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《中国有色金属学报》 2001年S1期
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磁过滤对多弧离子镀(TiAl)N薄膜的影响

李成明  张勇  曹尔妍  薛明伦  
【摘要】:介绍了利用过滤电弧离子镀沉积 (TiAl)N薄膜初步的研究结果。在电弧靶材前沿的磁场作用下 ,有效减小了薄膜的宏观颗粒尺寸 ,并极大地降低了颗粒密度。同时 ,过滤电弧的作用 ,使偏压对膜成分的影响减弱 ,薄膜的硬度随膜中铝含量的增加而提高 ,(TiAl)N的抗氧化能力明显提高。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 吕树国;刘常升;李玉海;张罡;毕监智;金光;;氮离子束轰击对电弧离子镀TiN膜层的作用[J];材料保护;2009年02期
2 曹华伟;张程煜;乔生儒;曹晓雨;;物理气相沉积TiAlN涂层的研究进展[J];材料导报;2011年11期
3 瞿全炎;邱万奇;曾德长;钟喜春;刘正义;;弯曲磁过滤电流对TiN膜质量的影响[J];材料科学与工艺;2010年05期
4 李成明,孙晓军,张勇,李桂英,曹尔妍,唐伟忠,吕反修;电弧离子镀薄膜中的颗粒尺寸及其影响的扫描电镜观察[J];电子显微学报;2004年03期
5 吕树国;刘常升;张罡;毕监智;金光;李玉海;;氮离子束辅助电弧离子镀对TiN膜层中金属“大颗粒”影响的研究[J];钢铁研究学报;2010年01期
6 吕树国;刘常升;张罡;毕监智;金光;李玉海;;氮离子束轰击对电弧离子镀已沉积的TiAlN膜层性能影响的研究[J];钢铁研究学报;2010年03期
7 赵立新;郑立允;牛兰芹;赵树国;王丽平;;TiAlN镀层硬质合金结构及性能研究[J];金属热处理;2008年07期
8 葛志宏;邓静;;提高离子镀涂层质量的途径[J];热加工工艺;2013年16期
9 魏永强;李春伟;巩春志;田修波;杨士勤;;分离靶电弧离子镀制备TiN/TiAlN多层薄膜的微观结构和力学性能(英文)[J];Transactions of Nonferrous Metals Society of China;2011年05期
10 李成明,张勇,李桂英,曹尔妍,吕反修;过滤电弧沉积的TiN/TiCrN/CrN/CrTiN多层膜[J];中国有色金属学报;2003年01期
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 刘建华;ZrN涂层刀具的设计开发及其切削性能研究[D];山东大学;2007年
2 郑立允;表面处理Ti(C,N)基金属陶瓷的结构与性能[D];华中科技大学;2006年
3 戴华;真空阴极电弧离子镀层中宏观颗粒去除技术研究[D];上海交通大学;2009年
4 吕树国;脉冲N离子束辅助电弧离子镀沉积TiAlN膜层的研究[D];东北大学 ;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 彭神华;高性能铝基氮化物复合薄膜的制备与研究[D];广东工业大学;2006年
2 陈朝平;增强型脉冲离子源的研制[D];西安工业大学;2006年
3 李学超;磁控溅射Ti-Al-N和W-Ti-N薄膜的制备及摩擦学性能研究[D];江苏大学;2010年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 张德元,邓鸣,彭文屹,许兰萍,杨春燕;多弧离子镀(Ti_XAl_Y)N系超硬薄膜中Al的作用[J];材料科学与工程;1997年02期
2 胡树兵,梅志,李志章,曾跃武;离子镀TiN涂层的高温氧化特性[J];中国有色金属学报;1999年S1期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 顾艳红,王成彪,刘家浚;氮化钛铝薄膜的制备及其摩擦学性能的研究[J];中国表面工程;2004年05期
2 秦聪祥;胡社军;汝强;;Al含量对真空电弧沉积ZrAlN薄膜性能的影响[J];材料保护;2007年03期
3 王齐伟;左秀荣;黄晓辉;史新伟;倪培相;;铝合金表面(Ti_xAl_y)N薄膜构成及耐磨、耐蚀性探讨[J];材料保护;2009年01期
4 李佳,刘昌斌,戴晓元;Al含量对(Ti,Al)N涂层结构性能的影响[J];材料导报;2003年12期
5 居毅;李宗全;;多元合金化强化TiN复合镀层的研究进展[J];材料工程;2006年06期
6 曾鹏,胡社军,谢光荣,黄拿灿,吴起白;多弧离子镀Ti-W-N多元多层膜的研究[J];材料科学与工艺;2000年03期
7 胡社军,曾鹏,谢光荣,黄拿灿,吴起白;Ti-Mo-N三元多层膜的结构与性能[J];材料科学与工程;2000年03期
8 葛云科;顾晓波;喻利花;许俊华;;(Zr,Al)N薄膜的微结构及性能研究[J];材料开发与应用;2008年01期
9 郑立允;熊惟皓;王玉果;赵立新;;金属陶瓷多弧离子镀TiN/TiAlN涂层的结构与性能[J];稀有金属材料与工程;2007年S2期
10 顾卿赟;姜世杭;褚尧;;磁控溅射氮化铬和氮化钛薄膜的性能[J];电镀与涂饰;2011年12期
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 董艳春;反应等离子喷涂纳米TiN涂层材料的研究[D];河北工业大学;2006年
2 郑立允;表面处理Ti(C,N)基金属陶瓷的结构与性能[D];华中科技大学;2006年
3 金亚旭;钛酸钾晶须增强镍磷基化学复合镀层的制备与性能研究[D];武汉理工大学;2008年
4 吕树国;脉冲N离子束辅助电弧离子镀沉积TiAlN膜层的研究[D];东北大学 ;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 邹文祥;磁控反应溅射制备TiN/AlN双层薄膜及性能的研究[D];南昌大学;2011年
2 陆昆;Ti-Al-N、Ti-Al-V-N复合膜及Ti-Al-N/VN多层膜的制备、微结构与性能研究[D];江苏科技大学;2011年
3 张天宇;超超临界汽轮机叶片(Ti,Al)N/TiN涂层结构与抗氧化性能研究[D];哈尔滨工程大学;2011年
4 陈倩;氮化物涂层对钛合金氧化腐蚀性能影响[D];沈阳航空航天大学;2011年
5 邹平学;脉冲磁过滤阴极弧等离子体沉积设备的研制及基片台悬浮电位的研究[D];大连理工大学;2002年
6 车德良;多弧离子镀氮化物薄膜的性能及应用[D];大连理工大学;2006年
7 徐轶;磁控溅射和离子镀TiAIN涂层的往复滑动摩擦学行为研究[D];西南交通大学;2006年
8 丛大志;利用氮电弧在TA2基体上制备TiN表面层[D];吉林大学;2006年
9 金犁;多弧离子镀制备Ti_(1-x)Al_xN薄膜的工艺及其性能研究[D];武汉科技大学;2006年
10 陈蓓蓓;(Ti,Al)N薄膜力学性能及微观组织结构的研究[D];上海交通大学;2007年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 熊仁章,夏立芳,雷廷权;工艺因素对TiAlN多元涂层成分的影响[J];兵器材料科学与工程;2000年05期
2 王永康,夏立芳,雷廷权,熊仁章,白羽;TiAlN/Ti多元复合涂层的截面透射电镜研究[J];兵器材料科学与工程;2000年06期
3 瞿全炎;曾德长;史新伟;刘正义;;用弯曲磁过滤提高弧离子镀TiN薄膜质量[J];兵器材料科学与工程;2008年04期
4 赵建生,徐强,吴一平,孙培祯;(Ti、AI)N、TiN镀层的冷热疲劳性能研究[J];兵器材料科学与工程;1995年06期
5 孙剑,吴嘉达,应质峰,施维,凌浩,周筑颖,丁训民,王康林,李富铭;氮化铝薄膜的低温沉积[J];半导体学报;2000年09期
6 李志华,李焕喜,徐惠彬,宫声凯;热障涂层的残余应力分析[J];北京航空航天大学学报;2004年03期
7 徐江,谢锡善,徐重;双层辉光离子渗成分离析及表面合金贫化[J];北京科技大学学报;2001年06期
8 张涛,侯君达,刘志国,张一聪;磁过滤的阴极弧等离子体源及其薄膜制备[J];中国表面工程;2002年02期
9 张泰华,刘东旭,郇勇,王秀兰;基体对氮化钛膜的微力学和摩擦性能的影响[J];中国表面工程;2003年04期
10 信觉俗;离子对PVD法陶瓷涂层附着性的作用[J];表面技术;1994年05期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 高玉周;耐磨梯度表面层的制备及其滑动摩擦学特性的研究[D];大连海事大学;2000年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 郭慧梅;脉冲偏压电弧离子镀大颗粒净化的理论与实验研究[D];大连理工大学;2004年
2 张成武;磁过滤真空阴极弧等离子体制备四面体非晶碳膜[D];大连理工大学;2004年
3 王瑜;金属表面制备类金刚石膜的性能研究[D];北京印刷学院;2005年
4 林永清;分离靶真空电弧离子镀制备TiAlN膜层及其性能研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李福球;洪瑞江;余志明;代明江;林松盛;;真空阴极离子镀法制备Ti/TiN/Zr/ZrN多层膜[J];材料保护;2009年10期
2 李月巧;李伟洲;梁天权;胡治流;孙超;;电弧离子镀AlCrN沉积层初期氧化形貌、组构及反应机制[J];材料保护;2010年12期
3 吕会敏;张钧;;硬质膜层耐磨性测试与表征[J];材料导报;2011年05期
4 李同涛;贾碧;况敏;郭纯维;温慧敏;;TiAlN涂层材料的制备及性能研究[J];材料导报;2011年S1期
5 瞿全炎;邱万奇;曾德长;钟喜春;刘正义;;弯曲磁过滤电流对TiN膜质量的影响[J];材料科学与工艺;2010年05期
6 杨友志;郑晓华;;磁控溅射TiN/Si_3N_4纳米复合膜的制备及其环境摩擦学特性[J];材料科学与工程学报;2008年03期
7 吴忠振;田修波;段伟赞;巩春志;杨士勤;;高功率脉冲磁控溅射ZrN纳米薄膜制备及性能研究[J];材料研究学报;2010年06期
8 黄选民;侯廷红;幸泽宽;;氮化钛涂层及其复合涂层的研究进展[J];电镀与精饰;2009年02期
9 谭俊;杜军;;离子束表面工程技术的进展[J];中国表面工程;2012年05期
10 余超;冒守栋;汪少杰;谢婷婷;孙可卿;宋振纶;;TiAlN/SiO_2太阳能选择性吸收薄膜的制备与研究[J];材料导报;2012年22期
中国重要会议论文全文数据库 前3条
1 朱元义;邓佩珊;朱常锋;朱文;;多弧离子镀与磁控溅射联用镀制TiN/SiO_2复合装饰薄膜的研究[A];第九届全国转化膜及表面精饰学术年会论文集[C];2012年
2 朱元义;朱常锋;李力;朱元术;;采用改进型多弧离子镀膜设备镀制装饰膜层的产业化研究[A];第九届全国转化膜及表面精饰学术年会论文集[C];2012年
3 杨莹泽;张玉娟;翟玉浩;张平余;;nc-TiN/a-Si3N4系纳米复合薄膜的制备及其机械性能研究[A];2011年全国青年摩擦学与表面工程学术会议论文集[C];2011年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 戚栋;电弧离子镀的等离子体负载特性与脉冲偏压电源研究[D];大连理工大学;2005年
2 白秀琴;低温气相沉积薄膜及其摩擦学性能研究[D];机械科学研究总院;2006年
3 刘建华;ZrN涂层刀具的设计开发及其切削性能研究[D];山东大学;2007年
4 赵时璐;多弧离子镀Ti-Al-Zr-Cr-N系复合硬质膜的制备、微结构与性能[D];东北大学 ;2010年
5 马迪;多孔阳极氧化铝膜的电化学表征及动力学研究[D];大连理工大学;2010年
6 刘燕萍;双辉复合渗镀氮化钛陶瓷层及其等离子体特性的研究[D];太原理工大学;2006年
7 姜海富;细长管内腔空心阴极放电等离子体离子注入/沉积研究[D];哈尔滨工业大学;2009年
8 颜培;ZrTiN梯度涂层刀具的制备及性能研究[D];山东大学;2012年
9 陈响明;硬质合金刀具TiN-TiCN-Al_2O_3-TiN多层复合涂层制备与组织性能研究[D];中南大学;2012年
10 刘爱华;PVD氮化物涂层的高温摩擦磨损特性及机理研究[D];山东大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 杨莹泽;nc-TiN/a-Si_3N_4纳米复合薄膜的制备与性能研究[D];河南大学;2011年
2 吴化胜;ZrN/Al-Si-N多层膜与Al-Si-C-N复合膜的制备及性能研究[D];江苏科技大学;2011年
3 吴良文;AZ91D镁合金表面磁控溅射Al、Ti-Al-N、Al/Ti-Al-N膜及其组织与性能研究[D];江苏科技大学;2011年
4 陆昆;Ti-Al-N、Ti-Al-V-N复合膜及Ti-Al-N/VN多层膜的制备、微结构与性能研究[D];江苏科技大学;2011年
5 潘丽;磁控溅射制备纳米复合Ti-Si-N薄膜的研究[D];大连理工大学;2011年
6 杨伟平;低气压脉冲阴极弧薄膜沉积的相关研究[D];东华大学;2012年
7 徐向荣;电弧离子镀Ti-Cr-Ce-N系涂层的制备及性能研究[D];广东工业大学;2005年
8 王蕾;液氮中电孤加热合成TiN纳米粒子[D];吉林大学;2005年
9 李金丽;(Ti,Cr)N薄膜的多弧离子镀工艺、显微结构及力学性能研究[D];中国地质大学(北京);2006年
10 彭神华;高性能铝基氮化物复合薄膜的制备与研究[D];广东工业大学;2006年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 王玉魁,李秀兰,王秀敏,高路斯,廖勇泉,韩会民;PEMSIP法Ti_2N和TiN两相涂层工艺研究[J];大连理工大学学报;1996年01期
2 李文梅,何家文;气相沉积TiN和Ti(C,N)镀层的抗氧化性能[J];机械工程材料;1997年04期
3 胡树兵,张明,葛顺兰,陈湘一;多弧离子镀TiN涂层在冲孔冲模上的应用[J];金属热处理;1997年02期
4 唐兆麟,王福会,吴维支;涂层对TiAl金属间化合物抗循环氧化性能的影响[J];中国有色金属学报;1998年01期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 ;聚芳砜薄膜及其粘合剂的初步试制[J];绝缘材料;1972年04期
2 丁邦杰;;聚酯是窗薄膜的良好基材[J];砖瓦世界;1990年01期
3 王克智,王先进,李文川;真空镀铝膜生长过程的分形几何模型的研究[J];钢铁研究学报;1992年04期
4 赵秀萍;软包装材料的特性印刷适性处理(续)[J];印刷杂志;1996年04期
5 方振逵;等离子体聚合及其对聚烯烃表面性能的影响[J];高分子材料科学与工程;1998年06期
6 赵忠,刘定权,李强勇,黄良甫;纳米颗粒薄膜的真空喷射沉积研究[J];真空科学与技术学报;1998年01期
7 朱圣龙,王福会,吴维畦;反应溅射动力学模型及应用的研究[J];中国表面工程;1998年02期
8 丁士进,张卫,王鹏飞,张剑云,刘志杰,王季陶;低介电常数含氟氧化硅薄膜的研究[J];功能材料;2000年05期
9 江涛,曾繁涤;自组装技术在分子水平上处理共轭高分子的应用[J];功能材料;2000年06期
10 张英侠,朱永法,邵珂,姚文清,叶小燕,曹立礼;钙钛矿型Gd_2CuO_4复合氧化物薄膜的制备[J];化学学报;2000年06期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 严德荣;何天白;;嵌段共聚物PE-b-PEP薄膜结晶形貌的研究[A];2009年全国高分子学术论文报告会论文摘要集(上册)[C];2009年
2 任翔;顾锋;邵玮;李春忠;;纳米氧化钛异质阵列电极薄膜的水热合成及性能[A];颗粒学最新进展研讨会——暨第十届全国颗粒制备与处理研讨会论文集[C];2011年
3 高水英;曹荣;袁大强;;负载Ag纳米粒子薄膜的研究[A];中国化学会第26届学术年会超分子组装与软物质材料分会场论文集[C];2008年
4 房喻;;荧光传感薄膜的性能优化——单层化学方法[A];中国化学会第十二届全国应用化学年会论文集[C];2011年
5 周敏;谢毅;;三维有序BiVO_4薄膜的可控合成及其增强的光电性质[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
6 李学;杨辉;张书香;赵淑英;褚国红;;利用嵌段共聚物/均聚物混合物的自组装构筑含有金属的嵌段共聚物纳米孔状薄膜[A];2007年全国高分子学术论文报告会论文摘要集(上册)[C];2007年
7 王青如;宋峰;张超;赵红艳;刘加东;明成国;林赏心;潘裕斌;;金属纳米颗粒对掺杂铕配合物的薄膜发光的增强和淬灭[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
8 金艳梅;刘赵淼;;液体涂覆中褶皱形成的影响因素及防治措施[A];北京力学会第13届学术年会论文集[C];2007年
9 曹阿静;魏悦广;;二维分子动力学模拟纳米薄膜从基体上撕开[A];北京力学学会第12届学术年会论文摘要集[C];2006年
10 高水英;袁大强;吕健;曹荣;;杯[4]芳烃衍生物构筑的层层自组装薄膜[A];全国第十四届大环化学暨第六届超分子化学学术讨论会论文专辑[C];2008年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 记者 孙文生 通讯员 张晓奇;新型“光生态薄膜”在杨凌研发成功[N];陕西日报;2010年
2 通讯员 钟伟 陈淼;“凯利包装”试产会“呼吸”的薄膜[N];绍兴日报;2009年
3 古月;艾利·丹尼森公司推出多用途高光白色PP薄膜[N];中国包装报;2009年
4 本报记者 那罡;为苏州昆岭薄膜增添绿色动力[N];中国计算机报;2010年
5 文报;佛塑股份开发复合智能节能薄膜[N];中国包装报;2010年
6 吕军锋;薄膜表面极性火焰处理技术的原理及其特点[N];中国包装报;2009年
7 张图;美国Pentapharm敏感药物包装薄膜生产线扩产[N];中国包装报;2009年
8 魏明;薄膜回收篇[N];中国包装报;2011年
9 记者 徐雯雯;义和科技:三方联手打造“黄金薄膜”[N];莱芜日报;2011年
10 黄英;首条端对端薄膜硅电池生产线成功安装[N];中国企业报;2009年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 何少龙;Yb-C_(60)填隙化合物电子结构研究[D];浙江大学;2004年
2 邵绍峰;高度有序介孔功能材料的制备和表征[D];南开大学;2010年
3 Mya Theingi;[D];昆明理工大学;2013年
4 顾强;受限态对分子运动性、化学反应以及扩散行为影响的研究[D];南京大学;2011年
5 张春裕;有机薄膜晶体管聚合物绝缘层材料的设计、制备及性能研究[D];吉林大学;2013年
6 薛庆忠;过渡金属-碳复合材料和复合纳米薄膜的磁电阻和电输运特性[D];清华大学;2004年
7 于桂琴;离子液体的合成及其摩擦学性能的研究[D];兰州大学;2007年
8 余隽;微量热计的研制及微纳米薄膜比热测试与分析[D];大连理工大学;2006年
9 魏向军;全反射相关的X射线荧光分析技术及其应用[D];兰州大学;2006年
10 刘淑霞;薄膜及其它固相介质中金属纳米粒子的原位合成及性能研究[D];中国科学院研究生院(理化技术研究所);2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 陈喜明;TiO_2薄膜光诱导超亲水性的研究[D];浙江大学;2005年
2 任荣君;MgB_2超导薄膜的制备研究[D];江苏大学;2005年
3 陈兴科;脉冲激光沉积制备ZnO薄膜及发光特性研究[D];郑州大学;2005年
4 储开慧;纵向磁场中溅射机理研究[D];苏州大学;2005年
5 殷少飞;MnX_2、PbX_2体系有机—无机类钙钛矿材料的制备与结构[D];武汉理工大学;2006年
6 孔玮曼;应用于X射线FPD的非晶硒膜的制备方法研究[D];清华大学;2005年
7 曹渊武;生物蛋白胶在椎体后凸成形术中应用的离体研究[D];复旦大学;2008年
8 张云芳;PECVD法制备a-C:F:N薄膜的结构和稳定性研究[D];中南大学;2005年
9 蒲源;纳米La_(0.8)Sr_(0.2)FeO_3薄膜材料制备及其光电子特性研究[D];燕山大学;2006年
10 韩亚楠;钛酸铅系薄膜的制备与表征[D];河北师范大学;2006年
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