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《长春光学精密机械学院学报》 2001年01期
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激光基准在机床工作台误差自动校正中的应用

周建民  白素平  
【摘要】:本文提出了一种以激光为基准机床运动误差自动校正技术。为了对激光束进行准直,利用光纤和半导体激光调制技术,形成激光束准直系统,使用四象限探测器接收激光束,可以消除杂散光、激光束漂移的影响。以准直后的漱光束为基准,四象限探测器在线探测机床工作台直线运动误差,然后利用反馈系统驱动压电晶体自动校正误差,实现误差自动补偿。
【作者单位】长春光学精密机械学院 长春光学光电与机械分院
【分类号】:TG502.33

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 匡萃方,冯其波,冯俊艳,刘斌;四象限探测器用作激光准直的特性分析[J];光学技术;2004年04期
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 王春阳;激光光斑漂移的检测与控制[D];国防科学技术大学;2006年
2 党敏;一种共路补偿激光漂移方法及实验研究[D];北京交通大学;2007年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前9条
1 袁江,邱自学,乙克松,程海正;基于PC的直线度误差自动测量与评定系统[J];传感器技术;2001年10期
2 赵育良,张忠民;基于CCD激光干涉微位移测量系统准确度分析[J];传感器技术;2002年07期
3 林玉池,张萍,赵美蓉,洪昕;野外使用的半导体激光自准直仪[J];航空精密制造技术;2001年03期
4 李志刚,刘庆纲;光学内反射测角方法及其在精密测试中的应用[J];航空精密制造技术;2003年06期
5 赵育良,许兆林,李开端;基于CCD的激光微位移测量系统研究[J];激光技术;2003年01期
6 王院生,朴承镐,路桂英;轨迹成形法非球面光学零件加工装置的模型[J];机械科学与技术;2005年08期
7 袁江,谢国如,邱自学;基于虚拟仪器技术的直线运动误差测量仪[J];计算机测量与控制;2003年06期
8 袁江;邱自学;邵建新;;基于激光准直的直线度误差自动测量系统[J];仪表技术与传感器;2006年11期
9 范志刚,许士文;多自由度测试技术的发展[J];应用光学;2003年06期
中国博士学位论文全文数据库 前7条
1 王权陡;计算机控制离轴非球面制造技术研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2001年
2 苏绍璟;大量程纳米级光栅位移测量理论及关键技术研究[D];国防科学技术大学;2001年
3 粟时平;多轴数控机床精度建模与误差补偿方法研究[D];中国人民解放军国防科学技术大学;2002年
4 林慎旺;三坐标测量机精度检测评定及虚拟坐标系统研究[D];合肥工业大学;2004年
5 刘小康;基于电气制导与误差修正的几何量计量新方法及新型栅式智能位移传感器研究[D];重庆大学;2005年
6 王院生;轨迹成形法加工非球面光学零件原理的研究[D];长春理工大学;2005年
7 陈锡侯;新型时栅位移传感器研究[D];重庆大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 周庆才;飞轮赤圈总成圆跳动检测技术研究[D];长春光学精密机械学院;2001年
2 汪平平;三坐标测量机虚拟坐标测量系统研究[D];合肥工业大学;2003年
3 季立江;炮管轴线直线度检测仪研究[D];四川大学;2003年
4 李飞;超长导轨直线性测试系统研究[D];长春理工大学;2004年
5 王丹丹;压电陶瓷管扫描器非线性校正[D];中国科学院研究生院(电工研究所);2004年
6 薛江蓉;单频激光干涉测长系统抗干扰性及细分技术的研究[D];南京理工大学;2004年
7 田瑞娟;空间直线度测量方法的研究[D];四川大学;2004年
8 张健;高精度平面定位与控制技术的研究[D];东南大学;2004年
9 周欣;基于干涉条纹的激光准直技术的研究[D];天津大学;2005年
10 靳国宝;轨迹补偿法加工中等口径非球面光学零件技术研究[D];长春理工大学;2006年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 朱雅茗,李明全,汤国茂,姜文汉;光子计数式四象限跟踪探测器的噪声分析[J];光电工程;1999年03期
2 刘银辉,周崇喜,杜春雷;微透镜面形误差影响LD光束准直的研究[J];光电工程;2003年02期
3 杨坤涛,陈捷;光纤准直器自动调试装配系统的设计[J];光电工程;2003年02期
4 王庆有,蔡锐,马愈昭,齐龙;采用面阵CCD对大尺寸轴径进行高精度测量的研究[J];光电工程;2003年06期
5 施洋,章海军;新型大扫描范围原子力显微镜的研究[J];光电工程;2004年06期
6 匡萃方,冯其波,刘斌,张斌;一种共路补偿激光漂移的直线度测量方法[J];光电工程;2005年04期
7 周兆英,叶雄英,崔天宏,张联;微米纳米技术及微型机电系统[J];光学精密工程;1998年01期
8 高赛,殷纯永;高测速双频激光干涉仪[J];光学技术;2001年03期
9 匡萃方,冯其波,陈士谦,刘欣,冯俊艳;基于激光准直直线度测量方法的研究[J];光学技术;2003年06期
10 匡萃方,冯其波,冯俊艳,刘斌;四象限探测器用作激光准直的特性分析[J];光学技术;2004年04期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 颜黄苹;黄元庆;;微/纳制造与微/纳测量技术综述[A];福建省科协第五届学术年会数字化制造及其它先进制造技术专题学术年会论文集[C];2005年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 马玲;沈小丰;叶巍;;一种新型光电定向系统的设计与实现[J];电子工程师;2006年05期
2 党丽萍,刘君华,唐树刚;双四象限光电探测器在线测试虚拟仪器[J];光电工程;2005年05期
3 张志峰,余涛,苏展,匡萃方,张立,程飞;象光斑和四象限探测器象限面积大小关系的理论研究[J];光子技术;2005年03期
4 党丽萍;刘君华;唐树刚;;象限探测器非均匀性的影响分析及软校正算法[J];光子学报;2006年04期
5 匡萃方,冯其波,刘斌;背景光对四象限探测器干扰的研究[J];激光与红外;2004年06期
6 匡萃方,冯其波,张斌,陈士谦;直线导轨四自由度同时测量方法的研究[J];中国激光;2005年09期
中国硕士学位论文全文数据库 前5条
1 徐志彦;三坐标测量机空间误差的高精度测量与分离技术研究[D];西安理工大学;2006年
2 费杰;激光方向稳定系统中的若干关键技术的研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
3 党敏;一种共路补偿激光漂移方法及实验研究[D];北京交通大学;2007年
4 章晓峰;基于声光偏转器的光束定位控制系统建模与实现[D];浙江大学;2008年
5 夏江涛;光电探测系统中的自动准直控制技术[D];南京信息工程大学;2008年
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