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《真空》 1991年02期
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微波等离子体合成类金刚石(DLC)膜的研究

于爱民  徐文国  张寒琦  段忆翔  杨广德  刘军  金钦汉  
【摘要】:本文对用微波等离子体化学气相沉积方法,以甲烷和氢气的混合气体为原材,在硅或石英玻璃基片上合成类金刚石薄膜进行了研究,并对微波放电合成类金刚石膜的条件进行了考察和探讨。

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【引证文献】
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