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《中国机械工程》 2002年01期
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薄膜型硅微机械的摩擦学问题

陈晓阳  沈雪瑾  陆景唐  
【摘要】:根据现阶段表面硅 IC工艺微机械的特点 ,分析了其接触副与动构件间的相对运动形式 ,探讨了基于此加工技术所开发的薄膜型结构微机械的摩擦源及其摩擦产生机理 ,结合宏机械的发展历史 ,分析了进行相关摩擦学性能研究的几种方法与问题

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前9条
1 董云开;张向军;刘莹;温诗铸;;微纳米摩擦的弹性棘轮模型与形貌的尺度效应[J];摩擦学学报;2008年04期
2 熊毅;张向军;董云开;王馨;温诗铸;;环境湿度下硅材料表面的黏着与黏滑机理[J];纳米技术与精密工程;2007年01期
3 李洲洋,陈国定;MEMS中的摩擦学研究及发展趋势[J];润滑与密封;2005年04期
4 沈雪瑾;侯利程;刘谨;;硅微机械动平板表面粘附阻力[J];润滑与密封;2006年07期
5 董云开;刘莹;张向军;温诗铸;;环境湿度下硅材料表面的粘滑行为及其抑制[J];润滑与密封;2007年04期
6 董云开;张向军;刘莹;温诗铸;;微米级形貌修饰的硅材料表面摩擦特性的实验研究[J];润滑与密封;2008年01期
7 董云开,刘莹,温诗铸;微观摩擦与表面形貌相关性的试验研究[J];中国机械工程;2005年06期
8 解国新;丁建宁;范真;付永忠;;硅基微机械表面粘附及摩擦性能的AFM试验研究[J];中国机械工程;2006年02期
9 范真;丁建宁;解国新;凌智勇;李长生;;类金刚石薄膜微观摩擦性能的FFM评价——针尖尺度效应[J];中国机械工程;2006年16期
中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 白涛;稀土复合纳米薄膜的制备及其摩擦学性能研究[D];上海交通大学;2007年
2 沈雪瑾;硅微单侧直脚谐振器与复合V型梁热致动器的机械性能研究[D];上海大学;2007年
3 赵江铭;横向梳状硅微静电谐振器机械性能分析与实验研究[D];上海大学;2006年
4 顾勤林;3-氨基丙基—三乙氧基硅烷—稀土复合薄膜的制备及其摩擦学性能研究[D];上海交通大学;2008年
5 董云开;微尺度形貌修饰硅表面的摩擦特性研究[D];清华大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前5条
1 杨倩倩;稀土复合氨基硅烷自组装薄膜的制备及纳米摩擦学性能研究[D];上海交通大学;2011年
2 邓学亮;引信安全系统中高G值双稳态微加速度开关研究与设计[D];南京理工大学;2007年
3 张昊;MEMS安全系统基本问题研究[D];南京理工大学;2008年
4 刘翊;Si-DLC膜微观摩擦性能及弹塑性接触有限元分析[D];江苏大学;2010年
5 关光辉;外场作用对自组装分子膜摩擦学特性的影响[D];大连海事大学;2010年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 干东英,王立鼎;微型机械的现状与发展[J];机械工程学报;1994年02期
2 陆景唐,季超仁,李伟,宋汉斌,董鸣;多晶硅连杆和平台系统的微加工[J];上海大学学报(自然科学版);1995年01期
3 杨岳,周兆英,叶雄英,李勇;多晶硅微机械零件的制作及测试[J];中国机械工程;1994年04期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 宋会英;杨瑞;于肇贤;赵真玉;;电子束光刻中的内部邻近效应校正技术研究[J];微纳电子技术;2009年05期
2 辛洪兵;;微系统快速生物制造的可行性[J];北京工商大学学报(自然科学版);2007年02期
3 赵玉珍,段宝岩;微米/纳米技术及其应用[J];电子工艺技术;1996年03期
4 章维一,侯丽雅;光成型技术在微小机械加工中的应用[J];高技术通讯;2000年03期
5 辛洪兵,郑伟智,赵罘;弹性铰链研究[J];光学精密工程;2003年01期
6 马建旭,王立鼎,吴一辉;微电子机械系统在生物医学领域中的应用[J];光学精密工程;1996年01期
7 翟缓萍,侯丽雅,贾红兵;快速成型工艺所用光敏树脂[J];化学世界;2002年08期
8 徐小云 ,颜国正 ,丁国清;微电子机械系统(MEMS)及其应用的研究[J];测控技术;2002年08期
9 邹慧君,田永利,郭为忠;现代机构学的形成、基本内容和应用前景[J];机械设计与研究;2002年02期
10 邹慧君,蓝兆辉,王石刚;现代机构学的研究内容和应用展望[J];机械设计与研究;1998年03期
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 谭湘强;液体中微机器人的运动机理与实验研究[D];广东工业大学;2002年
2 林军;基于高效的双输出函数脉冲发生机构的运动——动力学综合研究[D];重庆大学;2002年
3 贾智;微电子机械系统中新型电磁微电机的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
4 钟映春;基于泳动方式的微机器人研究[D];广东工业大学;2003年
5 安培文;平面连杆机构的过约束及自调结构的分析与设计研究[D];重庆大学;2003年
6 邱成军;基于MEMS技术新型压电微驱动器的研制[D];哈尔滨工程大学;2005年
7 赵克中;磁耦合双向驱动控制器的研究[D];东北大学;2006年
8 宋会英;电子束光刻的Monte Carlo模拟及邻近效应校正技术研究[D];山东大学;2006年
9 贺镇;多回路及自适应机构自调结构设计的研究与工程实践[D];重庆大学;2006年
10 杜力;可调双输出函数发生机构及其自调结构设计研究[D];重庆大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 周洪龙;小型管道机器人系统研究[D];吉林大学;2011年
2 刘卓;基于序单开链法的并联机器人动态静力分析程序化研究[D];南昌大学;2011年
3 陈超;基于序单开链法的并联机器人结构分析程序化研究[D];南昌大学;2011年
4 郑欢莹;纳米级微定位平台的设计和实验研究[D];天津大学;2012年
5 殷伯华;准分子激光微加工控制系统研究[D];北京工业大学;2003年
6 陈匡非;平行轴永磁齿轮的特性研究[D];中国科学院研究生院(电工研究所);2003年
7 王立鹏;微泵的理论建模及静动态特性分析[D];沈阳工业大学;2003年
8 郭爱华;受控五杆机构运动动力学分析及控制系统研究[D];武汉科技大学;2004年
9 谭曼华;一种微小并联机器人书绘演示系统的设计[D];南昌大学;2005年
10 李贯成;运动副配置对并联机器人工作空间影响的研究[D];南昌大学;2006年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 倪申宽;键弱化效应的MO研究[J];安徽师大学报(自然科学版);1993年02期
2 马斌,陈明祥,张鸿海,刘胜,汪学方;基于激光干涉测量的硅键合工艺分析[J];半导体技术;2005年10期
3 李海军,杨拥军;大位移、低电压驱动MEMS静电梳齿驱动器的设计与研究[J];微纳电子技术;2002年07期
4 郝一龙,武国英,吴琳,徐嘉佳;用升华法释放表面硅工艺中的悬浮结构[J];微纳电子技术;2002年09期
5 朱长纯,赵红坡,韩建强,崔万照;MEMS薄膜中的残余应力问题[J];微纳电子技术;2003年10期
6 张永宇,沈雪瑾,陈晓阳;V型电致热微驱动器的力学特性分析[J];微纳电子技术;2003年Z1期
7 张海霞,郭辉,肖志勇,周荣春,郝一龙;MEMS CAD系统IMEE的研究和开发[J];微纳电子技术;2003年Z1期
8 陈光焱,何晓平,施志贵,丁元萍,赵龙;准LIGA微加速度开关的研制[J];微纳电子技术;2003年Z1期
9 袁磊,沈雪瑾,张鹏程,陈晓阳;基于ANSYS的之字型微谐振器的仿真分析[J];微纳电子技术;2005年05期
10 姜政,丁桂甫,张东梅;一种快速响应双稳态热执行器的结构设计[J];微纳电子技术;2005年10期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 张永宇;V型电热硅微致动器性能及其应用研究[D];上海大学;2006年
2 孙昌国;自组装技术改性处理轻金属及其合金的摩擦学特性研究[D];大连海事大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 周银锋;旋转摩擦诱发粘滑运动特性的研究[D];西安理工大学;2005年
2 潘福生;高分子—无机杂化膜扩散特性的分子动力学模拟[D];天津大学;2006年
3 任华;分子模拟在界面相互作用计算中的应用[D];西北工业大学;2007年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王小刚;张方晓;黄鹏;;基于ANSYS的管路锥形密封结构参数分析[J];兵工自动化;2009年08期
2 岳陆游;何兴春;丁建宁;杨继昌;马皓晨;;微/纳机构抗粘附研究进展[J];传感器与微系统;2010年12期
3 潘武;宋茂叶;吴文雯;张雪莲;;RF-MEMS谐振器和滤波器研究进展[J];电子元件与材料;2011年09期
4 李学锋;孙媛;彭少贤;李维敏;冯军;;原子力显微镜研究材料光滑表面的微摩擦性能[J];功能材料;2009年02期
5 戚伟俊;沈雪瑾;侯利程;吴文蕾;李科委;;微间隙液体粘性阻力分析[J];功能材料与器件学报;2008年01期
6 朱双霞;刘莹;郭纪林;李小兵;;常用钢磨削纹理方向与其表面摩擦因数的关系[J];机械工程材料;2009年06期
7 刘璨;兰惠清;;含硅类金刚石膜硬度压痕测试的有限元模拟[J];机械工程材料;2012年04期
8 温茂萍;蓝林钢;庞海燕;;高聚物粘结炸药及其涂层的摩擦性能[J];含能材料;2010年01期
9 刘庆玲;翁海珊;;微机电中的摩擦特性与有序薄膜润滑[J];机械设计与制造;2008年02期
10 温诗铸;;纳米摩擦学研究进展[J];机械工程学报;2007年10期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 姚向民;崔锦峰;杨保平;贾均红;;纳米金颗粒在氨基硅烷自组装薄膜上的组装及其摩擦性能研究[A];第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集(一)[C];2008年
2 董春柳;张朝辉;;过渡层模型及其应用研究[A];第八届全国摩擦学大会论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 周擎坤;柔顺直线导向与缓冲机构设计问题研究[D];国防科学技术大学;2011年
2 靳奇峰;杂萘联苯聚芳醚薄膜的制备及其摩擦性能研究[D];大连理工大学;2008年
3 董云开;微尺度形貌修饰硅表面的摩擦特性研究[D];清华大学;2007年
4 张占立;蛇类爬行动物腹鳞的材料特性及摩擦学行为研究[D];江苏大学;2007年
5 付世;磁致双稳态MEMS电磁微继电器的研制[D];上海交通大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 刘璨;含硅类金刚石膜的力学性能研究[D];北京交通大学;2011年
2 刘硕;自组装分子膜摩擦学特性的分子动力学模拟[D];大连海事大学;2011年
3 刘海兵;PdCl_2活化的木材表面化学镀镍制备电磁屏蔽材料[D];东北林业大学;2011年
4 李艳桥;微机电引信安全与解除保险装置结构设计[D];南京理工大学;2011年
5 余伟竟;基于光纤传感器的微摩擦/微粘着测试仪性能研究[D];南昌大学;2011年
6 许立;梳齿式振动微机械谐振器的相关特性研究[D];杭州电子科技大学;2010年
7 袁文征;氧化性湿热气氛环境中钢/铜摩擦副摩擦学性能研究[D];河南科技大学;2009年
8 杨倩倩;稀土复合氨基硅烷自组装薄膜的制备及纳米摩擦学性能研究[D];上海交通大学;2011年
9 王志飞;全解耦式微机械陀螺仪的研究与设计[D];燕山大学;2012年
10 吕红兵;特殊环境下微小摩擦力测试仪的研制与开发[D];长春理工大学;2007年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 周兆英;叶雄英;李勇;江小宁;;微型机械及其发展[J];中国仪器仪表;1993年04期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 于云霞,贾宝贤,陆富荣;微机械制造技术及应用[J];机械制造;2002年09期
2 鲍敏杭,沈绍群;微机械力敏传感器及其发展动向[J];电子科技导报;1996年10期
3 鲍敏杭;微机械加工技术发展概况(二)[J];仪表技术与传感器;1998年06期
4 何国鸿;微机械静电陀螺研究[J];电子学报;1997年05期
5 马炳和,苑伟政,李晓莹,张春江;微机械与微/纳米科技的研究及其发展趋势[J];航空精密制造技术;1997年06期
6 李立杰,梁春广;微机械热对流加速度计[J];半导体学报;2001年04期
7 ;二十一世纪最具代表性技术──微机械[J];机械工程师;2001年01期
8 韦嘉,梁雪冬,刘泽文,李志坚;三极板型RFMEMS压控电容的分析与制作[J];仪器仪表学报;2004年S1期
9 徐毅,高思田,王春艳,叶孝佑;微机械及纳米计量科学[J];中国机械工程;2000年03期
10 ;21世纪最具有代表性技术——微机械[J];机械管理开发;2002年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 ;前言[A];第七届全国摩擦学大会论文集(二)[C];2002年
2 秦襄培;许教明;;GIS技术在摩擦学研究中的应用[A];第二届全国工业摩擦学大会暨第七届全国青年摩擦学学术会议会议论文集[C];2004年
3 王大中;;摩擦学重在应用——中国机械工程学会摩擦学分会教育培训委员会[A];第二届全国工业摩擦学大会暨第七届全国青年摩擦学学术会议会议论文集[C];2004年
4 肖峰;李健;;摩擦学测试中计算机控制变频器的开发应用[A];第二届全国工业摩擦学大会暨第七届全国青年摩擦学学术会议会议论文集[C];2004年
5 林福严;;前言[A];历史的回顾与启示——摩擦学创立40周年纪念文集[C];2007年
6 冯伟;袁成清;汪选国;周新聪;严新平;;接触表面摩擦学仿真设计建模研究[A];第二届全国工业摩擦学大会暨第七届全国青年摩擦学学术会议会议论文集[C];2004年
7 赵春华;严新平;周新聪;冯伟;;基于数值模拟方法的摩擦学系统特性的描述研究[A];第二届全国工业摩擦学大会暨第七届全国青年摩擦学学术会议会议论文集[C];2004年
8 ;前言[A];第八届全国摩擦学大会论文集[C];2007年
9 温诗铸;;试述我国摩擦学研究的发展[A];第二届全国工业摩擦学大会暨第七届全国青年摩擦学学术会议会议论文集[C];2004年
10 汪德涛;;二○○○年的摩擦学展望[A];摩擦学第四届全国学术交流会论文集(第二册)[C];1987年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 记者 李峰 通讯员 白浩然;第六届中国国际摩擦学会议召开[N];甘肃日报;2011年
2 张嗣伟;无所不在的摩擦 大有作为的摩擦学[N];中国教育报;2005年
3 邹宁;摩擦学和表面工程技术效益可观[N];中国有色金属报;2010年
4 记者 冯国梧;我摩擦学水平与国际差距不大[N];科技日报;2005年
5 邹宁 刘其鑫;提高运行效率 延长使用寿命[N];中国矿业报;2010年
6 张晶;摩擦学技术的应用潜力到底有多大?[N];科技日报;2008年
7 本报通讯员 王菁华 本报记者 凌翔;矢志不移摩擦学[N];光明日报;2001年
8 唐婷操秀英;走进无处不在的摩擦世界[N];科技日报;2008年
9 天津市科协;2005摩擦学研究与展望研讨会在天津隆重召开[N];大众科技报;2005年
10 ;我国每年摩擦损失近六百亿元[N];光明日报;2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 余文革;变形时域建模仿真理论及其在微机械天线中的应用[D];重庆大学;2004年
2 吕琼莹;微机械压电微电机原型机的研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2001年
3 宗登刚;微机械材料力学性能测量[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2003年
4 王浙辉;硅基微机械光开关研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2003年
5 张流强;基于微机械的光调制热成像器件研究[D];中国科学院上海冶金研究所;2000年
6 吴芳;碳化硼陶瓷及其摩擦学研究[D];中南大学;2001年
7 纪新明;MEMS红外光声气体传感系统的研究[D];复旦大学;2005年
8 董林玺;微机械电容式传感器及其相关特性研究[D];浙江大学;2004年
9 孙军;曲轴—轴承系统摩擦学、刚度和强度的耦合研究[D];合肥工业大学;2005年
10 李震;内燃机曲轴-轴承系统摩擦学动力学耦合研究[D];合肥工业大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 董宏奎;石英微机械振动陀螺薄膜相关技术研究[D];电子科技大学;2009年
2 张晟卯;仿生纳米复合薄膜的制备、表征及摩擦学行为研究[D];河南大学;2001年
3 程保罗;新型体微机械工艺制造高性能加速度传感器的研究[D];浙江大学;2004年
4 黎海文;微摩擦测试仪中微力传感器的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2002年
5 王卫东;微机械加工压力传感器的研究[D];哈尔滨工程大学;2003年
6 李伟;高g值硅微加速度计的结构设计与分析[D];南京理工大学;2005年
7 陈宇晓;电容式微机械静电伺服加速度计系统分析[D];电子科技大学;2003年
8 刘东栋;一种基于体硅微机械工艺的微机械光开关的研究[D];浙江大学;2002年
9 徐永青;2×2微机械(MEMS)光开关[D];西安电子科技大学;2006年
10 金虎;悬臂梁结构微机械压阻式加速度传感器研究[D];中国科学院上海冶金研究所;2000年
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