收藏本站
《真空科学与技术》 1997年05期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

等离子化学气相沉积氮化钛在高速钢精密轴承上的应用

石玉龙  彭红瑞  李世直  李建华  
【摘要】:报道了等离子化学气相沉积氮化钛工艺在高速钢精密轴承上的应用。试验结果证明,PCVD-TiN具有良好的表面复形能力和良好的绕镀性。该镀层在200~400℃大气中具有良好的耐蚀和抗热震性能。它可用于高速钢精密轴承等加工精度高的工件的表面处理。

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 彭红瑞,石玉龙,谢雁,赵程;PCVD-TiN,TiAlN及TiSiN涂层的抗高温氧化性能[J];材料保护;1999年01期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 蒋兴奇;主轴轴承热特性及对速度和动力学性能影响的研究[D];浙江大学;2001年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 石玉龙,彭红瑞,李世直;PCVD制备工业硬膜研究[J];微细加工技术;1995年04期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前8条
1 石玉龙,彭红瑞,李世直;等离子体金属有机物化学气相沉积碳氮化钛[J];表面技术;1997年05期
2 彭红瑞,石玉龙,谢雁,赵程;PCVD-TiN,TiAlN及TiSiN涂层的抗高温氧化性能[J];材料保护;1999年01期
3 石玉龙,彭红瑞,李世直,李建华;高速钢工件表面物理化学气相沉积TiN[J];金属热处理;1997年11期
4 彭红瑞,石玉龙,谢广文,赵程;用PCVD法制备抗高温氧化涂层的研究[J];青岛化工学院学报;1999年03期
5 彭红瑞,赵程;PCVD-Ti(CNO)薄膜的性能及结构分析[J];青岛化工学院学报;1998年04期
6 彭红瑞,赵程,石玉龙;PCVD-TiN涂层及其钢基体的热处理[J];青岛化工学院学报;1999年01期
7 石玉龙,彭红瑞,李世直;PCVD制备工业硬膜研究[J];微细加工技术;1995年04期
8 石玉龙,彭红瑞,李世直;MOPCVD制备Ti(CN)硬膜研究[J];真空科学与技术学报;2000年01期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 任毅;Ti/TiN多层膜离子束辅助沉积工艺、结构及性能研究[D];中国地质大学(北京);2007年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 杨咸启;用边界元法分析滚动轴承热传导[J];轴承;1990年04期
2 蒋兴奇;应用共振法测量轴承刚度[J];轴承;1991年06期
3 陈宗农,郭明,董荣歌;角接触球轴承静态刚度计算[J];轴承;1993年03期
4 杨咸启;轴承系统温度场分析[J];轴承;1997年03期
5 粱波,查志,杨进周;主轴轴承结构及其高速性[J];轴承;1997年09期
6 蒋兴奇,马家驹;高速精密角接触球轴承结构及性能[J];轴承;2000年03期
7 赵程,彭红瑞,李世直,张学农;PCVD-Ti(CN)膜的工艺及应用研究[J];机械工程材料;1996年04期
8 石玉龙,彭红瑞,李世直,李建华;高速钢工件表面物理化学气相沉积TiN[J];金属热处理;1997年11期
9 赵程,彭红瑞,李世直;等离子体化学气相沉积Ti-N-C膜的研究[J];金属学报;1993年01期
10 任志华,彭红瑞;等离子体化学气相沉积TiN涂层刀具的应用研究[J];青岛化工学院学报(自然科学版);1995年04期
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 谢光荣,谢致薇,胡社军,蒙继龙;离子镀多元膜抗高温氧化性能的研究[J];材料保护;2001年09期
2 宁练;周孑民;;滚动轴承内部温度状态监测技术[J];轴承;2007年02期
3 谢致薇,白晓军,蒙继龙,谢光荣,胡社军;(TiFeCr)N多元膜的氧化行为[J];中国有色金属学报;2001年06期
4 史新伟;李春明;邱万起;刘正义;;Cr对多弧离子镀TiN及其复合膜(Ti,Cr)N性能的影响[J];中国有色金属学报;2006年07期
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 赵联春;球轴承振动的研究[D];浙江大学;2003年
2 周井玲;氮化硅陶瓷球的滚动接触疲劳寿命研究[D];上海大学;2006年
3 李松生;超高速电主轴球轴承—转子系统动力学性能的研究[D];上海大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 刘晓慧;滚珠丝杠副摩擦力矩影响因素及测试方法研究[D];山东大学;2006年
2 田华;数控机床高速电主轴结构设计及性能分析[D];四川大学;2006年
3 陈蓓蓓;(Ti,Al)N薄膜力学性能及微观组织结构的研究[D];上海交通大学;2007年
4 桑一萌;基于有限元法的泵轴强度分析[D];江苏大学;2007年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 赵程,彭红瑞,李世直;等离子体化学气相沉积Ti-N-C膜的研究[J];金属学报;1993年01期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 黄炳堂;等离子体技术在化学气相沉积陶瓷薄膜中的应用[J];化学世界;1986年03期
2 李世直;徐翔;王济中;;直流等离子化学气相沉积TiC,TiC/TiN和弥散型Ti(CN)[J];青岛科技大学学报(自然科学版);1986年04期
3 史荣华;使用新原料气相合成碳化硅[J];无机盐工业;1989年01期
4 王钧石;吴大兴;杨川;高国庆;;等离子化学气相沉积 TiN 涂层的组织与性能研究[J];大型铸锻件;1989年01期
5 王钧石;吴大兴;杨川;;等离子化学气相沉积(PCVD)TiN涂层的组织与性能研究[J];西南交通大学学报;1990年03期
6 ;铁道材料零部件表面处理技术研讨会论文摘要[J];机车车辆工艺;1990年02期
7 拾贝;新型等离子CVD涂层装置[J];工具技术;1991年01期
8 曲承林;谢雁;李世直;;新型射频等离子化学气相沉积系统[J];青岛科技大学学报(自然科学版);1992年01期
9 窦健敏;高转换效率的太阳电池[J];稀有金属;1993年03期
10 赵玉文;用等离子化学气相沉积工艺制备Al_2O_3薄膜[J];硅酸盐学报;1994年01期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 董良旭;张春梅;陈强;刘福平;;等离子化学气相沉积生长石墨烯的研究[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 李岩;常压等离子化学气相沉积纳米晶TiO_2多孔薄膜的研究[D];东华大学;2008年
2 吴宾宾;TFT-LCD制造中通过CVD与DE改善互连接触孔形状[D];复旦大学;2009年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026