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《真空电子技术》 2002年02期
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直流二极反应溅射沉积透明ZnO薄膜

邵乐喜  黄春明  刘小平  屈菊兰  谢二庆  
【摘要】:以锌条为溅射靶、普通空气为溅射和反应气体,采用简单的离子溅射仪在玻璃衬底上用直流二极反应溅射法沉积了高度c轴取向的透明ZnO薄膜。通过扫描电镜、X射线能量色散谱、X射线衍射和椭圆偏振测厚仪等手段对沉积样品进行了分析和表征,研究了薄膜结构、折射率n和相对介电常数εr与沉积工艺间的关系,并对结果进行了简要讨论。