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《真空》 2015年06期
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电弧离子镀中真空电弧稳定性控制方法

严鹏  杜继红  李争显  唐勇  杨涛  
【摘要】:电弧离子镀技术中真空电弧的工作稳定性对于制备高质量的涂层至关重要。本研究通过在一系列工艺条件下开展电弧离子镀镀膜实验,研究和分析了电弧离子镀中磁场、靶面污染物、靶面温度、靶面尺寸和形貌、维弧电流以及工作气体种类和压力对真空电弧稳定性的影响,从而得出了提高电弧稳定性的控制方法。
【作者单位】西北有色金属研究院腐蚀与防护研究所;
【分类号】:TG174.4

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
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【共引文献】
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【二级参考文献】
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【相似文献】
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中国博士学位论文全文数据库 前4条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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10 周珊珊;镁合金压铸模用H13钢表面电弧离子镀膜的研究[D];太原理工大学;2010年
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