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微气体传感器测试系统的恒流配气系统研究

朱斌  殷晨波  陶春旻  张子立  
【摘要】:针对恒流混合气体在微气体传感器实验中的重要性,根据道尔顿分压定律和阿马伽定律,采用质量比动态配气法,实现了实验用恒流配气系统。基于NI USB6215系列多功能数据采集卡,以LabVIEW8.5为软件开发平台,设计了恒流配气系统软件控制界面。通过计算机严格控制MFCs流量调节,配比出不同浓度氢气混合气体。气体流量始终保持在1L/min,上下波动不超过10mL/min。分析了气体流量值出现波动的原因,为进一步完善恒流配气系统提供了参考。

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