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《光电子·激光》 2019年07期
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基于法布里-珀罗低相干干涉的绝对距离测量系统

王韵致  谢芳  王辉  韩飞  
【摘要】:提出了一种基于光纤法布里-珀罗低相干干涉的绝对距离测量系统,不仅能对绝对距离进行测量,而且还能对温度、压力、应力等量进行绝对测量。系统利用闪耀光栅将来自法布里-珀罗干涉仪的低相干干涉信号进行散射,使不同波长的干涉信号由线阵CCD不同的像元探测。利用CCD探测到的干涉信号相邻波谷的波数差得到法布里-珀罗干涉仪的腔长,从而实现绝对距离测量。与其它低相干干涉测量系统相比,此系统无需扫描干涉仪的光程,一次成像即实现测量。测量系统简单,测量速度快,对静态物理量和动态物理量都能进行测量。系统的光纤结构使得它还能进行远程测量。实验结果表明系统对绝对距离测量的分辨率可达3.317 nm,10次重复测量的标准差为10.7 nm。

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