| | | | | 自聚焦共焦探测系统轴向分辨率的影响因素 | | | 谭久彬,张杰 | | | 从微小内尺度测量角度出发 ,研究了针孔尺寸、探测器位置、透镜的数值孔径、放大倍率和杂散光等对自聚焦共焦式探测系统轴向分辨率的影响。结果表明 ,为提高系统的轴向分辨率 ,需将有效针孔尺寸控制在≤ 2 .5 ;探测器需配以精密微调整装置以实现横向精确定位 ;选用差动共焦光路及大数值孔径和大放大倍率的自聚焦透镜 ,同时 ,偏振光路的使用将有效的提高系统的信噪比。
【作者单位】：哈尔滨工业大学自动化测试与控制系 黑龙江哈尔滨150001
(谭久彬);哈尔滨工业大学自动化测试与控制系 黑龙江哈尔滨150001(张杰)
【关键词】：共焦三维形貌检测术;轴向分辨率;自聚焦透镜;非接触测量
【基金】：国家自然科学基金资助项目 (5 0 0 75 0 2 0)
【分类号】：TN247
【DOI】：cnki:ISSN:1005-0086.0.2002-06-013
【正文快照】：
1 引 言 自聚焦共焦探测系统将自聚焦透镜体积小的特点与共焦显微技术的层析特性、绝对位置跟踪特性有机结合[1～ 5] ,为深孔、盲孔和球形腔体等狭小空间内尺度与微小非连续表面轮廓的三维形貌测量问题的解决提供一个解决技术途径。其中 ,系统轴向分辨率是最重要的指标 ,它直接关系到系统的测量精度[6] 。鉴于此 ,本文着重分析了系统中针孔、探测器和透镜数值孔径等相关因素对自聚焦共焦显微术中轴向分辨率的影响 ,并讨论了优化轴向分辨率的可能技术途径。2 影响轴向分辨率的因素2 .1 针孔的影响 自聚焦共焦探测光路如图 1所示。… | | |  推荐 CAJ下载  PDF下载 | | | CAJViewer7.0阅读器支持所有CNKI文件格式，AdobeReader仅支持PDF格式 | | | | Effects of Various Factors on Axial Resolution in an Optical 3D Measurements System with a Confocal Scanning Microscopy | | | TAN Jiu bin;ZHANG Jie (Department of Automatic Measurement and Control Engineering;Harbin Institute of Technology;Harbin 150001;China) | | | For small internal measurement requirement,effects of some parameter in the system,such as the detector pinhole size,the detector position,the numerical aperture and the amplification of the lens used and stray light,on the axial resolution were analysed.It is pointed that the effective detector pinhole size should less than 2.5,the precision micro displacement system should be used to make detector accurately fix position,the property of the axial deflection can be used to make differential confocal scanning microscopy,the large numerical aperture and the large amplification of the lens used will help to increase the axial resolution of the system,and the signal to noise ratio of the system can be improved by using polarized light.
【Keyword】：Confocal scanning microscopy;Axial resolution;Gradient index(GRIN) len;Non contact measurement |
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