全金属密封超高真空闸阀--《真空》1980年02期

《真空》 1980年02期

全金属密封超高真空闸阀

【摘要】：

【关键词】： 密封力 全金属 闸阀 超高真空 金属密封 复合密封 不锈钢法兰 密封面积 通导 主密封
【DOI】：CNKI:SUN:ZKZK.0.1980-02-005
【正文快照】：

前言随着加速器等科学技术的发展,对清洁超高真空系统提出了新的要求,全金属密封闸阀已被重视和较多应用。这种阀门与弹性体(橡胶)密封的阀门相比,大大降低了有机物的污染,具有通导大,压强增长率低,有利于获得更高的真空度,还具有耐高温和抗高能粒子辐射效应等优点。本文浅

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