收藏本站
《真空科学与技术学报》 1994年01期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

类金刚石碳膜的结构特性与耐磨性能

贺小明  李文治  李恒德  
【摘要】:采用双离子束增强沉积(IBED)和离子束直接沉积(IBD)技术,在CHn+能量为200~550eV和3~25keV范围内沉积的类金刚石薄膜具有光滑平坦的表面和非晶结构。X光电子谱和Raman光谱分析、以及显微硬度测量的结果表明,随着轰击离子能量的降低,薄膜的金刚石特性增强;在200~550eV能量范围内制备的DLC膜具有明显的sp3键特征和很高的显微硬度。沉积在GCr15钢上的DLC膜与GCr15钢的摩擦学对比实验表明,DLC膜具有很低的摩擦系数、比磨损率和高的抗磨损指数,这证明采用上述两种方法制备的DLC膜具有优良的抗摩擦磨损性能。

手机知网App
【引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 喻志农,朱昌,杭凌侠,严一心;脉冲多弧离子镀制备类金刚石薄膜的特性[J];真空科学与技术学报;2000年02期
2 黄桂芳,周灵平,李绍禄,李德意,赵立华,王巧玲;类金刚石(DLC)膜对2Crl3不锈钢耐蚀性能的影响[J];表面技术;2002年01期
3 喻志农,朱昌,杭凌侠,严一心,孙鉴;脉冲多弧离子镀制备类金刚石薄膜的结构分析[J];西安工业学院学报;1999年04期
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 李刚,蔡长龙,权贵秦,严一心;脉冲电弧离子源镀膜均匀性研究[J];西安工业学院学报;2002年03期
2 张万虎,谭宇,师建涛,刘永强,胡仓陆;射频等离子体法制备类金刚石薄膜[J];应用光学;2003年06期
3 周灵平,黄桂芳,李绍禄,李德意,陈小华;离子束类金刚石膜的摩擦磨损及耐蚀性能[J];材料开发与应用;2003年03期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 李刚;蔡长龙;杭凌侠;严一心;;脉冲真空电弧离子源工艺参数对薄膜厚度分布的影响[A];中国真空学会五届三次理事会暨学术会议论文集[C];2002年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 徐鸣;离子注入对DLC膜基的改性研究[D];上海交通大学;2007年
2 戚栋;电弧离子镀的等离子体负载特性与脉冲偏压电源研究[D];大连理工大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 汲大朋;电化学法沉积类金刚石膜的研究[D];大连理工大学;2007年
2 齐海成;RF-PECVD法制备类金刚石薄膜的研究[D];长春理工大学;2007年
3 陈朝平;增强型脉冲离子源的研制[D];西安工业大学;2006年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 ;晶体文摘[J];人工晶体学报;1985年02期
2 陈本敬;王秀琼;肖觉民;刘敏;刘燕湘;;离子束法淀积类金刚石膜[J];炭素技术;1985年03期
3 徐红军;;低压气相合成金刚石[J];炭素技术;1985年04期
4 徐锦芬,方嘉宝;真空沉积碳膜的制备及其性能[J];摩擦学学报;1986年03期
5 林树汉,刘国洪;类金刚石碳膜(DLC膜)的结构、性质及其应用[J];材料研究学报;1987年04期
6 陈平;;类金刚石碳膜的表征[J];材料导报;1988年18期
7 徐锦芬;;气相沉积润滑和耐磨镀层[J];材料科学与工程学报;1989年01期
8 宋权;类金刚石碳膜及其在仪表元件上的应用[J];合肥工业大学学报(自然科学版);1990年02期
9 王和照;;类金刚石碳膜的制备及其应用[J];新技术新工艺;1990年05期
10 岳锡华,孙健,康向阳;射频辉光放电法沉积类金刚石碳膜[J];北京航空航天大学学报;1991年02期
中国重要会议论文全文数据库 前7条
1 贺小明;李文治;及开元;李恒德;;双离子束增强沉积类金刚石碳膜的摩擦磨损性能的研究[A];第二届全国青年摩擦学学术会议论文专辑[C];1993年
2 阎兴斌;徐洮;杨生荣;陈淼;;电化学沉积DLC薄膜的摩擦学特性研究[A];第七届全国摩擦学大会论文集(二)[C];2002年
3 蔺增;巴德纯;杨乃恒;;等离子体化学气相沉积类金刚石碳膜的特性及应用[A];2005'全国真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2005年
4 楚信谱;苟伟;李国卿;柳翠;;射频辉光放电自偏压对类金刚石碳膜结构和性能的影响[A];全国薄膜技术学术研讨会论文集[C];2006年
5 王鹏;陈友明;张广安;刘维民;张俊彦;;Ti掺杂DLC薄膜的制备及其结构研究[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
6 王鹏;陈友明;张广安;刘维民;张俊彦;;Ti掺杂DLC薄膜的制备及其结构研究[A];第六届全国表面工程学术会议论文集[C];2006年
7 王鹏;陈友明;张广安;刘维民;张俊彦;;Ti掺杂DLC薄膜的制备及其摩擦学性能研究[A];2006全国摩擦学学术会议论文集(三)[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 柳翠;类金刚石碳膜制备工艺及掺杂性能研究[D];大连理工大学;2006年
2 胡亚威;TiC/a-C:H薄膜的制备及性能研究[D];上海交通大学;2007年
3 徐鸣;离子注入对DLC膜基的改性研究[D];上海交通大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前9条
1 陈小锰;硅掺杂-DLC硬盘保护膜的制备及等离子体诊断[D];大连理工大学;2005年
2 张艳;rf PECVD法在不锈钢表面沉积类金刚石碳膜的性能研究[D];东北大学;2006年
3 牟魁峰;低摩擦系数DLC膜的制备及摩擦性能的研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
4 杜景永;液相电化学沉积超硬碳膜[D];大连理工大学;2006年
5 苟伟;含氢碳膜及Cr-DLC膜的结构和性能研究[D];大连理工大学;2006年
6 齐海成;RF-PECVD法制备类金刚石薄膜的研究[D];长春理工大学;2007年
7 贾轶;涂层刀具干式钻削铝硅合金的切削性能研究[D];西安理工大学;2006年
8 楚信谱;等离子体增强化学气相沉积DLC膜的研究[D];大连理工大学;2007年
9 商孟香;类金刚石碳膜材料的制备及其应用的初步研究[D];吉林大学;2008年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026