收藏本站
《真空科学与技术学报》 2009年05期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

DBD-PECVD法制备CN薄膜的结构及性能研究

张莲莲  刘艳红  牛金海  刘东平  
【摘要】:使用自行设计的真空系统,采用介质阻挡放电等离子体增强化学气相沉积(DBD-PECVD)法,分别以CH4/N2、C2H2/N2、C2H4/N2混合气体作为反应气体,在单晶硅片上成功制备了CN薄膜。FTIR结果证实了薄膜中碳氮原子结合成化学键,Raman结果说明薄膜中含有类金刚石结构,AFM结果表明薄膜粗糙度随放电气压的升高而逐渐增大。三种混合气体沉积的CN薄膜,以CH4/N2的沉积速度最慢,薄膜表面粗糙度最小,含H量最少;C2H2/N2的沉积速度最快,薄膜表面粗糙度最大。

手机知网App
【二级参考文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 赵元春;碳氮前驱物的制备与脉冲放电处理研究[D];燕山大学;2004年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 林成鲁;薄膜[J];自然杂志;1980年11期
2 夏正兴;;真空镀铝织物防辐射热性能探讨[J];东华大学学报(自然科学版);1980年04期
3 左榘;;小角激光散射法对聚酰亚胺薄膜结构的研究(摘要)[J];绝缘材料;1980年Z1期
4 李方华,王荫君,高俊杰,滕晨明;非晶态Gd-Co合金薄膜结构、磁各向异性和磁畴的变化[J];金属学报;1981年04期
5 陆家福;马英仁;;Te_(81)Ge_(15)S_2Sb_2溅射薄膜热致析晶[J];功能材料;1981年06期
6 苍玉玺;;塑料薄膜机库好[J];林业机械与木工设备;1982年04期
7 孙树滋,李杰,廖蔚树;氧离子注入对铝、铁薄膜结构影响的实验研究[J];东北大学学报(自然科学版);1983年02期
8 谢大荣;吴南屏;;电工用聚丙烯薄膜耐浸渍剂性能的研究[J];绝缘材料;1983年01期
9 姚雪元;严小梅;周漪琴;;强化聚酯薄膜的研究[J];绝缘材料;1983年04期
10 植村益次;;空气的建筑物——帐棚结构[J];纤维复合材料;1983年06期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 戴国祥;;上海工业展览馆充气展览厅结构分析[A];第一届空间结构学术交流会论文集(第二卷)[C];1982年
2 姚家礽;;膜结构[A];第四届空间结构学术交流会论文集(第二卷)[C];1988年
3 宋昌永;沈世钊;;薄膜结构的形状确定分析[A];第六届空间结构学术会议论文集[C];1996年
4 王均安;于德洋;欧阳锦林;;MoS_2溅射膜在潮湿空气中润滑失效机理[A];第五届全国摩擦学学术会议论文集(上册)[C];1992年
5 吴现成;王印月;;室温溅射制备的α-SiCN:H膜的结构和光电特性研究[A];材料科学与工程技术——中国科协第三届青年学术年会论文集[C];1998年
6 邓加军;陈强;;掺硼对纳米硅薄膜的光带隙的影响[A];2000年材料科学与工程新进展(下)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
7 邵烨;郑家贵;张静全;冯良桓;蔡伟;武莉莉;蔡亚平;黎兵;;共蒸发法制备的Cd_(1-x)Zn_xTe薄膜性能研究[A];中国第六届光伏会议论文集[C];2000年
8 邸利锋;;退火条件对铌镁酸铅薄膜结构的影响[A];2000年材料科学与工程新进展(上)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
9 杨庆山;吕佐超;姜海鹏;;建筑膜材的物理、力学性能及其对结构分析的影响[A];第九届全国结构工程学术会议论文集第Ⅱ卷[C];2000年
10 杨维国;徐国彬;;薄膜结构的找形分析研究[A];第九届全国结构工程学术会议论文集第Ⅱ卷[C];2000年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 余志平;处理工业废水新招[N];科学时报;2001年
2 成都 肖道臣;光敏电阻器的一种检测方法[N];电子报;2002年
3 记者 郭新秋、刘文波;多层共挤复合薄膜在大连诞生[N];中国食品质量报;2002年
4 建材工业技术情报研究所所长 胡幼奕;悉尼奥运场馆建设及建材使用的启示(下)[N];中国建材报;2003年
5 文轩;LNG船的技术关键[N];中国船舶报;2004年
6 汪雪姣 郑丽红;微观世界显豪情[N];科技日报;2004年
7 黄辛;专家聚会探讨21世纪薄膜技术[N];科学时报;2004年
8 ;非PVC医用输液袋共挤薄膜的生产[N];中国包装报;2005年
9 王凌浩;国产非PVC医用共挤膜将大步入市[N];中国化工报;2005年
10 丰色;水性粘合剂——切实可行的解决方案[N];中国包装报;2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王吉民;薄膜结构的风振响应分析和风洞试验研究[D];浙江大学;2001年
2 宋雪梅;化学气相沉积硅基薄膜的性能及机理研究[D];北京工业大学;2003年
3 司磊;低压反应离子镀设备关键技术研究[D];中国人民解放军国防科学技术大学;2000年
4 于威;晶态氮化碳薄膜沉积及其生长机理研究[D];河北大学;2002年
5 毛国栋;索膜结构设计方法研究[D];浙江大学;2004年
6 吴显明;锂离子电池材料LiMn_2O_4及Li_(1.3)Al_(0.3)Ti_(1.7)(PO_4)_3粉末与薄膜的合成及性质研究[D];中南大学;2003年
7 李之杰;碳团簇沉积类金刚石薄膜机制的分子动力学模拟研究[D];复旦大学;2004年
8 万红霞;索和膜结构形状确定理论研究[D];武汉理工大学;2004年
9 黄致新;SmTbCo系光磁混合记录薄膜结构与特性研究[D];华中科技大学;2004年
10 陈岳;碳纳米管的制备及其薄膜结构场发射实验研究[D];华东师范大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 史兴键;用磁控溅射法生成β—C_3N_4的化学动力学—热力学模型[D];西北大学;2001年
2 宋道颖;a-Si:H薄膜的MWECR CVD制备及特性研究[D];北京工业大学;2002年
3 张磊;大屏幕投影显示用液晶光阀VOPc、CdTe复合光吸收层的制备[D];电子科技大学;2002年
4 李锦;近距离升华(CSS)法制备CdTe薄膜及其性能研究[D];新疆大学;2002年
5 叶春暖;硅基发光材料的光致发光和电致发光研究[D];苏州大学;2002年
6 牛丽芳;碳氮膜的生物相容性以及离子注入对聚丙烯材料的表面改性研究[D];天津师范大学;2002年
7 张宏超;薄膜结构的找形方法和力学特性研究[D];西南交通大学;2003年
8 向因;磁场下热处理及有机无机复合对酞菁薄膜结构及性能的影响[D];浙江大学;2004年
9 刘奎;面向灵巧蒙皮的微型剪应力传感器设计与仿真[D];西北工业大学;2004年
10 张成武;磁过滤真空阴极弧等离子体制备四面体非晶碳膜[D];大连理工大学;2004年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026