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国外微机械惯性仪表的进展

高钟毓  
【摘要】:本文综述了国外微机械惯性仪表的进展;分别介绍了微硅型加速度计、微硅型陀螺仪、多功能加速度计陀螺以及微惯性测量单元的原理、结构、电路组成及性能指标;初步探讨了这类仪表的应用前景和技术发展的途径。

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