重掺锑硅单晶制备中锑的蒸发速率常数的测定

【摘要】：重掺锑硅单晶制备中锑的蒸发速率常数的测定常青，曾世铭，何林，王君毅（北京有色金属研究总院１０００８８）关键词：硅单晶，锑，掺杂，蒸发速率，测定（一）实验重掺锑硅单晶是在ＣＧ－３０００型直拉单晶炉上研制的，直径为８２ｍｍ，晶向（１１１）。石英坩埚直径为...

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中国期刊全文数据库

前20条

1	;重掺锑硅单晶中氧沉淀行为及机制研究通过鉴定[J];河北工业大学学报;1999年06期
2	施承启;陈育文;单春梅;;提高C_Z重掺锑硅单晶质量和成品率的研究[J];上海有色金属;1983年04期
3	宋大有;;VLSI时代CZ硅单晶工艺的新课题[J];上海有色金属;1988年05期
4	杨德仁;;硅晶体中热施主研究[J];材料科学与工程学报;1993年04期
5	;浙大海纳扩大硅单晶生产[J];有机硅氟资讯;2005年10期
6	轩振国;用扫描红外吸收法快速测量硅单晶中氧含量的径向分布[J];稀有金属;1988年04期
7	元英;;世界最长的高质量硅单晶[J];上海有色金属;1992年03期
8	杨谨福;;生产〈110〉硅单晶[J];稀有金属;1983年05期
9	许志刚;王寿瑛;;硅单晶滚磨加工工艺的探讨[J];上海有色金属;1985年01期
10	本刊通讯员;;上海市举行上海市企业标准《硅单晶》审定会[J];上海有色金属;1981年01期
11	杨德仁，阙端麟;硅单晶中氮－氧复合体的红外吸收研究[J];红外与毫米波学报;1995年06期
12	李明，麦振洪，崔树范;用Pendellosung条纹研究硅单晶中微缺陷[J];物理学报;1994年01期
13	杨传铮;许顺生;;无位错硅单晶生长中几种现象的X射线貌相术观察[J];上海有色金属;1981年04期
14	董尧德,蒋继红;制管试验中硅单晶质量的探讨[J];中国有色冶金;1983年02期
15	宋大有;曹国琛;;磁场中直拉单晶工艺技术进展[J];上海有色金属;1986年02期
16	志耘;;我省已公布的专利简介(七)[J];今日科技;1986年07期
17	高愈尊,高桥平七郎,佐藤羲一,竹山太郎;氧和氢对硅单晶电子辐照缺陷的影响[J];稀有金属;1989年01期
18	程鸿申;"十五"期间中国直拉硅单晶炉用石墨材料的市场预测[J];炭素;2004年04期
19	张永达;;硅单晶退火工艺研究[J];上海有色金属;1981年04期
20	张忆延;硅单晶厂氩气净化、提纯与回收方案的选择[J];稀有金属;1988年05期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	谢江帆;;无衰减硅单晶的研制[A];经济发展方式转变与自主创新——第十二届中国科学技术协会年会（第二卷）[C];2010年
2	王伟;黄振飞;汪钉崇;;石英坩埚中碱金属含量对硅单晶拉制的影响[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集：迎接光伏发电新时代[C];2008年
3	梁建华;赵鹏冀;郝万立;施立群;;磁控溅射锆钒合金膜[A];中国工程物理研究院科技年报（2005）[C];2005年
4	李留臣;;我国太阳能电池硅单晶生长设备的回顾与展望[A];21世纪太阳能新技术——2003年中国太阳能学会学术年会论文集[C];2003年
5	刘燕文;田宏;韩勇;赵青兰;徐振英;孟鸣凤;张哓伟;王晓艳;张洪来;;利用飞行时间质谱研究阴极蒸发[A];第九届真空技术应用学术年会论文集[C];2006年
6	田宏;刘燕文;韩勇;易红霞;扬靖鑫;徐振英;孟鸣凤;张洪来;;钡钨阴极用大电流低蒸发发射物质的研究[A];中国真空学会2008学术年会论文集[C];2008年
7	邱服民;马平;柴林;;小口径激光腔镜高阈值高反射膜系[A];中国工程物理研究院科技年报（2000）[C];2000年
8	金听祥;徐烈;;真空冷却过程中熟肉的水分迁移特性的实验研究[A];上海市制冷学会2005年学术年会论文集[C];2005年
9	薛华;;真空条件下可凝挥发物挥发和凝结速率的分析[A];中国真空学会2008年学术年会论文摘要集[C];2008年
10	张久兴;周身林;刘丹敏;包黎红;;纳米多晶稀土硼化物的研究与进展[A];2009中国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2009年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	李东升;集成电路用直拉单晶硅力学性能[D];浙江大学;2002年
2	郭亚丽;纳米流体固着液滴蒸发等流动与传热问题的LBM分析[D];大连理工大学;2009年
3	齐文;西藏扎布耶盐湖的动态变化[D];中国地质科学院;2007年
4	郝秋艳;深亚微米级集成电路用大直径CZSi单晶中微缺陷的研究[D];天津大学;2006年
5	王科范;Si表面Ge量子点的MBE外延生长及其结构表征[D];中国科学技术大学;2006年
6	刘金锋;SiC薄膜的SSMBE外延生长及其结构表征[D];中国科学技术大学;2007年
7	李卓;土壤机械组成及容重对水分特征参数影响模拟试验研究[D];西北农林科技大学;2009年
8	刘国华;4种地被竹生态学特性及其固土功能研究[D];南京林业大学;2008年
9	王秀如;多色OLED器件及设备研究[D];上海大学;2006年
10	皮丕辉;内冷式刮膜薄膜蒸发器传热蒸发与应用研究[D];华南理工大学;2003年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	路景刚;微氮硅单晶在功率器件中的应用研究[D];浙江大学;2001年
2	赵一英;氮和锗对直拉硅单晶机械性能的影响[D];浙江大学;2004年
3	钟玲;快速热处理对直拉硅片氧沉淀行为作用[D];浙江大学;2006年
4	陈海龙;氮离子注入硅中氮及氮相关复合体的研究[D];浙江大学;2006年
5	李珣;飞秒激光材料表面微加工[D];天津大学;2008年
6	苏凌宇;负压环境下燃料液滴蒸发过程的试验和理论研究[D];国防科学技术大学;2004年
7	张金玲;AZ91镁合金精炼及La对其改性作用的研究[D];太原理工大学;2007年
8	宁乔;基于PC机的蒸发液滴图像反馈控制系统[D];中国科学院研究生院（空间科学与应用研究中心）;2008年
9	姜伟;用于72%片碱生产的蒸发装置设计研究[D];南京工业大学;2006年
10	滕冉;大直径硅单晶生长过程中固/液界面形状的数值分析[D];北京有色金属研究总院;2012年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	;万向硅峰：硅单晶制备技术升级[N];中国电子报;2011年
2	;硅单晶[N];中国电子报;2002年
3	记者刘其丕;硅单晶材料产业化项目一期工程即将试产[N];中国有色金属报;2009年
4	记者曹阳　通讯员段同刚高琴伟;晶龙二极管硅单晶稳占全国市场1/4[N];中国化工报;2009年
5	李积和;大直径硅单晶材料的技术进展[N];科技日报;2003年
6	记者　肖国强;浙大研制成功12英寸掺氮硅单晶[N];浙江日报;2003年
7	任爱青;攀登“硅峰”[N];中国电子报;2004年
8	本报记者刘霞;从硅单晶到非晶硅[N];科技日报;2009年
9	白睿麟;天津拉出六英寸无位错区熔硅单晶[N];中国电子报;2002年
10	蒋中秋;降低甲苯残留方法的利弊[N];中国包装报;2006年

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