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《真空科学与技术学报》 2012年11期
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离子束轰击诱导硅表面纳米结构和铁纳米条纹

唐光盛  刘宏燕  曾飞  潘峰  
【摘要】:研究了氩离子束轰击诱导硅表面自组装纳米结构和铁纳米条纹的形成规律。在单晶Si(100)表面水平放置直径为2mm的铁棒,采用3 keV氩离子束垂直轰击硅样品表面。扫描电镜观察表明:在金属铁棒周围由近及远,硅表面形成纳米条纹和纳米点阵,纳米条纹向纳米点阵的过渡形貌为链状纳米椭圆结构;并在铁棒区域自组装出金属铁纳米条纹。通过阻尼Kuramoto-Sivashinsky方程对离子束作用下固体表面纳米结构的形成机理进行了合理的诠释与讨论。

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【参考文献】
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