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《中国有色金属学报》 2007年05期
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YG13硼化处理后沉积气压对金刚石薄膜的影响

魏秋平  余志明  马莉  游小龙  丰杰  吴晓斌  刘王平  
【摘要】:采用超高真空热丝化学气相沉积(HFCVD)系统,以甲烷和氢气为反应气体,在YG13(WC-13%Co)硬质合金基体上沉积金刚石薄膜。用场发射扫描电子显微镜(FESEM)和X射线衍射仪(XRD)对金刚石薄膜进行检测分析,研究YG13经950℃、3h硼化预处理后沉积气压对金刚石薄膜形貌和生长织构的影响;通过压痕法比较硼化与二步法两种预处理方法对金刚石薄膜附着性能的影响。结果表明,基体经硼化预处理后表面形成CoB、CoW2B2、CoW3B3相;当沉积温度为750~800℃,碳源浓度为3.3%时,薄膜表面形貌和生长织构随着沉积气压改变有明显的变化;硼化预处理后所得样品在1500N载荷下压痕表现出良好的附着性能,较二步法预处理更加有效地改善了膜-基附着性能。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前7条
1 魏秋平;王玲;余志明;陈永勤;马莉;龙航宇;;进气方式对热丝CVD制备金刚石薄膜的影响[J];中国表面工程;2009年06期
2 唐德文;成晓玲;匡同春;王成勇;;火焰法高钴YG系硬质合金表面沉积复合碳材料[J];材料研究学报;2008年06期
3 魏秋平;刘培植;余志明;马莉;龙航宇;苏绍华;;稀土-硼共渗预处理对YG6表面金刚石薄膜质量的影响[J];粉末冶金材料科学与工程;2010年04期
4 吕反修;宋建华;唐伟忠;黑立富;;金刚石膜涂层硬质合金工具研究进展及产业化前景[J];热处理;2008年01期
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6 毕晓勤;王冰;陈金身;王琦;;CVD金刚石薄膜与硬质合金的结合力的改善途径[J];超硬材料工程;2011年01期
7 魏秋平;王钰言;陈中;刘培植;余志明;;W18Cr4V高速钢渗铬热处理对HFCVD金刚石膜生长的影响[J];中国有色金属学报;2011年07期
【参考文献】
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5 张玉英,来清民,苗晋琦,唐伟忠,吕反修;YG6金刚石涂层刀片衬底真空渗硼预处理新技术研究[J];金刚石与磨料磨具工程;2005年03期
6 王勇;马玉平;孙方宏;张志明;陈明;;光滑硬质合金衬底渗硼预处理对CVD金刚石薄膜性能的影响[J];中国机械工程;2006年05期
7 杨莉,余志明,殷磊,刘昕,苏伟涛,李泳侠,邹丹;硬质合金基体腐蚀工艺对金刚石薄膜的影响[J];中国有色金属学报;2004年03期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 魏秋平;余志明;马莉;胡德莹;李媛;刘王平;肖和;;YG6硼化综合处理后基体温度对金刚石薄膜的影响[J];中国表面工程;2006年06期
2 刘炯;胡东平;薛屺;唐安俊;邬柯;;CVD金刚石薄膜与硬质合金基体之间过渡层技术[J];表面技术;2007年05期
3 唐德文;成晓玲;匡同春;王成勇;;火焰法高钴YG系硬质合金表面沉积复合碳材料[J];材料研究学报;2008年06期
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6 朱红梅;匡同春;向雄志;成晓玲;雷淑梅;尹诗衡;曾小平;王雄华;;硬质合金上沉积金刚石膜的基体预处理方法进展[J];金刚石与磨料磨具工程;2007年01期
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 魏秋平;余志明;马莉;胡德莹;李媛;刘王平;肖和;;YG6硼化综合处理后基体温度对金刚石薄膜的影响[J];中国表面工程;2006年06期
2 魏秋平;王玲;余志明;陈永勤;马莉;龙航宇;;进气方式对热丝CVD制备金刚石薄膜的影响[J];中国表面工程;2009年06期
3 刘炯;胡东平;薛屺;唐安俊;邬柯;;CVD金刚石薄膜与硬质合金基体之间过渡层技术[J];表面技术;2007年05期
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9 宋金亮;赵燕玲;;去钴深度的测定及其对硬质合金性能的影响[J];广东微量元素科学;2006年08期
10 王传新,汪建华,满卫东,马志斌,王升高,康志成;W过渡层结合界面对金刚石薄膜在WC-6%Co上的附着力的影响[J];高压物理学报;2004年01期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
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【二级引证文献】
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10 魏秋平;王钰言;陈中;刘培植;余志明;;W18Cr4V高速钢渗铬热处理对HFCVD金刚石膜生长的影响[J];中国有色金属学报;2011年07期
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
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【二级参考文献】
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8 文潮,周刚,郝兆印,孙德玉,李迅,刘晓新,石小峰,霍宏发;高温高压下纳米金刚石粉的特性研究[J];高压物理学报;2000年02期
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10 邓福铭;超高压高温烧结中金刚石表面石墨化过程再研究[J];高压物理学报;2001年03期
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7 张湘辉;汪灵;龙剑平;常嗣和;朱必武;陈伟;冯艳华;;电化学两步处理对精磨YG6硬质合金性能及金刚石涂层的影响[J];工具技术;2011年08期
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9 范文捷;刘芳;;界面结构对PDC抗冲击性能的影响[J];金刚石与磨料磨具工程;2011年04期
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中国重要会议论文全文数据库 前10条
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10 何金田;张兵临;王建恩;沈书泊;宋好奇;;用化学气相沉积法制备金刚石薄膜时氢的分步刻蚀效应[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
中国重要报纸全文数据库 前10条
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8 王兵;新型医用辐射剂量计金刚石膜的制备及性能研究[D];四川大学;2003年
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2 张东灿;金刚石薄膜和类金刚石薄膜摩擦学性能试验及其应用研究[D];上海交通大学;2010年
3 王莎莎;金刚石薄膜的制备及其平坦化研究[D];天津理工大学;2011年
4 石利忠;图形化纳米金刚石薄膜的制备及表面氢吸附的研究[D];河北大学;2009年
5 李正学;硼掺杂金刚石薄膜的制备、电化学性能及表面修饰研究[D];南京理工大学;2012年
6 杜丽丽;钛基掺硼金刚石薄膜电极的制备与电化学研究[D];吉林大学;2011年
7 朱红梅;硬质合金基体上扩散火焰法沉积纳米复合碳材料研究[D];广东工业大学;2007年
8 杨莉;硬质合金/金刚石薄膜的制备和附着性能的研究[D];中南大学;2004年
9 宋金亮;CVD金刚石薄膜刀具基体表面电化学两步法预处理研究[D];成都理工大学;2007年
10 田孟昆;HFCVD金刚石薄膜/铜复合材料的生长工艺及结合性能研究[D];中南大学;2011年
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