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偏心驱动下气浮支承精密运动平台的稳定性和精度分析

左昊诚  姜伟  张鸣  王婧  
【摘要】:为了降低偏心驱动对气浮支承精密运动平台的精度和稳定性的影响,建立了偏心驱动下运动平台的理论分析模型。采用无量纲的偏心率表征驱动力位置和检测位置的偏心,分析了偏心率对系统稳定性和精度的影响规律。根据实际精度和稳定性指标要求,提出了偏心率设计准则,即在设计精度决定的控制带宽下,保证合理的稳定性裕度,偏航和俯仰方向偏心率的控制范围。所提方法已用于气浮支承精密运动平台的设计,试验结果表明运动平台的位置跟踪误差在设计要求内。

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