收藏本站
《长春理工大学学报(自然科学版)》 2019年01期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

等厚等倾复合型干涉仪

梁辉  李岩  付跃刚  林鹤  
【摘要】:干涉仪是可以快速高效,非接触地获取被测元件信息的光学测量仪器。为拓展单个干涉仪应用范围,设计出一种利用切换式系统,能根据测量需求实现等厚干涉和等倾干涉之间转换的复合型干涉仪。在介绍复合型干涉仪基本结构的基础上,分析了干涉仪设计中需要注意的问题和事项,着重讨论了光源的选择,准直物镜像差要求,聚光镜设计参数。利用ZEMAX软件完成了干涉仪光学系统的设计。最后,用FRED软件对干涉仪建模,进行仿真分析,得到了等厚干涉和等倾干涉干涉图,干涉条纹均清晰可见。表明此干涉仪可应用于实际光学测量之中。

手机知网App
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 羡一民;;He-Ne激光的波长检测及稳频技术——激光干涉仪技术综述之二[J];工具技术;2014年11期
2 苏志德;史振广;彭吉;隋永新;杨怀江;;菲索干涉仪中精确移相的实现[J];中国光学;2013年02期
3 王青;徐新华;;干涉仪测量球面曲率半径的精度分析[J];东南大学学报(自然科学版);2009年S2期
4 汤昌社;潘嘉声;周建友;胡润洪;;基于机器视觉与等倾干涉术的平面度测量装置[J];中国测试技术;2008年02期
5 杨志文;;菲索型球面干涉仪测试精度分析[J];长春光学精密机械学院学报;1988年02期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 郭仁慧;近红外大口径波长移相干涉仪关键技术及应用研究[D];南京理工大学;2013年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 韩啸;张心明;刘涛;;用于拼接干涉仪的五维运动台测试[J];机械工程师;2015年03期
2 李俊峰;;大口径深焦比Hindle球面镜曲率半径精确测量[J];电子测量与仪器学报;2014年12期
3 彭利荣;王东方;马占龙;谷勇强;王飞;王高文;张春雷;;三坐标检测光学元件曲率半径的误差分析[J];电子测量与仪器学报;2014年11期
4 刘江;苗二龙;曲艺;隋永新;杨怀江;;基于光强自标定移相算法检测光学面形[J];光学精密工程;2014年08期
5 薛栋林;;大口径标准球面镜组研制与应用[J];中国激光;2014年06期
6 贺军峰;崔庚彦;;高精度大口径球面干涉仪光学系统的设计探讨[J];技术与市场;2014年04期
7 陈宝刚;明名;吕天宇;;大口径球面反射镜曲率半径的精确测量[J];中国光学;2014年01期
8 孙鸽;马冬梅;张海涛;;干涉仪仪器传递函数的检测方法[J];中国光学;2014年01期
9 王旭;王中宇;赵维谦;邱丽荣;;激光差动共焦曲率半径测量不确定度评定[J];应用光学;2014年01期
10 宣斌;宋淑梅;;偏振正交性对偏振相移干涉检测精度的影响[J];光学精密工程;2013年12期
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 熊玲;大口径复杂光学曲面的摆臂式轮廓测量技术研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2017年
2 李文杰;2米望远镜液晶自适应光学系统的关键技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2016年
3 韩冬松;共光路动态干涉仪的关键技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2015年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 吴学健;尉昊赟;朱敏昊;张继涛;李岩;;基于飞秒光频梳的双频He-Ne激光器频率测量[J];物理学报;2012年18期
2 刘兆栋;陈磊;韩志刚;严庆伟;朱日宏;;斜入射干涉检测大口径碳化硅平面反射镜[J];光学精密工程;2011年07期
3 杨李茗;叶海仙;;大口径大曲率半径光学元件的高精度检测[J];光学精密工程;2011年06期
4 张景和;张顺国;董跃华;;乌氏干涉测量的信息读取[J];中国光学;2011年02期
5 苗二龙;张健;谷勇强;康玉思;刘伟奇;;用于光刻投影物镜检测的高精度菲佐干涉仪误差分析[J];中国激光;2010年08期
6 王道档;杨甬英;刘东;田超;骆永洁;卓永模;;压电移相器的空间旋转误差建模与实验分析[J];光电子.激光;2009年05期
7 徐永祥;陈磊;朱日宏;李新华;;微小球面曲率半径的测量研究[J];仪器仪表学报;2006年09期
8 王雅红;不同数据采集方法对牛顿环测曲率半径准确度的影响[J];物理与工程;2005年04期
9 冉铮惠,陈长龄,罗克莲;数字图像处理技术在平面等倾干涉测量中的应用[J];仪器仪表学报;2003年S1期
10 吴栋,朱日宏,陈磊,何勇,王青,高志山;抗振型移相干涉仪中PZT移相器的改进[J];光学精密工程;2003年06期
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 王军;短相干光干涉在晶体特性参数和微观表面形貌测量中的应用研究[D];南京理工大学;2010年
2 何晓颖;新型Bragg光栅及其在可调谐半导体激光器中的应用[D];华中科技大学;2009年
3 左芬;同步移相干涉测量的抗振技术研究[D];南京理工大学;2008年
4 孙权;神光Ⅲ惯性约束聚变激光装置可靠性研究[D];国防科学技术大学;2005年
5 刘青;数字相移干涉术中图像处理和波前再现误差的分析及校正算法的研究[D];山东大学;2005年
6 张蓉竹;ICF系统光学元件高精度波前检测技术研究[D];四川大学;2003年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 梁辉;李岩;付跃刚;林鹤;;等厚等倾复合型干涉仪[J];长春理工大学学报(自然科学版);2019年01期
2 罗佳林;许琦欣;侯文玫;金涛;;基于瞳面干涉的自参考干涉仪的研制[J];仪器仪表学报;2016年S1期
3 尤明懿;陆安南;;一种基于运动相位干涉仪的辐射源定位方法[J];通信对抗;2016年04期
4 王婷;赵云;孙文卿;王军;吴泉英;;移相干涉仪的改进方法与实现[J];物理实验;2017年10期
5 罗冰;刘和周;罗进川;;基于剩余定理的数字干涉仪设计与实现[J];现代电子技术;2014年15期
6 申劭萌;马军;何煦;;便携式泰曼格林型干涉仪装调方法研究[J];应用光学;2011年06期
7 舒桦;傅思祖;黄秀光;贾果;董佳钦;叶君建;顾援;;神光-Ⅱ装置配套速度干涉仪[J];强激光与粒子束;2010年07期
8 邢廷文;何国良;舒亮;;193nm移相点衍射干涉仪的测量误差分析[J];光电工程;2009年02期
9 王卓然,于晋龙,王新兵,杨恩泽;40Gb/s超快非线性干涉仪的实验分析[J];中国激光;2005年07期
10 翁继东,谭华,胡绍楼,马云,王翔;一种新型全光纤速度干涉仪[J];强激光与粒子束;2005年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 于杰;王辉;;高复现相移点衍射干涉仪[A];第十四届全国光学测试学术讨论会论文(摘要集)[C];2012年
2 魏朝平;张智明;;三模非线性干涉仪中的多相位同时评估[A];第十七届全国量子光学学术会议报告摘要集[C];2016年
3 郑东晖;陈磊;孙沁园;张瑞;;空间移相偏振点衍射干涉仪及应用[A];第十六届全国光学测试学术交流会摘要集[C];2016年
4 王海龙;A.M.Marino;荆杰泰;;非线性干涉仪相位锁定的实验实现[A];上海市激光学会2015年学术年会论文集[C];2015年
5 杨俊麒;邹晖;胡毅;;延迟干涉仪原理及控制方法[A];2009年中国高校通信类院系学术研讨会论文集[C];2009年
6 唐远河;郜海阳;段晓东;贾奇杰;屈欧阳;曹显刚;;地基气辉成像干涉仪的研制[A];第十四届全国日地空间物理学术研讨会论文集[C];2011年
7 袁群;高志山;周宇轩;褚光;;基于数值模拟的点衍射干涉仪移相算法研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
8 杜炎雄;颜辉;张丹伟;单传家;朱诗亮;;暗态原子干涉仪[A];第十五届全国量子光学学术报告会报告摘要集[C];2012年
9 袁群;高志山;;点衍射干涉仪中高精度移相算法分析[A];第十三届全国光学测试学术讨论会论文(摘要集)[C];2010年
10 王辉;;点衍射干涉仪高重复性检测支撑设备研制[A];第十三届全国光学测试学术讨论会论文(摘要集)[C];2010年
中国重要报纸全文数据库 前2条
1 记者 聂翠蓉;原子干涉仪精度再创新高[N];科技日报;2016年
2 王小龙;可在室温下工作的量子干涉仪问世[N];科技日报;2010年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 郭梦文;基于波前折叠干涉仪的部分相干光调控及其统计特性的研究[D];浙江大学;2018年
2 李一民;冷原子干涉仪实验程序控制系统研究[D];中国科学院大学(中国科学院武汉物理与数学研究所);2016年
3 韩冬松;共光路动态干涉仪的关键技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2015年
4 陈冰;光—原子混合干涉仪[D];华东师范大学;2015年
5 刘兆栋;φ600mm近红外相移斐索干涉仪校准及测试技术研究[D];南京理工大学;2011年
6 张健;超高精度菲索干涉仪不确定度分析[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
7 郭仁慧;近红外大口径波长移相干涉仪关键技术及应用研究[D];南京理工大学;2013年
8 李栋;SU(1,1)干涉仪中相位估值的研究[D];华东师范大学;2016年
9 龙世同;基于~(85)Rb-~(87)Rb双组分冷原子干涉仪的弱等效原理检验的实验研究[D];中国科学院大学(中国科学院武汉物理与数学研究所);2017年
10 陈杰;J-TEXT三波远红外激光偏振干涉仪的建立[D];华中科技大学;2013年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 郭莹;基于异丙醇腔Fabry-Pérot干涉仪的高灵敏度温度和应变传感特性研究[D];哈尔滨工业大学;2018年
2 崔萌;扫描式固体腔F-P干涉仪的设计与优化[D];西安理工大学;2018年
3 陈兆丹;基于SU(1,1)光—原子混合干涉仪的量子精密测量研究[D];华东师范大学;2017年
4 齐思璐;相移干涉仪仿真分析及模块化设计研究[D];南京理工大学;2017年
5 敬世美;基于双螺旋结构的光纤马赫—曾德尔干涉仪传感器研究[D];吉林大学;2017年
6 王聪聪;移相干涉仪中的振动探测及分析[D];南京理工大学;2011年
7 樊庆;星载干涉仪力学性能研究[D];中国科学院研究生院(上海技术物理研究所);2015年
8 文刚;Φ100mm高重复性波长移相干涉仪研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2013年
9 揭应平;干涉仪测试系统的改进及测量范围扩展的研究[D];南京理工大学;2002年
10 曹晓君;光纤点衍射干涉仪数据处理与系统标定[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026