012年
10 段尧;红外探测器三波段高通滤光片的研制[D];长春理工大学;2012年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 杨洋,赵远,乔立杰,刘世刚,南京达;1.06μm激光的大气传输特性[J];红外与激光工程;1999年01期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 傅晶晶;付秀华;邢政;;离子束辅助沉积红外增透薄膜工艺[J];长春理工大学学报(自然科学版);2008年02期
2 黄良甫,李梦轲,杨益民,罗崇泰,刘定权,徐明;离子束辅助沉积高强度ZnS红外增透膜[J];真空科学与技术;1992年01期
3 郭毓峰;邱维维;;离子束辅助沉积WS_2-Ti-Ag复合薄膜的摩擦性能[J];宇航材料工艺;2009年06期
4 白彬;严东旭;梁红伟;张厚亮;陆雷;;高能离子束辅助沉积制备钛纳米膜[J];机械工程材料;2005年11期
5 张平;蔡志海;杜月和;谭俊;;离子束辅助沉积制备TiN/Si_3N_4纳米超硬膜的工艺研究[J];核技术;2006年02期
6 李国明;孙世尧;陈学群;;离子束辅助沉积TiN薄膜在模拟口腔溶液中的耐蚀性[J];腐蚀与防护;2009年08期
7 冯涛;;光学薄膜离子束辅助蒸发沉积技术新进展[J];今日科苑;2010年14期
8 汪礼胜;唐德礼;熊涛;陈庆川;;端部霍尔离子源的磁场设计与数值模拟[J];真空;2006年03期
9 潘永强;吴振森;杭凌侠;罗廷;;二氧化锆薄膜表面粗糙度的研究[J];应用光学;2008年04期
10 陈焘;罗崇泰;王多书;刘宏开;王济洲;马锋;;离子束辅助沉积和真空退火对硫化锌薄膜应力的影响[J];真空科学与技术学报;2009年S1期
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1 潘峰;曾飞;赵斌;;离子束辅助沉积非晶合金薄膜的研究[A];2002年材料科学与工程新进展(上)——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
2 飞冈正明;章绢明;;硒化锌白光发光二极体技术及应用[A];海峡两岸第十届照明科技与营销研讨会专题报告文集[C];2003年
3 伍智;解永蓉;杨卫英;邹桂娟;曾敏;;离子束辅助沉积陶瓷-金属封接[A];中国工程物理研究院科技年报(2005)[C];2005年
4 苏康;邵天敏;;离子束辅助沉积制备TiAlSiN复合薄膜及其性能研究[A];2011年全国青年摩擦学与表面工程学术会议论文集[C];2011年
5 李卫;杨曜源;丁进;刘莹沙;方珍意;;硒化锌单晶的应用及制备技术[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
6 谭俊;张平;蔡志海;王晓晴;唐云;;离子束辅助沉积立方氮化硼的试验研究[A];'2001全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2001年
7 王和义;傅依备;韩军;;离子束辅助沉积钯钇合金膜表面性能[A];中国工程物理研究院科技年报(2002)[C];2002年
8 张峰;范镝;高劲松;;碳化硅表面硅改性层的特性研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
9 王和义;傅依备;韩军;;钯钇合金膜离子束辅助沉积工艺[A];中国工程物理研究院科技年报(2002)[C];2002年
10 王三胜;;离子束辅助沉积技术及其在YBCO覆膜导体制备方面的应用进展[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 朴淑瑜;硒化锌光纤在美首次研制成功[N];科技日报;2011年
2 汪永安;我国纳米材料合成获重要进展[N];安徽日报;2003年
3 张小明;纳米材料市场前景广阔[N];中国电子报;2000年
4 何进;我国纳米材料合成获重要进展[N];中国有色金属报;2003年
5 吴琼;半导体光敏器件应用广泛[N];中国电子报;2000年
6 CNE记者 赵坤;厦门大学研究人员研发出新型太阳能电池[N];中国电力报;2011年
7 记者 蔡忠仁 通讯员 李静;太阳能电池寿命得以延长[N];中国化工报;2011年
8 记者 张建琛 通讯员 李静;我科学家首创出新型太阳能电池[N];科技日报;2011年
9 通讯员 李静 记者 佘峥;厦大成功研发新型太阳能电池[N];厦门日报;2011年
10 本报记者 常丽君;纤维“变”成二极管[N];科技日报;2011年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 姚婷婷;硒化锌及其锰掺杂化合物一维结构纳米晶体的合成、表征及性能研究[D];华南理工大学;2012年
2 鲁平;新型阵列波导器件的理论与实验研究[D];华中科技大学;2005年
3 王程越;组织工程化骨修复兔下颌骨缺损同期种植体植入的实验研究[D];中国医科大学;2007年
4 王立无;红外薄膜系统的设计和制备[D];四川大学;2007年
5 彭智伟;几种半导体和稀土纳米材料的制备与光学性质研究[D];湖南大学;2010年
6 李常伟;硒化锌及芴类衍生物的双光子光学非线性研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
7 李常伟;硒化锌及芴类衍生物的双光子光学非线性研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
8 蒋军;微波管中抑制栅电子发射及其冷阴极的探索[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2006年
9 张以忱;中频非平衡磁控溅射制备硬质复合薄膜的研究[D];东北大学;2008年
10 朱栋;锰掺杂硒化锌等荧光量子点的制备及应用[D];南京大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 秦聪祥;钛基及锆基多元氮化物薄膜的组织与性能研究[D];广东工业大学;2006年
2 曹猛;离子束辅助沉积ZrN/TiAlN和CN_x/TiAlN纳米多层膜的研究[D];天津师范大学;2008年
3 开花;斜入射离子束辅助沉积类金刚石膜的模拟研究[D];内蒙古民族大学;2008年
4 郭德成;C_2在金刚石(111)表面吸附和离子束辅助沉积类金刚石膜的分子动力学模拟[D];内蒙古民族大学;2009年
5 杨伟声;离子束辅助沉积(IAD)真空镀膜技术研究[D];南京理工大学;2008年
6 任晓光;水热/溶剂热法合成硒化锌纳米半导体材料及其性能研究[D];大连海事大学;2008年
7 郭伟;ZnSe纳米粒子对生物细胞的影响研究[D];东北师范大学;2009年
8 付红志;ZnM(M=O,Se,S)的准一维纳米结构的制备研究[D];西北工业大学;2006年
9 王红妮;水热/溶剂热法合成纳米/微米结构金属硒化物及其性能研究[D];青岛科技大学;2006年
10 鲁嘉;电子束蒸发制备抗激光损伤ZrO_2/SiO_2膜系及表面特征研究[D];合肥工业大学;2006年
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