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纳米TiO_2薄膜的制备及其光学特性研究

尹荔松  周歧发  危韧勇  张进修  
【摘要】:采用溶胶 -凝胶法制备了纳米TiO2 薄膜 .XRD研究表明 ,纳米TiO2 薄膜随着热处理温度的升高 ,发生了从非晶状态向锐钛矿相的转变 ,最后转化为金红石相 .UV -VIS、SEM研究表明 ,纳米TiO2 薄膜的致密度与成膜条件有关 .Raman表明 ,随热处理温度的升高 ,纳米TiO2 薄膜的振动峰位发生移动 ,并且谱带明显宽化 ,表现出尺寸效应 .

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