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《长春理工大学学报》 1985年02期
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双点光源多光束平面干涉仪

沈育志  
【摘要】:本文描述一种新的双点光源多光束平面干涉仪,能够使干涉条纹之间的距离从所对应的λ/2减少到所希望的程度,从而可以获得被检验表面的微面形信息,以便检验整个表面质量。

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