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《真空》 1995年06期
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ITO膜透明导电玻璃的应用前景及工业化生产

姜燮昌  胡勇  
【摘要】:本文综述了ITO膜透导电玻璃的应用前景,列举了当前国内外市场现状及预测。透明导电玻璃是液晶平板显示器(LC)的主要材料,LCD顺应时代的潮流,作为人机接口产品将获得比半导体产业更大的增长率。日本达到了38%。90年代由于信息高速公路和多媒体的发展迎来了LCD时代。作者列举了ITO膜透明导电玻璃的应用实例和镀膜工艺,以及适用于工业化生产设备。认为,作为批量生产,连续直流磁控溅射是当前理想设备。它可以克服产品质量的不均匀性、不稳定性,可实现自动化生产,而且完全有条件实现设备主机国产化.机械部沈阳真空技术研究所,93年以来已先后成功的研制了两条生产线,镀出的ITO膜透明导电玻璃指标完全达到了国外同类产品水平。
【作者单位】机械工业部沈阳真空技术研究所
【分类号】:TB742

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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10 陈猛,白雪冬,黄荣芳,闻立时;柔性基片上In_2O_3:Sn和ZnO:Al薄膜的制备及其电学和光学特性[J];金属学报;1999年04期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 李红霞;刘宏;王继扬;李霞;崔红梅;;氧化物透明导电膜的研究进展[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
2 张英;徐雪青;徐刚;;配位剂种类对ITO薄膜显微结构和光学性能的影响[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代[C];2008年
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 丁娟;CuA1O_2与ZnO纳米结构制备及其光电化学性质研究[D];吉林大学;2011年
2 李栋;太赫兹(THz)波的产生和相干控制研究[D];上海大学;2011年
3 马勇;ZnO薄膜制备及性质研究[D];重庆大学;2004年
4 吕茂水;溅射法制备掺锆氧化锌透明导电薄膜与薄膜特性研究[D];山东大学;2007年
5 朱协彬;软化学法制备纳米ITO材料及其介孔组装体系研究[D];中南大学;2007年
6 张越举;爆炸压实烧结纳米陶瓷粉末研究[D];大连理工大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 贾波;铝离子掺杂氧化锌薄膜的溶胶—凝胶法制备及性能[D];中国海洋大学;2010年
2 赵海娇;直流磁控溅射制备ITO薄膜及增透效果的研究[D];长春理工大学;2011年
3 周荣富;ZnO/metal/ZnO结构透明导电薄膜的研究[D];杭州电子科技大学;2009年
4 任世荣;电子束蒸发技术生长高迁移率IWO(In_2O_3:WO_3)薄膜的研究[D];河北工业大学;2011年
5 黄昱勇;光学薄膜在投影显示和光开关中的应用[D];浙江大学;2002年
6 董建华;透明导电In_2O_3:Sn和ZnO:Al薄膜的制备及其特性研究[D];重庆大学;2002年
7 江国栋;Sol-Gel法制备无机/有机高分子纳米复合材料[D];南京工业大学;2003年
8 付金栋;纳米氧化铟锡制备透明隔热涂料的研究[D];南京工业大学;2003年
9 王树林;ITO薄膜的制备及性能研究[D];武汉理工大学;2004年
10 张贤高;ITO纳米粉的低温制备[D];华中师范大学;2004年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 吴桂芳,宋学平,刘勇,林伟,孙兆奇;衬底温度对溅射硅基铜膜(Cu/Si)应力的影响研究[J];安徽大学学报(自然科学版);2004年03期
2 周健;赖君荣;;乙酰丙酮铟的制备[J];安徽大学学报(自然科学版);2006年06期
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10 欧毅,孙雨南,崔芳,崔健民;硅微机械F-P腔结构及电场的有限元分析[J];北京理工大学学报;2002年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 胡明;高晓明;孙嘉奕;伏彦龙;杨军;汪晓萍;翁立军;;多弧离子镀低温沉积Ti薄膜的结构和力学性能[A];中国空间科学学会空间材料专业委员会2011学术交流会论文集[C];2011年
2 王海斗;徐滨士;刘家浚;康嘉杰;朱丽娜;;反应生成MOS_2固体润滑薄膜的表征与摩擦学性能[A];第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集(一)[C];2008年
3 刘忠伟;孙滨如;张保军;周越;;红外反射谱法测量金刚石薄膜的厚度和折射率[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
4 夏章能;徐洁;;AlN陶瓷化学镀法金属化机理[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
5 王吉会;贺小明;路新春;温诗铸;;等离子辅助沉积DLC膜的结构和微摩擦磨损特性[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
6 侯和峰;李春红;陈玉清;綦晓峰;徐丽丽;;低辐射镀膜玻璃[A];首届山东材料大会论文集(建筑材料篇)[C];2007年
7 孙喜莲;徐学科;邵建达;;铬过渡层对银膜的微结构、光学性质及附着力的影响[A];上海市激光学会2005年学术年会论文集[C];2005年
8 袁振宇;徐东;蔡炳初;;镍钛形状记忆合金薄膜超弹性性能的研究[A];上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会论文集[C];2005年
9 李朝升;王先平;方前锋;S.Veprek;李世直;;反应磁控溅射法制备nc-TiN/a-Si_3N_4薄膜的 Young's 模量和内耗[A];第七届全国内耗学术会议论文集[C];2003年
10 蔡志海;张平;谭俊;赵军军;;CrN活塞环涂层的工艺制备与摩擦学性能研究[A];2008年全国荷电粒子源、粒子束学术会议暨中国电工技术学会第十二届电子束离子束学术年会、中国电子学会焊接专业委员会第九届全国电子束焊接学术交流会、粒子加速器学会第十一届全国离子源学术交流会、中国机械工程学会焊接分会2008年全国高能束加工技术研讨会、北京电机工程学会第十届粒子加速器学术交流会论文集[C];2008年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 石倩;薄膜电池LiV_3O_8正极材料的结构控制与电化学性能[D];华南理工大学;2010年
2 刘云燕;ZnO薄膜的表面形貌与应力特性研究[D];山东师范大学;2011年
3 张丽;Fe基双相纳米复合材料的制备与高频性能的研究[D];电子科技大学;2011年
4 张磊;有机电致发光显示屏的制备及其漏电流研究[D];电子科技大学;2010年
5 韩军;光学膜厚宽带监控关键技术研究[D];西安电子科技大学;2011年
6 朱哲;铁电薄膜生长机制和畴变演化的研究[D];湘潭大学;2011年
7 钟建;基于柔性塑料基底OLED阵列化技术及有机光伏器件研究[D];电子科技大学;2011年
8 徐军;微波-ECR等离子体增强非平衡磁控溅射技术及CN薄膜的制备研究[D];大连理工大学;2002年
9 金应荣;硒化镉(CdSe)单晶体生长及其室温核辐射探测器[D];四川大学;2002年
10 杨斌;聚变堆第一壁保护涂层的制备研究[D];四川大学;2002年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 徐蕙;CuO薄膜和Cu/TiO_x复合薄膜的制备与表征[D];浙江理工大学;2010年
2 张科;薄膜/基体系统三维压痕实验力学模型研究[D];郑州大学;2010年
3 王方文;侧基横挂偶极单元的液晶聚对苯撑乙炔的合成及性质表征[D];郑州大学;2010年
4 贾波;铝离子掺杂氧化锌薄膜的溶胶—凝胶法制备及性能[D];中国海洋大学;2010年
5 王甲世;纳米压痕法确定横观各向同性压电薄膜的力电耦合系数[D];湘潭大学;2010年
6 郑德立;镍/铝薄膜拉伸的分子动力学研究[D];湘潭大学;2010年
7 李坤明;陶瓷薄膜(涂层)材料力学性能评价技术研究[D];中国建筑材料科学研究总院;2010年
8 高良秋;溶胶—凝胶法制备NiCuZn铁氧体薄膜和粉体的研究[D];兰州大学;2010年
9 李展;适用于声表面波器件的h-BN/硅和h-BN/金刚石多层膜制备与表征[D];天津理工大学;2010年
10 马敏伟;金属薄膜流变力学性能研究[D];中南林业科技大学;2009年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 宋希文,安胜利,赵文广;氧化铝超细粉末的烧结特性[J];兵器材料科学与工程;2001年02期
2 施冬梅,邓辉,杜仕国,田春雷;雷达隐身材料技术的发展[J];兵器材料科学与工程;2002年01期
3 李建涛;许晓丽;;ITO防电磁辐射玻璃制备方法及性能研究[J];兵器材料科学与工程;2009年04期
4 陈晓杰,李爱珍,王嘉宽,胡雨生,汪乐;Al_(0.85)Ga_(0.15)As/GaAs太阳能电池器件工艺优化研究[J];半导体光电;2000年05期
5 禹培栋,王国忠,陈明华,谢世钟;光开关技术进展[J];半导体光电;2001年03期
6 李琳;季振国;张亚红;韩伟智;;氧化锌薄膜紫外光电导机理研究[J];半导体光电;2006年01期
7 王军;林慧;杨刚;蒋亚东;张有润;;直流磁控溅射ITO薄膜的正交试验分析[J];半导体光电;2007年01期
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9 张锦文,武光明,宋世庚,陶明德;SnO_2薄膜的湿敏效应[J];半导体技术;1999年06期
10 张化福;袁玉珍;刘汉法;刘云燕;;掺Al ZnO柔性透明导电薄膜研究进展[J];半导体技术;2008年06期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 吴志勇;;自由流电泳(FFE)及其在蛋白质组学研究中的应用(综述)[A];中国化学会第二十五届学术年会论文摘要集(下册)[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 龚丽;ZnO基透明导电膜的制备与掺杂研究[D];浙江大学;2011年
2 王金相;爆炸粉末烧结的细观沉能机制研究[D];大连理工大学;2005年
3 张源涛;ZnO薄膜和MgZnO合金薄膜的生长及其特性研究[D];吉林大学;2005年
4 李瑞勇;纳米氧化铝的爆轰合成及其晶型和尺寸的控制研究[D];大连理工大学;2006年
5 袁国栋;Al-N共掺杂实现p型ZnO的机理及其相关器件基础研究[D];浙江大学;2006年
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7 孙彦峰;ZnO:Al透明导电薄膜与ZnO器件的制备及性质的研究[D];吉林大学;2007年
8 仇明侠;Li掺杂p型Zn_(1-x)Mg_xO薄膜及ZnO和ZnMgO纳米材料的研究[D];浙江大学;2008年
9 何明霞;生物组织与微纳材料太赫兹时域光谱特性研究[D];天津大学;2007年
10 刘新典;铟、锌、钛基透明导电氧化物的电子结构及光电性质[D];天津大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 吴世华;铟锡醇盐的合成及ITO薄膜溶胶-凝胶法制备技术研究[D];昆明理工大学;2001年
2 徐新龙;从THz时间波形中提取材料参数的方法和分析[D];首都师范大学;2003年
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4 武莉莉;CdTe/CdS多晶薄膜及其异质结界面的研究[D];四川大学;2001年
5 付金栋;纳米氧化铟锡制备透明隔热涂料的研究[D];南京工业大学;2003年
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7 陈健;超声雾化热解法制备ZnO薄膜结构及其性能研究[D];北京工业大学;2004年
8 马晓;穿甲弹弹芯材料的爆炸烧结[D];南京理工大学;2004年
9 陈飞霞;纳米氧化铟锡透明隔热涂料的制备及性能研究[D];南京工业大学;2004年
10 葛春桥;溶胶—凝胶法制备AZO透明导电薄膜的研究[D];武汉理工大学;2005年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 陈进军;曹铃;宋学萍;孙兆奇;;钽掺杂对氧化锌透明导电薄膜结构和电学特性的影响[J];安徽大学学报(自然科学版);2010年04期
2 周强;季振国;赵丽娜;陈琛;王超;;Cu/Al比对p型透明导电铜铝氧薄膜性能的影响[J];半导体光电;2005年06期
3 杨兵初;马学龙;张丽;颜建堂;;p型透明导电Cu-Al-O薄膜的直流共溅射法制备[J];半导体光电;2008年05期
4 张化福;袁玉珍;刘汉法;刘云燕;;掺Al ZnO柔性透明导电薄膜研究进展[J];半导体技术;2008年06期
5 季振国;吴秋红;毛启楠;;射频磁控溅射法沉积透明柔性导电CdO薄膜[J];半导体技术;2010年12期
6 于忠玺;高善民;张江;陈健;曲荣君;;溶胶-凝胶法制备ITO薄膜的光电性能研究[J];微纳电子技术;2007年05期
7 梁庆;徐刚;甄恩明;陈丽华;苗蕾;;透明导电薄膜对太阳能平板集热器性能的影响[J];微纳电子技术;2008年11期
8 范志新,孙以材,陈玖琳;氧化物半导体透明导电薄膜的最佳掺杂含量理论计算[J];半导体学报;2001年11期
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10 邵乐喜,张昆辉,黄惠良;铝掺杂氧化锌薄膜在玻璃衬底上的RF反应共溅射低温织构生长[J];半导体学报;2003年06期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 李焕勇;庞世红;马静;任淑萍;;铝掺杂量对氧化锌(ZnO:Al)薄膜光电特性影响[A];2010全国玻璃技术交流研讨会论文集[C];2010年
2 陈记寿;徐爱忠;刘丹;;激光刻蚀ITO薄膜工艺研究[A];2010全国玻璃技术交流研讨会论文集[C];2010年
3 陈静;郭卫;;半导体氧化锌铝(AZO)透明导电薄膜的光电性能[A];电子玻璃技术(2010年第1、2期)[C];2010年
4 何志远;张治国;;ITO薄膜电导率与温度关系的测量[A];福建省第五届实验物理教学研讨会论文集[C];2005年
5 李红霞;刘宏;王继扬;李霞;崔红梅;;氧化物透明导电膜的研究进展[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
6 马晓波;钟景明;孙本双;陈焕铭;王东新;;高密度ITO靶材的成形工艺及理论分析[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第2分册)[C];2010年
7 陈宇晖;姜建华;黄月霞;朱源泰;韦莉;;溶胶-凝胶法制备掺铝氧化锌透明导电膜及其性能研究[A];上海市化学化工学会2010年度学术年会论文集[C];2010年
8 方玲;庄大明;吴敏生;赵大庆;;ITO薄膜组织结构与光电性能的关系研究[A];2000年材料科学与工程新进展(上)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
9 李林娜;薛俊明;孙建;耿新华;赵颖;;Sn含量对低温制备In_2O_3:Sn薄膜性能的影响[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代[C];2008年
10 万翠凤;金胜明;;氧化锌掺杂制备高导电性粉末及应用[A];第八届全国颗粒制备与处理学术和应用研讨会论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 韦莉;有机—无机杂化透明导电薄膜的制备及性能研究[D];华东理工大学;2010年
2 丁娟;CuA1O_2与ZnO纳米结构制备及其光电化学性质研究[D];吉林大学;2011年
3 吴芳;Ga掺杂ZnO透明导电薄膜的制备与特性研究[D];重庆大学;2011年
4 徐建;被动型相干布居数囚禁原子钟系统关键技术研究[D];华中科技大学;2011年
5 赵子文;P型ZnO薄膜的脉冲激光沉积法制备及其特性研究[D];大连理工大学;2010年
6 郭文英;纳米增敏与流动注射电化学发光分析研究[D];苏州大学;2011年
7 范志新;电子薄膜材料最佳掺杂含量的理论研究[D];河北工业大学;2002年
8 詹自力;纳米In_2O_3气敏性能及其气敏机理研究[D];郑州大学;2003年
9 马勇;ZnO薄膜制备及性质研究[D];重庆大学;2004年
10 王兆阳;ZnO和ZnO/MgO复合层薄膜的PLD法制备及其特性研究[D];大连理工大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李阳龙;液晶光学器件功能薄膜的激光损伤机理研究[D];中国工程物理研究院;2010年
2 王淑珍;HIT太阳电池硅片处理及复合透明导电膜的研究[D];江南大学;2010年
3 郜展;ZnO薄膜的合成与特性的研究[D];北京交通大学;2011年
4 严玉环;微波化学共沉淀法制备ZAO纳米粉体的研究[D];昆明理工大学;2008年
5 肖立华;LaB_6光学性质的第一性原理计算及实验研究[D];昆明理工大学;2010年
6 路婷;ZAO~p/ZAO透明导电薄膜的制备工艺与性能研究[D];西安工业大学;2011年
7 张易军;掺杂Ga_2O_3薄膜的理论与实验研究[D];鲁东大学;2011年
8 方敏;p型CuAlO_2薄膜的制备与性能表征[D];浙江大学;2011年
9 于平坤;ZnO:Al透明导电薄膜的制备及性能研究[D];山东建筑大学;2011年
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【相似文献】
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2 ;防静电、辐射及光晕的透明导电涂料[J];新材料产业;2003年11期
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3 毅轩;长兴化工:采用纳米技术支持产业进步[N];电子资讯时报;2002年
4 杨晓婵;日公司开发出氧化锌系靶材[N];中国有色金属报;2005年
5 见习记者  夏天;赛格三星镀膜玻璃项目投资回收期4.5年[N];证券时报;2006年
6 本报记者 曾俊峰;北海出口加工区:疾风出航[N];广西日报;2003年
7 扬开 周莹;科技创新助推经济发展[N];扬州日报;2009年
8 杨东;光纤也能变身太阳能电池[N];中国煤炭报;2009年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
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3 王宁;新型透明导电氧化物薄膜的设计与制备及其在有机光电器件中的应用研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
4 钱敏;纳米碳材料的制备及其薄膜透明导电和场发射性能的研究[D];华东师范大学;2012年
5 秦国强;SnO_2和ZnO类透明导电氧化物薄膜的第一性原理研究[D];燕山大学;2010年
6 刘世民;透明导电锡基氧化物纳米粉体的制备及应用研究[D];大连交通大学;2011年
7 邓雪然;Al_xZn_(1-x)O薄膜光电性能的研究与应用[D];电子科技大学;2013年
8 李桂锋;铟锌氧化物薄膜晶体管和高功函数TCO薄膜的研究[D];复旦大学;2010年
9 周伟;锡基材料的理论计算与实验研究[D];天津大学;2010年
10 谭红琳;金属离子掺杂的ZnO第一性原理计算及透明导电薄膜制备研究[D];昆明理工大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张进兵;Sr_2TiO_4透明导电薄膜制备及光电性能研究[D];西北大学;2011年
2 石小凤;透明导电掺铝氧化锌薄膜的制备修饰及其自清洁性能研究[D];哈尔滨工业大学;2013年
3 苏伟涛;射频溅射制备ZnO:Al透明导电薄膜及性能研究[D];中南大学;2004年
4 许鹏;垂直腔面发射半导体激光器透明导电窗口的设计与研究[D];长春理工大学;2013年
5 何振杰;P型透明导电二氧化锡薄膜的制备及性能研究[D];浙江大学;2004年
6 吴臣国;新型ZnO基透明导电氧化物薄膜的研究[D];复旦大学;2010年
7 张春雨;Al-Zr共掺杂ZnO透明导电薄膜制备及性能[D];兰州大学;2011年
8 陈玮;透明导电ZnO薄膜的制备及其SPP调制器研究[D];华中科技大学;2013年
9 王越;ZnO基透明导电氧化物薄膜的光、电和力学性能研究[D];天津师范大学;2013年
10 李晶;ITO透明导电薄膜的溶胶凝胶法制备及工艺研究[D];中南大学;2004年
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