收藏本站
《长春理工大学学报(自然科学版)》 2019年02期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

基于DMD的数字光刻定焦变倍投影系统设计

唐志方  牟达  杨旭  陈炳旭  高佳旭  
【摘要】:随着数字光刻技术的快速发展,基于数字微镜器件(DMD)的光刻技术受到微纳加工及相关行业人员的广泛关注。为实现基于0.9WQXGA型DMD的数字光刻,同时为避免投影系统与照明系统存在重叠空间,为满足数字光刻时不同幅面尺寸和精度的需求,设计了具有分束棱镜的投影系统。镜头的有效焦距50mm,相对孔径1/3,像高11.6mm,光学总长142mm,工作波段395~415nm,后工作距为27~29mm,整个投影系统为像方远心系统,可将DMD放大10~15倍。在70lp/mm处,所有组态视场的MTF值都大于0.55,畸变绝对值都小于0.5%。此设计结果像质优良、结构紧凑、符合实际数字光刻使用要求。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前18条
1 唐志方;牟达;杨旭;陈炳旭;高佳旭;;基于DMD的数字光刻定焦变倍投影系统设计[J];长春理工大学学报(自然科学版);2019年02期
2 沈会良;牟同升;黄丹丹;杨冬晓;李志能;;数字光处理投影系统成像质量测量方法[J];浙江大学学报(工学版);2007年09期
3 谢耀;于杰;王丽萍;王辉;周烽;;微缩投影系统的计算机辅助装调[J];光学精密工程;2014年08期
4 修灵彦;李奕霖;沈园;胡一川;肖井华;;小型水雾投影系统的研制及优化[J];光学与光电技术;2017年03期
5 李丹;薛芸芸;曹雯;姚连芳;石会双;郭海成;张宝龙;;基于微透镜阵列的DMD芯片投影系统照明优化[J];光学学报;2013年01期
6 徐昆贤;静态三维象的全息屏幕投影系统的参数及其象差[J];中国激光;1983年06期
7 徐昆贤,唐荣森,徐明玉;静态三维象的全息投影系统[J];仪器仪表学报;1983年04期
8 朱向冰;钱立勇;陈瑾;崔海田;王元航;;LED和梯度折射率透镜投影系统光路设计[J];光学精密工程;2018年01期
9 徐昆贤;全息投影系统三维成象质量的研究[J];仪器仪表学报;1985年02期
10 韩军;师永栋;陈文建;杨建莉;胡斐;;观瞄仪目标发生器准直投影系统的设计[J];应用光学;2016年05期
11 厉强;陈欣平;石岩;吴叶涛;;基于微透镜阵列的投影系统混光研究[J];民营科技;2018年09期
12 江月松,钟宇,李亮;瞄准制导仪中的调制盘光学系统分析[J];光学技术;2005年02期
13 李春才;巩岩;王延杰;;基于DMD的高动态范围望远系统设计[J];光电工程;2014年12期
14 刘晨;陶陶;费业泰;;用于三维主动视觉传感的投影系统的光学设计[J];合肥工业大学学报(自然科学版);2007年09期
15 ;松下PT-L557[J];电子测试;2000年12期
16 尚小燕,权贵秦,田爱玲;光栅投影系统设计[J];西安科技学院学报;2002年03期
17 ;最小的新一代激光扫描微投影系统[J];电脑与电信;2012年10期
18 ;三菱LVP-X70U[J];电子测试;2000年12期
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 黄胜洲;基于DMD无掩膜光刻技术及其微透镜快速成型方法的研究[D];中国科学技术大学;2017年
2 张昊;基于DMD的编码孔径成像光谱仪关键技术研究[D];中国科学院研究生院(上海技术物理研究所);2016年
3 许家林;基于DMD的阿达玛变换近红外光谱仪关键技术研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2017年
4 王晓朵;基于DMD的哈达玛变换近红外光谱仪的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2016年
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
1 焦海丽;大口径变焦投影系统环境适应性研究[D];长春理工大学;2015年
2 高子英;大口径变焦投影系统结构设计[D];长春理工大学;2015年
3 刘倩;基于微透镜阵列的红外多目标/背景复合系统研究[D];哈尔滨工业大学;2014年
4 郭媛君;基于DMD的微小型近红外光谱仪光谱信息处理及其应用软件[D];重庆大学;2011年
5 孔亮;基于DMD的Hadamard变换光谱成像仪实时光谱复原技术研究[D];中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所);2011年
6 莫祥霞;基于DMD的微小型近红外光谱仪系统研究[D];重庆大学;2011年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978