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《长春光学精密机械学院学报》 1985年02期
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十字形弹性支承转动中心的变化对光栅刻划精度的影响

王金波  
【摘要】:本文以我国第一台凹面衍射光栅刻划机为例,研究了十字形弹性支承转动中心的变化对光栅刻划精度的影响。推导出了刻划间距累积误差δ随转动中心变化的误差传递方程式。定量地计算了该项误差值,给出了δ——φ关系曲线,并寻求了提高精度的方法和途径。

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