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《稀有金属》 1980年01期
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三菱金属公司生长单晶的新工艺

杨遇春  
【摘要】:正 三菱金属公司获得了用直拉法生长100取向砷化镓(GaAs)单晶的工艺。用普通单晶生长法生长的111取向 GaAs,只能获得椭圆形晶片,而用新法得到的是圆片。圆片的优点是,减低

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