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《科技资讯》 2008年33期
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衬底温度对合成金刚石薄膜的影响

杨传径  陈庆东  李新忠  
【摘要】:本文利用热丝化学气相沉积方法对不同温度下生长的金刚石薄膜样品进行了表征分析。通过扫描电镜照片分析,从成核理论方面得出了金刚石薄膜生长的最优化温度。
【作者单位】河南科技大学理学院;
【分类号】:TB383.2

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