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《仪器仪表学报》 2007年01期
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压电微音叉扫描探针显微镜测头研究

黄强先  
【摘要】:压电微音叉具有良好的谐振特性,并易于实现其振动的检测。利用这些特性,与钨探针结合,构成了一种新型的表面轮廓扫描测头。该新型测头与X-Y压电工作台结合,采用与TM-AFM相同的工作原理,构成了扫描探针显微镜。介绍了压电微音叉扫描测头的构成、工作原理及主要特性,给出了所构成的扫描探针显微镜测量系统。通过实验及其结果,证明了新型测头具有高垂直分辨率、低破坏力等优点。除此之外,由于采用了有效长度大的钨探针,使大台阶微观表面的测量成为可能。

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【共引文献】
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 张朝阳;纳秒脉冲电流微细电解加工技术研究[D];南京航空航天大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 王磊;微细群孔电解加工关键技术研究[D];南京航空航天大学;2007年
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1 黄强先;;压电微音叉扫描探针显微镜测头研究[J];仪器仪表学报;2007年01期
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