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《真空》 2007年03期
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高性能导电薄膜的制备

张树人  陈国良  郭太良  
【摘要】:采用磁控溅射法在玻璃基底上制备了Cr-Cu-Al-Cr薄膜,用焊接法测试薄膜附着性能,用x射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)和台阶仪对薄膜进行表征,研究溅射过程中以及在高温大气环境下薄膜的防氧化方法,分析薄膜晶粒大小与电性能关系,制备出性能较好的导电膜。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 张永爱;许华安;郭太良;;大屏幕场致发射显示器薄膜型精细金属电极的研制[J];液晶与显示;2009年04期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 周铖;Cu-W、Cu-Mo非混溶合金均质薄膜的结构与性能研究[D];昆明理工大学;2011年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 姚若河,邹心遥,张红,张炜华;用磁控溅射法制备Cu薄膜的研究[J];广西物理;2004年01期
2 周国洪,李华伦,胡锐;铜铝合金的氧化分析[J];西北工业大学学报;2002年02期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李红霞,田保红,宋克兴,刘平;内氧化法制备Al_2O_3/Cu复合材料[J];兵器材料科学与工程;2004年05期
2 胡世菊;时海芳;李智超;;纯铜深层渗铝固溶时效的组织及性能[J];表面技术;2008年01期
3 胡世菊;时海芳;李智超;;纯铜深层渗铝内氧化的组织及性能[J];表面技术;2008年03期
4 王雄;吴学忠;;PVD溅射技术在MEMS器件制作中的应用[J];传感技术学报;2006年05期
5 孙杰;高斐;权乃承;晏春愉;张佳雯;郝培风;刘立慧;;Cu_2O薄膜的制备方法[J];材料开发与应用;2009年04期
6 齐雪莲;任春生;马腾才;刘峰;;高密度等离子体增强非平衡磁控溅射沉积Cu膜研究[J];大连理工大学学报;2006年04期
7 林阳明,宋克兴,李红霞;Al_2O_3/Cu复合材料强化机理研究[J];热加工工艺;2005年04期
8 苏凡凡;赵冬梅;任凤章;贾淑果;;内氧化法制备Al_2O_3弥散强化铜基复合材料的研究[J];热加工工艺;2008年22期
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10 张树人;陈国良;赵靖;郭太良;;高性能导电薄膜的制备[J];真空电子技术;2007年01期
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 武小记;Cu-Cr-Zr复合材料的制备及其性能研究[D];华东理工大学;2011年
2 李宁;反应合成Ag/Al_2O_3粉体复合材料的制备研究[D];昆明理工大学;2011年
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9 王雄;新型冲击片雷管设计与制作关键技术研究[D];国防科学技术大学;2006年
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【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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2 贾嘉;溅射法制备纳米薄膜材料及进展[J];半导体技术;2004年07期
3 陈苏,张楷亮,宋志棠,封松林;多层互连工艺中铜布线化学机械抛光研究进展[J];半导体技术;2005年08期
4 王阳元,康晋锋;超深亚微米集成电路中的互连问题——低k介质与Cu的互连集成技术[J];半导体学报;2002年11期
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7 刘贵民,徐滨士;薄膜层表面形貌的定量表征[J];中国表面工程;1999年02期
8 李兆泽;徐超;吴学忠;万红;李圣怡;;Cr薄膜的沉积与湿法刻蚀工艺研究[J];传感技术学报;2006年05期
9 王瑞;周灵平;汪明朴;朱家俊;李德意;李绍禄;;磁控溅射Cu-W薄膜的组织与结构[J];材料科学与工程学报;2008年04期
10 汪渊;李晓华;宋忠孝;徐可为;尉秀英;;退火Cu-W薄膜组织结构与残余应力[J];稀有金属材料与工程;2007年03期
【二级引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 刘立筠;无扩散阻挡层Cu-Ni-Sn和Cu-Ni-Nb三元薄膜的制备及表征[D];大连理工大学;2012年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 李玉桐,董治中,齐增生;Cu-Al_2O_3复合材料的制造工艺对组织、性能的影响[J];复合材料学报;1996年02期
2 廖华,林理彬,刘祖明,陈庭金;多晶硅薄膜太阳电池厚度和晶粒尺寸对其性能的影响[J];太阳能学报;2003年02期
3 张建民,徐可为;面心立方多晶薄膜中应变能密度对晶粒取向的依赖[J];物理学报;2002年11期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张树人;陈国良;赵靖;郭太良;;高性能导电薄膜的制备[J];真空电子技术;2007年01期
2 王晓震,王二敏,赵新清;离子注入铜薄膜后的氧化行为[J];航空材料学报;1999年04期
3 谭厚章,廖晓伟,徐通模,赵科,惠世恩,车得福;煤燃烧过程中吡啶型氮迁徙规律的实验研究[J];西安交通大学学报;2004年03期
4 史济群,马稚尧,谢基凡,王宇;空间用高效率硅太阳电池[J];华中科技大学学报(自然科学版);1992年05期
5 陈云贵,涂铭旌;ZA27合金液氧化特性[J];特种铸造及有色合金;1998年01期
6 罗学涛,袁润章!材料复合新技术国家重点实验室;Y-La-Si_3N_4陶瓷高温氧化和热震对其力学性能影响[J];武汉工业大学学报;1998年01期
7 王会明;内燃机润滑油的氧化因素及抗氧化性分析[J];车用发动机;1992年05期
8 王培录,刘仲阳,廖小东,郑思孝,孙官清;离子束辅助沉积MoS_2-Ag复合膜氧化行为的研究[J];四川大学学报(自然科学版);1999年06期
9 潘志彦,林春绵,周红艺,金耀门,章渊昶;超临界水中乙酸氧化降解的研究[J];浙江工业大学学报;2000年04期
10 陈瑜眉,朱健希,许云华,朱金华;不同温度下铁基粉末冶金材料的冲击磨损规律[J];西安交通大学学报;2001年09期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
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2 陈娜;曹江利;乔利杰;;高温氢致氧化铝电学性能改性的研究[A];第四届全国反应堆物理与核材料学术研讨会论文集[C];2009年
3 赵东宇;赵冬梅;吴捷;雷清泉;;碳纳米管/聚乙烯复合材料的研究[A];中国化学会第二十五届学术年会论文摘要集(上册)[C];2006年
4 冯保林;薛昊;熊兆贤;;掺杂Y~(3+)对BiFeO_3陶瓷电学性能的影响[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(2)[C];2007年
5 曾尤;英哲;成会明;;碳纳米管/聚甲醛复合材料的制备及其正温度系数效应[A];第20届炭—石墨材料学术会论文集[C];2006年
6 井源源;刘艳辉;孟亮;;多晶FeS_2薄膜电学性能的研究与进展[A];2006年全国功能材料学术年会专辑[C];2006年
7 王媛玉;吴家刚;肖定全;朱建国;吴浪;;(K_(0.54)Na_(0.46))NbO_3-LiSbO_3无铅压电陶瓷的电学性能与相结构[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(2)[C];2007年
8 金敏;徐家跃;何庆波;房永征;;砷化镓单晶的改进型坩埚下降法生长研究[A];第15届全国晶体生长与材料学术会议论文集[C];2009年
9 杨胜辉;朱铁军;赵新兵;;快速凝固法制备(Ge_(1-y)Sn_yTe)_x(AgSbTe_2)_(100-x)化合物热电材料的电学性能[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(4)[C];2007年
10 魏爱香;张幸福;;Ta_2O_5薄膜的结构和电学性能研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(2)[C];2007年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 上蔡县塔桥乡农业中心 朱振春;土壤条件对拖拉机牵引附着性能的影响[N];驻马店日报;2008年
2 ;配重使用有讲究[N];山西科技报;2003年
3 ;WLP封装[N];中国计算机报;2004年
4 樱敬;住友电工利用链状金属纳米粉末开发出各向异性导电薄膜[N];中国有色金属报;2002年
5 重庆 海量;键盘失灵为哪般[N];电脑报;2004年
6 徐景明;采用发泡水泥制做保温层的优势[N];中国建材报;2008年
7 海波;喷墨印刷专用纸最新动向[N];中国包装报;2006年
8 ;三星开发适应更高性能芯片的WLP[N];计算机世界;2004年
9 老安 张冲杰;专家坐堂之硬件篇[N];电脑报;2004年
10 张迪;冬季“用胎”有讲究[N];南京日报;2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘举庆;石墨烯基导电薄膜及其有机半导体二极管器件的制备与性能研究[D];南京邮电大学;2011年
2 杨仕娥;硬质合金刀具基体上金刚石涂层的制备及其附着性能的研究[D];郑州大学;2002年
3 李春燕;掺硼金刚石膜的制备及其电学性能研究[D];吉林大学;2006年
4 汪黎东;烟气脱硫添加剂对正盐生成促进的实验研究[D];华北电力大学(河北);2005年
5 马丙现;CVD金刚石膜的附着性能与应用[D];郑州大学;2003年
6 王建龙;离子液体在燃料油脱硫中的应用研究[D];天津大学;2008年
7 罗振飞;氧化钒薄膜的制备及其电学、光学特性研究[D];电子科技大学;2012年
8 余厉阳;微型压电变压器的研究[D];浙江大学;2005年
9 梅启林;纳米碳纤维的表面处理及其聚合物复合材料的性能研究[D];武汉理工大学;2008年
10 吴南春;电子辅助化学气相沉积法(EACVD)制备纳米金刚石薄膜及其光电性能的研究[D];上海大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张兴旺;氧化物透明导电薄膜的溶胶—凝胶法制备[D];西安理工大学;2002年
2 孙旭辉;层状钙钛矿型Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_3O_(12)铁电薄膜的取向控制生长研究[D];青岛大学;2009年
3 陈海龙;氮离子注入硅中氮及氮相关复合体的研究[D];浙江大学;2006年
4 颜芳;纤维相复合强化Cu-12%Ag合金的研究及稀土元素的作用[D];浙江大学;2003年
5 段光凤;有机发光器件的制备及特性研究[D];暨南大学;2005年
6 徐苏龙;Bi的非化学计量对(Na_(0.5)Bi_(0.5))_(0.93)Ba_(0.07)TiO_3压电陶瓷结构和电学性能的影响[D];武汉理工大学;2006年
7 贾春燕;碳纳米管/环氧树脂复合材料的制备及性能研究[D];中南大学;2008年
8 郭振;单壁碳纳米管的CVD制备、空气氧化提纯及其导电性能研究[D];首都师范大学;2009年
9 陈欣;脉冲激光沉积法制备ZnO:Al透明导电薄膜的研究[D];武汉大学;2005年
10 顾佳方;飞秒激光作用下铜薄膜的超快动力学研究[D];江苏大学;2010年
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