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《真空》 1990年01期
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多弧离子渗金属技术

王福贞  周友苏  唐希源  万春萍  裴显英  
【摘要】:本文用阴极电弧源做离子渗金属源。源极的靶材用Ti、Al、不锈钢制做。弧源因 产生冷阴极弧光放电而产生金属等离子体,形成高密度的金属离子流。基板由钢材制 成,施加适当的负偏压.在基板负偏压作用下,金属离子轰击并加热基板至 900℃或 1100℃。金属原子渗入钢中形成高渗速渗金属层.文中测试了渗金属层的组织形貌和 Ti、 Al、 Cr、 Ni在渗层中的分布。结果表明阴极电弧源离子渗金属技术是新的金属等离子 体表面合金化技术,是对多弧离子镀的发展。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 张跃飞,陈飞,苏永安,潘俊德,徐重;纯铜加弧辉光离子渗钛的研究[J];金属热处理;2002年04期
2 边洁,范本惠,潘俊德,贺琦,郑维能;加弧辉光离子Ni-Cr共渗层相结构的研究[J];金属热处理;2002年10期
3 郑维能,李成明,贺琦,潘俊德,范本惠;加弧辉光离子渗铝的研究[J];热加工工艺;1992年06期
4 张树林,李争显,王福贞,袁哲;多弧离子镀与离子渗中影响光电温度计测温因素的研究[J];真空;1992年02期
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 陈飞;钛合金(Ti6A14V)表面加孤辉光离子无氢渗碳的研究[D];太原理工大学;2002年
2 詹科;Ti6Al4V合金固体供硼等离子渗硼的研究[D];太原理工大学;2008年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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6 侯文义,李俊虎,赵兴国,梁伟;1Cr18Ni9Ti/45钢电弧低温离子镀初探[J];金属热处理学报;2004年01期
7 侯文义;郝俊丽;;铜合金/纯铜同基合金电弧离子镀技术的研究[J];机械管理开发;2012年03期
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9 宫秀敏,叶卫平,孙伟,许大庆,朱小清;TiN多弧离子镀涂层质量与X射线衍射图谱[J];金属热处理;2000年07期
10 张跃飞,陈飞,苏永安,潘俊德,徐重;纯铜加弧辉光离子渗钛的研究[J];金属热处理;2002年04期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 华敏奇;杨兵;张莎莎;;应用MS-T3000摩擦磨损试验仪对类金刚石纳米复合涂层进行摩擦磨损性能研究[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
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中国博士学位论文全文数据库 前9条
1 黄美东;脉冲偏压电弧离子镀低温沉积研究[D];大连理工大学;2002年
2 张乐天;紫外写入技术制备Si基SiO_2阵列波导光栅器件基础研究[D];吉林大学;2004年
3 曾其勇;化爆材料动态切削温度的薄膜热电偶测量原理及传感器研制[D];大连理工大学;2005年
4 李爱武;用溶胶—凝胶和紫外写入技术制备阵列波导光栅器件基础研究[D];吉林大学;2005年
5 林国强;脉冲偏压电弧离子镀的工艺基础研究[D];大连理工大学;2008年
6 张敏;脉冲偏压电弧离子镀沉积TiO_2与AlN介电薄膜[D];大连理工大学;2008年
7 吕树国;脉冲N离子束辅助电弧离子镀沉积TiAlN膜层的研究[D];东北大学 ;2009年
8 刘燕萍;双辉复合渗镀氮化钛陶瓷层及其等离子体特性的研究[D];太原理工大学;2006年
9 陈响明;硬质合金刀具TiN-TiCN-Al_2O_3-TiN多层复合涂层制备与组织性能研究[D];中南大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 孙亮;电弧离子镀内孔镀膜研究[D];大连理工大学;2010年
2 邓其明;PECVD氮化硅薄膜的制备工艺及仿真研究[D];电子科技大学;2010年
3 林江;大气压非平衡等离子体沉积类二氧化硅薄膜研究[D];浙江大学;2011年
4 杜日昇;高Al含量Ti-Al-N系硬质涂层的制备及其抗氧化性能的研究[D];华南理工大学;2011年
5 承涵;C/C复合材料表面双辉W/Ir复合涂层及其组织结构研究[D];南京航空航天大学;2010年
6 陈宁;紫铜基片上液相沉积二氧化硅薄膜地热水防垢防腐特性[D];天津大学;2010年
7 刘玉兰;采用MPCVD法在PET上制备介质阻隔材料的研究[D];武汉工程大学;2011年
8 刘立;纯铝/铝合金基底上SiO_x陶瓷膜层的CVD制备及其性能研究[D];浙江大学;2002年
9 李新梅;高效复合镀铬添加剂的研究[D];西安理工大学;2002年
10 吴守军;CVD SiC涂层缺陷控制与C/SiC复合材料氧化行为研究[D];西北工业大学;2004年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 潘兴波,吕小平,胡中铎,李长瑞;钛及其合金的应用前景[J];黑龙江电力;2000年01期
2 康士臣,林瑞广;国内外钛材的发展及应用[J];化工装备技术;1999年03期
3 赖建军,王新兵,丘军林,余建华;空心阴极放电的阴极溅射分析[J];华中科技大学学报;2001年07期
4 孟祥军;钛合金在舰船上的应用[J];舰船科学技术;2001年02期
5 徐重;王振民;左凤英;范本惠;肖丽华;赵晋香;;双层辉光离子渗金属[J];金属热处理学报;1982年01期
6 李国卿;杨烈宇;;离子渗碳特性的研究[J];金属热处理学报;1991年01期
7 王从曾;唐宾;苏永安;徐重;;不等电位空心阴极离子渗金属工艺特性及其应用[J];金属热处理学报;1991年03期
8 侯增寿;周禾丰;曹国华;王万祥;;碳化物极限值与碳势门槛值[J];金属热处理学报;1992年01期
9 潘俊德;范本惠;李成明;郑维能;徐重;;多弧离子渗碳的研究[J];金属热处理学报;1992年03期
10 王豫;工模具钢的两相渗碳研究[J];金属热处理学报;1999年03期
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王文先,赵彭生;陶瓷加弧辉光渗钛及渗钛陶瓷/金属辉光钎焊[J];焊接学报;1998年02期
2 王红星;盛晓波;储成林;董寅生;林萍华;;铜表面Ni_2Al_3涂层高温抗氧化性能与组织转变研究[J];材料热处理学报;2008年02期
3 张跃飞,陈飞,苏永安,潘俊德,徐重;纯铜加弧辉光离子渗钛的研究[J];金属热处理;2002年04期
4 潘俊德,田林海,贺琦,范本惠,徐重;功能梯度材料及薄膜的研究现状与前景[J];金属热处理;1998年06期
5 贺琦,边洁,郑维能,潘俊德,范本惠;加弧辉光离子Ni-Cr共渗层的显微组织[J];金属学报;1997年04期
6 朱元右;等离子体技术在金属材料表面改性中的应用[J];机械;2003年06期
7 陈飞,田林海,张跃飞,潘俊德;石墨电极加弧辉光渗镀Ti抗蚀性能的研究[J];热加工工艺;2001年06期
8 王申,李淑华,谭惠民;陶瓷/金属的钎焊[J];热加工工艺;2002年06期
9 陈飞,周海,姚斌,潘俊德,张跃飞;加弧辉光离子无氢渗碳对钛合金表面粗糙度的影响[J];热加工工艺;2003年04期
10 罗成;董仕节;熊翔;罗平;;镀锌钢板点焊电极的强化技术[J];热加工工艺;2009年05期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 崔彩娥;弧辉渗镀技术在镁合金表面形成钛铬薄膜及其耐蚀性能研究[D];太原理工大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王英芹;Ti6Al4V合金表面等离子Ti-Ni/Ni合金化工艺及摩擦磨损性能研究[D];太原理工大学;2011年
2 崔宏;TC4合金表面双辉等离子渗铬层与铬氧共渗层的制备及性能研究[D];南京航空航天大学;2011年
3 陈飞;钛合金(Ti6A14V)表面加孤辉光离子无氢渗碳的研究[D];太原理工大学;2002年
4 张跃飞;纯铜双层辉光离子渗钛及渗铝工艺和性能的研究[D];太原理工大学;2002年
5 任乃娟;25Cr2Mo2V基表面时效硬化高速钢的研究[D];太原理工大学;2003年
6 王艳;离子溅射渗金属的研究[D];大连海事大学;2006年
7 李超;基于神经网络的双辉等离子表面冶金仿真预测系统的开发[D];南京航空航天大学;2007年
8 朱文慧;纳米颗粒增强Ni基耐蚀耐磨复合镀渗表面合金层的研究[D];南京航空航天大学;2008年
9 周朴;Q235辉光等离子渗Nb及Cr-Nb共渗的工艺及改性层性能研究[D];南京航空航天大学;2009年
10 朱晓林;Q235钢双辉等离子Ni-Cr共渗及其性能研究[D];南京航空航天大学;2009年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张钧,张以朋,高智平;阴极电弧离子镀沉积过程的计算机模拟研究[J];沈阳大学学报;2004年06期
2 清水昭·南二郎;石福占;;用于装饰的离子镀技术[J];热处理技术与装备;1984年01期
3 王文毅;真空离子镀膜技术的发展与现状[J];钟表;1996年01期
4 周克崧,袁镇海,罗广南;离子镀技术及其发展(下)[J];中国表面工程;1997年01期
5 成艳,蔡伟,李洪涛,郑玉峰,赵连城;退火处理对TiNi合金钽镀层微观组织的影响[J];材料工程;2004年07期
6 小宫宗治;空心阴极(HCD)离子镀及其在工具工业中的应用(续完)[J];摩擦学学报;1983年02期
7 赵创业;军械零件的离子镀铝[J];表面技术;1984年04期
8 金;多弧离子镀技术[J];室内设计;1994年04期
9 解正国,石铭德,庄谨;空心阴极放电离子镀法沉积氮化钛涂层[J];清华大学学报(自然科学版);1995年02期
10 肖国珍;离子镀氮化钛涂层[J];钛工业进展;1995年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 ;阴极电弧镀工艺及其应用研究[A];广东省材料研究学会部分单位会员成果汇编[C];2005年
2 陈宝清;董闯;黄龙;;离子镀代替电镀技术现状[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
3 董骐;田凯;胡中军;吴臻;;阴极电弧TiN观察检测和比较[A];薄膜技术高峰论坛暨广东省真空学会学术年会论文集[C];2009年
4 于传跃;韦光华;曲建华;;真空离子镀膜机冷阴极电弧源工作机理分析[A];2002年黑龙江省机械工程学会年会论文集[C];2002年
5 代明江;韦春贝;;离子镀技术及其应用[A];薄膜技术高峰论坛暨广东省真空学会学术年会论文集[C];2009年
6 潘国顺;雒建斌;路新春;;离子镀CrN硬质膜的组织结构及其抗空蚀性能[A];第七届全国摩擦学大会会议论文集(一)[C];2002年
7 李争显;杜继红;周慧;黄春良;周廉;徐重;;钛表面处理技术的发展现状[A];第五届全国表面工程学术会议论文集[C];2004年
8 黄承敏;巢永烈;吴珺华;;多弧离子镀对纯钛及钛合金表面改性的腐蚀性研究[A];2004年上海市口腔医学学术年会论文汇编[C];2004年
9 梁爱凤;徐志潜;金杰;王锦辉;明建川;过骥千;;电化学方法退镀氮化铬膜层的研究[A];2008年全国荷电粒子源、粒子束学术会议暨中国电工技术学会第十二届电子束离子束学术年会、中国电子学会焊接专业委员会第九届全国电子束焊接学术交流会、粒子加速器学会第十一届全国离子源学术交流会、中国机械工程学会焊接分会2008年全国高能束加工技术研讨会、北京电机工程学会第十届粒子加速器学术交流会论文集[C];2008年
10 王立达;刘贵昌;邱介山;;玻璃纤维表面导电膜的制备[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
中国重要报纸全文数据库 前4条
1 本报记者 齐中;《中关村电子一条街》调查报告[N];北京科技报;2003年
2 汪建文;金属防腐蚀领域有了“全能卫士”[N];科技日报;2002年
3 汪建文;溶剂稀释型防腐新品问世[N];中国矿业报;2002年
4 风和 本报记者 风痕;选择你心仪的滑盖手机[N];大众科技报;2005年
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1 袁庆龙;纯铜双辉等离子渗钛、镍表面合金化研究[D];太原理工大学;2004年
2 高原;钨、钼、碳三元共渗等离子表面冶金低合金高速钢的研究[D];太原理工大学;2003年
3 池成忠;碳钢表面中温双辉等离子渗铬合金化及渗层中碳迁移的研究[D];太原理工大学;2004年
4 容幸福;三阴极离子渗镀技术及其在纯钛及钛合金上形成金属碳化物的研究[D];太原理工大学;2003年
5 张扬伟;310不锈钢高温气体腐蚀行为及其防护涂层研究[D];大连理工大学;2002年
6 吴红艳;Ti_2AlNb基合金等离子表面合金化及摩擦学行为的研究[D];南京航空航天大学;2008年
7 曾其勇;化爆材料动态切削温度的薄膜热电偶测量原理及传感器研制[D];大连理工大学;2005年
8 刘天伟;铀表面离子镀氮化物防护薄膜研究[D];大连理工大学;2006年
9 刘燕萍;双辉复合渗镀氮化钛陶瓷层及其等离子体特性的研究[D];太原理工大学;2006年
10 周庆刚;氮化物薄膜的制备及离子注入对其性能影响研究[D];清华大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张景春;等离子渗金属技术制备表面渗铜层抗菌不锈钢及性能研究[D];桂林电子科技大学;2011年
2 张振霞;离子渗金属过程中的迁移研究[D];北京工业大学;2003年
3 张欣;碳基材料表面复合涂层及性能研究[D];东北大学;2010年
4 陈玲玲;多弧离子镀等离子体镀膜技术应用及其计算机控制[D];大连理工大学;2005年
5 殷雪峰;铀表面镀铌激光合金化及其抗腐蚀性研究[D];中国工程物理研究院;2004年
6 黄奇;齿轮表面陶瓷生长工艺的研究[D];重庆大学;2003年
7 徐轶;磁控溅射和离子镀TiAIN涂层的往复滑动摩擦学行为研究[D];西南交通大学;2006年
8 黄浪尘;HCD离子镀生产过程自动控制系统的设计与开发[D];中南大学;2008年
9 李建明;离子镀CrN_x梯度膜组织结构及性能研究[D];哈尔滨工程大学;2008年
10 赵广彬;非平衡闭合磁场磁控溅射设备的设计、制造及应用[D];四川大学;2005年
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