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《长春光学精密机械学院学报》 1987年02期
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激光微调技术

邬春桂  
【摘要】:介绍微电子学中精密电阻的激光微调原理、系统组成及微调方法。对系统中几个主要单元技术设计思想以及应用中一些关键技术作了具体说明。
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