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高温环境下微悬臂梁谐振频率温度特性及测试技术研究

佘东生  王晓东  张习文  王立鼎  
【摘要】:对单晶硅微悬臂梁在高温环境下的动态特性进行了理论分析,研制了高温环境下的MEMS动态特性测试系统,采用压电陶瓷作为底座激励装置的驱动源,设计了一个可动的机构,解决了压电陶瓷在高温环境下使用的难题;通过激励装置进行冲击激励,使用激光多普勒测振仪对微悬臂梁的振动响应进行检测,对微悬臂梁受冲击后的时域信号进行分析,获得微悬臂梁的谐振频率。利用研制的高温环境下MEMS动态特性测试系统,在室温至300℃的温度环境下对单晶硅微悬臂梁的动态特性进行了测试,结果表明随着温度的升高其谐振频率会有轻微的减小,验证了理论分析的结果。

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1 佘东生;王晓东;张习文;王立鼎;;高温环境下微悬臂梁谐振频率温度特性及测试技术研究[J];仪器仪表学报;2010年11期
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