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《光学技术》 2019年06期
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光谱共焦位移传感器镜头设计

梁青  薛丹  伍星昱  
【摘要】:光谱共焦位移传感器是一种以波长信息反映位移变化的非接触式光电位移传感器,色散镜头是传感器重要组成部分,其轴向色散与波长之间的线性度和色散范围会影响系统整体性能。为产生较大的线性轴向色散和良好的线性度,文章阐述了光谱共焦位移传感器的基本原理,分析了轴向色散与玻璃材料及波长之间的的关系,使用ZEMAX光学设计仿真软件的多重结构功能,设置评价函数操作数进行优化得到了一个镜头组。镜头组采用正负透镜组分离结构,在486~656nm波长范围内,色散范围约为1mm,各个单色波长在其焦点位置产生最大的RMS半径为1.552μm且达到衍射极限,同时波长色散离焦量与波长之间通过线性拟合所得判定系数R~2为0.9976,理论分辨率为5nm,镜头在产生大的色散范围同时也拥有着良好的线性性。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
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2 武芃樾;袁道成;;光谱共焦位移传感器镜头设计研究[J];工具技术;2012年02期
3 刘乾;杨维川;袁道成;刘波;;光谱共焦位移传感器的色散物镜设计[J];光电工程;2011年07期
4 朱万彬;钟俊;莫仁芸;陈璇;;光谱共焦位移传感器物镜设计[J];光电工程;2010年08期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 王津楠;光谱共焦位移传感器研究与设计[D];哈尔滨工业大学;2016年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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4 刘乾;杨维川;袁道成;王洋;;光谱共焦显微镜的线性色散物镜设计[J];光学精密工程;2013年10期
5 沈小燕;林杰俊;李加福;尹建龙;李东升;;超精密二维测量定位系统评定及误差分析[J];仪表技术与传感器;2013年06期
6 刘乾;杨维川;袁道成;刘波;;光谱共焦显微镜中色散物镜材料的优化选择[J];光电工程;2012年08期
7 蒋水秀;孙翔;冯华君;贾宁;;一种优化LED照明的三维SMS设计方法[J];光电工程;2012年06期
8 武芃樾;袁道成;;光谱共焦位移传感器镜头设计研究[J];工具技术;2012年02期
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10 刘乾;杨维川;袁道成;刘波;;光谱共焦位移传感器的色散物镜设计[J];光电工程;2011年07期
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 朱鸿;光谱共焦位移传感器信号处理与校准研究[D];华中科技大学;2019年
2 王安苏;基于光谱共焦原理的三维表面形貌测量的光学系统研究[D];苏州大学;2018年
3 李煌;彩色共聚焦测量系统光学设计与实验研究[D];华侨大学;2017年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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2 刘乾;杨维川;袁道成;刘波;;光谱共焦位移传感器的色散物镜设计[J];光电工程;2011年07期
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6 朱万彬;钟俊;莫仁芸;陈璇;;光谱共焦位移传感器物镜设计[J];光电工程;2010年08期
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10 曾毅波;蒋书森;黄彩虹;张玉龙;张艳;;激光共焦扫描显微镜在微机电系统中的应用[J];光学精密工程;2008年07期
中国硕士学位论文全文数据库 前5条
1 黄敏超;CCD光谱数据处理系统的研究[D];江南大学;2015年
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4 莫祥霞;基于DMD的微小型近红外光谱仪系统研究[D];重庆大学;2011年
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【相似文献】
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4 李海燕;张琢;浦昭邦;葛文涛;;共焦显微扫描探测技术的发展[J];光学技术;2008年01期
5 王津楠;陈凤东;刘炳国;甘雨;刘国栋;;基于白光LED的光谱共焦位移传感器[J];中国测试;2017年01期
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中国博士学位论文全文数据库 前9条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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3 路晓明;激光差动共焦传感器传感特性研究[D];北京理工大学;2015年
4 刘旭兆;光纤位移传感器测量精度的研究[D];东华大学;2019年
5 朱鸿;光谱共焦位移传感器信号处理与校准研究[D];华中科技大学;2019年
6 谢新良;新型磁致伸缩位移传感器结构设计与应力波衰减特性研究[D];河北工业大学;2017年
7 曹洁;线位移传感器校准装置的研制[D];大连理工大学;2018年
8 邵争光;平面二维时栅位移传感器信号处理与误差分析研究[D];重庆理工大学;2019年
9 文成杨;多读数头位移传感器误差模型及信号处理的研究[D];重庆理工大学;2019年
10 李路建;平面二维时栅位移传感器机理研究及仿真[D];重庆理工大学;2019年
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