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真空微电子器件发展现状及远景了望

罗恩泽

【摘要】：本文论述了真空微电子器件的发展远景,并回答了为什么真空微电子器件在未来必将取代固体器件,以及目前它在工艺上和理论上存在些什么困难。

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前10条

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2	庞学满;夏庆水;程凯;王子良;;真空电子器件外壳关键工艺[A];真空电子与专用金属材料、陶瓷——金属封接专辑[C];2011年
3	刘卫东;郑修麟;刘云鹏;罗恩泽;;阴极材料对真空微电子器件场发射性能的影响[A];中国电子学会真空电子学分会第十届年会论文集（下册）[C];1995年
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