收藏本站
《真空科学与技术》 1987年05期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

类金刚石膜的制备及其物理性质

程世昌  张辉  付德君  
【摘要】:我们分别用射频等离子体法和无质量分析低能碳氢离子束沉积法在p型和n型单晶硅衬底上形成了类金刚石膜,用透射电镜(TEM)、扫描电镜(SEM)、二次离子质谱(SIMS)和X射线光电子谱(XPS)等方法对膜的晶体结构和成分等进行了分析,对膜的电阻率、导电类型及膜与衬底间的伏安特性等电学性质和折射率等光学性质进行了测试。不同条件下得到的碳膜都具有非晶结构;碳膜电阻率随沉积粒子不同和杂质含量,有较大变化,最大可达10~(12)欧姆·厘米左右;类金刚石膜的导电类型决定于杂质种类及其活化情况,膜中杂质主要是来源于系统的铝和由衬底扩散而来的硅、硼、磷等,含铝的类金刚石膜在离子轰击退火的情况下呈p型,而含磷的类金刚石膜则呈n型导电性;碳膜折射率随沉积条件有较大变化,对6328(?)波长的光,膜的折射率在1.5~2.4之间变化。

手机知网App
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 杨伟毅;类金刚石膜的电子能谱(XAES,XPS)研究[J];真空科学与技术;1992年06期
2 王益军,严诚;RFCVD法沉积类金刚石膜的研究[J];咸阳师范专科学校学报;1999年06期
3 林锡刚,刘玮,蒲薇,李鹏远,蒲剑;离子束沉积类金刚石膜作为太阳电池减反射涂层研究[J];真空科学与技术;1992年06期
4 程世昌,傅德君,吴周桥,张维琴;类金刚石膜的电阻率及光吸收特性研究[J];真空科学与技术;1988年05期
5 邹友生,汪伟,宋贵宏,汪爱英,孙超,黄荣芳,闻立时;气体介质对电弧离子镀沉积类金刚石膜的影响[J];人工晶体学报;2003年06期
6 刘心田,刘兴海,陆惠秀,余榕,汤定元,余丙鲲;YBCO 膜上形成类金刚石膜研究[J];上海交通大学学报;1997年10期
7 邓洁;覃礼钊;吴正龙;;类金刚石膜的性质及应用[J];现代科学仪器;2007年03期
8 卫中山,左敦稳;类金刚石膜的制备及应用[J];航空精密制造技术;2004年01期
9 袁镇海,谢致薇,罗广南,邓其森,郑健红,戴达煌,付志强;真空阴极电弧沉积法沉积类金刚石膜的研究[J];广东有色金属学报;1997年02期
10 徐均琪,刘梦夏,弥谦;确定薄膜光学常数的一种新方法[J];应用光学;2001年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 郭延龙;王淑云;杨雪;朱孟真;程勇;王会升;;掺硅类金刚石膜的研究进展[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集(上册)[C];2009年
2 刘璨;兰惠清;王洋;;含硅类金刚石膜的研究进展[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第2分册)[C];2010年
3 洪伟;宋洪君;季一勤;李谨;;类金刚石膜的应用和发展[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
4 郭延龙;陆益敏;吴杰;黄国俊;王淑云;程勇;王会升;万强;;激光沉积掺锗类金刚石膜实验研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
5 代伟;汪爱英;徐采云;吴国松;孙丽丽;;负偏压对线性离子束沉积类金刚石薄膜的结构和性能的影响[A];第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集(二)[C];2008年
6 郭卫民;潘雄;;舰船大电流保护开关用电磁线圈合金的研究[A];2009中国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2009年
7 俞世吉;;感应耦合等离子体源制备硬质类金刚石膜的研究[A];'2001全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2001年
8 崔素萍;刘永肖;兰明章;王子明;王亚丽;;导电混凝土研究现状及发展前景[A];华北地区硅酸盐学会第八届学术技术交流会论文集[C];2005年
9 朱海马;李晓池;张岳涛;;添加剂对电热元件性能的影响[A];2007高技术新材料产业发展研讨会暨《材料导报》编委会年会论文集[C];2007年
10 张朝阳;程海峰;陈朝辉;郑文伟;孙国亮;;低发射率半导体颜料在伪装涂料中的应用研究[A];2008全国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2008年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 康启来;纸张的物理性质及其对印刷的影响[N];中国包装报;2003年
2 张萍伍东;长城测井发挥技术优势明辨水淹层[N];中国石油报;2008年
3 浙江虹越花卉有限公司 蔡向阳;常用容器栽培介质 物理性质和化学性质[N];中国花卉报;2008年
4 赵陕雄;靠质量竞技全球市场[N];中国质量报;2007年
5 本报记者  马艳红;中药制剂研究——物料物理性质研究应唱[N];中国医药报;2006年
6 叶纪明;农药质量标准是有效安全[N];农民日报;2005年
7 记者 董映璧;太阳磁暴能改变血液物理性质[N];科技日报;2003年
8 孟凯钱江山 黄黎黎;警惕进口太阳能用硅原料质量安全[N];中国国门时报;2008年
9 魏双林;河北全通碳素打造节能新品[N];中国有色金属报;2005年
10 俄闻;磁暴可改变人体血液物理性质[N];医药经济报;2003年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘艳红;介质阻挡放电制备类金刚石膜的研究[D];大连理工大学;2007年
2 蔺增;利用射频PECVD方法生长类金刚石薄膜的实验研究[D];东北大学;2004年
3 尹路;渗氮类金刚石膜应用于齿科纯钛的实验研究[D];第四军医大学;2008年
4 王静;铜基体上Ti/Ti_xC_y/DLC功能梯度材料的制备及性能的研究[D];大连理工大学;2009年
5 李新;DLC膜制备、微摩擦性能及其在MEMS中防粘附应用研究[D];大连理工大学;2006年
6 沈风雷;钛合金表面液相法沉积DLC膜及其血液相容性[D];南京工业大学;2003年
7 范金成;P型ZnO薄膜及其p-n结的制备与性能的研究[D];湖南大学;2008年
8 李宗田;储层三维电阻率反演成像技术及其在剩余油探测中的应用[D];中国地质大学(北京);2005年
9 骆继锋;1,3,4-噁二唑衍生物常压及高压下物理性质的研究[D];吉林大学;2005年
10 马天星;铜氧化物高温超导材料超导机理及其反常物理性质的研究[D];北京师范大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 毛羽宏;剃须刀片刃口上镀类金刚石膜的实验研究[D];东北大学;2008年
2 王瑜;金属表面制备类金刚石膜的性能研究[D];北京印刷学院;2005年
3 于玥;用PECVD制备类金刚石膜的研究[D];长春理工大学;2010年
4 李建;He(或Ar)+CH_4介质阻挡放电制备类金刚石膜的性能和沉积机理研究[D];大连理工大学;2004年
5 赵之明;磁控溅射制备类金刚石(DLC)薄膜及其结构和性能研究[D];合肥工业大学;2007年
6 齐海成;RF-PECVD法制备类金刚石薄膜的研究[D];长春理工大学;2007年
7 王凤;聚碳酸酯(PC)上沉积类金刚石膜的性能研究[D];东北大学;2008年
8 马国佳;应用于微机电系统上的类金刚石膜制备[D];大连理工大学;2003年
9 夏志林;电子束蒸发制备AZO薄膜的光电性能研究[D];武汉理工大学;2004年
10 焦虎军;新型热电材料的高温高压合成[D];吉林大学;2005年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026