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《长春理工大学学报(自然科学版)》 2019年04期
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NDIR乙烷气体传感器中滤光膜的研制

王平贵  付秀华  张静  刘冬梅  
【摘要】:为满足NDIR乙烷气体传感器的使用要求,对气体探测系统中的滤光膜进行研制。根据甲烷与乙烷气体分子的红外吸收光谱,红外探测器的响应度以及系统的灵敏度确定了滤光膜的技术参数。选用Ge和Nb2O5分别作为高低折射率薄膜材料,根据拆分技术原理并借助膜系设计软件完成了滤光膜的双面设计,解决了滤光膜截止区域宽,且单面设计膜层应力过大的问题。采用直流脉冲磁控溅射真空镀膜的方法,制备的滤光膜在中心波长6.7μm处的透过率为72.09%,半峰值带宽为301nm,2.5~6.3μm和7.1~10μm的平均透过率为0.13%和0.01%,减小了其余干扰气体的影响,提高了探测系统的信噪比。薄膜样品经过了附着力测试,满足系统使用要求。
【作者单位】长春理工大学光电工程学院
【基金】:吉林省重大科技攻关专项(20140203002GX)
【分类号】:TP212

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 李雯雯;段忆翔;;人体呼出气分析的技术进展及其在非侵入式医学诊断方面的临床应用前景[J];化学进展;2015年04期
2 张静;付秀华;王正凤;潘永刚;田野;;自聚焦透镜滤光膜的研制[J];长春理工大学学报(自然科学版);2012年01期
3 于玥;付秀华;孟嘉译;;指纹仪系统宽截止短波通滤光片的研制[J];长春理工大学学报(自然科学版);2010年01期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 高晓丹;;自聚焦透镜分光膜的研制[J];光学仪器;2013年02期
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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【相似文献】
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中国重要会议论文全文数据库 前10条
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中国重要报纸全文数据库 前5条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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2 刘冠宇;可检测生理信息的r-GO基柔性温度/应变/气体传感器研究[D];中北大学;2019年
3 孙哲;ZnO纳米薄膜的制备及在紫外光调控室温NO_2气体传感器中的应用[D];兰州大学;2019年
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5 薛妞子;二氧化锡气体传感器表面改性及选择性的研究[D];武汉理工大学;2018年
6 贺凌翔;基于MEMS工艺的气体传感器微热板设计、制作与测试[D];深圳大学;2018年
7 薛万;基于SnO_2及其复合材料的半导体气体传感器研究[D];郑州大学;2019年
8 陈闽强;用于MEMS气体传感器的检测芯片设计与实现[D];中国科学技术大学;2019年
9 员朝鑫;基于纳米结构P型金属氧化物半导体气体传感器的研制[D];兰州大学;2017年
10 陈一;半导体气体传感器温度调制模式优化研究[D];山东工商学院;2019年
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