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《组合机床与自动化加工技术》 2012年11期
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微纳米测量机工作台的结构及性能分析

陈贺  陈晓怀  
【摘要】:对微纳米测量机新型工作台进行了结构及静、动态性能分析。比较了不同结构的X、Y工作台的静态变形和刚度;对三维工作台进行了模态和谐响应分析,得到振动频率和振动位移。分析表明:合理的结构设计能够减小工作台的变形量,增加工作台的稳定性;工作台受驱动不会产生共振,动态性能满足要求。
【作者单位】合肥工业大学仪器科学与光电工程学院;
【基金】:863计划重点项目(2008AA042409)
【分类号】:TH89;TB383.1

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【参考文献】
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【共引文献】
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【二级参考文献】
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