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《电子元器件应用》 2003年04期
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微机械传感器的现状与发展

朱长纯  韩建强  刘君华  
【摘要】:概述国内外目前已实现的微机械传感器,特别是微机械谐振式传感器的类型、工作原理、性能和发展方向。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 宫经宽;刘樾;;MEMS传感器在航空综合电子备份仪表中的应用[J];航空精密制造技术;2009年06期
2 王权;;利用激光位移传感器检测电路[J];科技创新导报;2008年32期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 夏琳琳;低成本AHRS/GPS紧耦合融合滤波技术研究[D];哈尔滨工程大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 时子青;新型压阻式MEMS温度传感器的理论研究[D];西南交通大学;2011年
2 黄浩;石英陀螺闭环自激驱动ASIC芯片设计[D];哈尔滨工业大学;2010年
3 徐宏磊;微石英音叉陀螺正弦自激驱动电路设计[D];哈尔滨工业大学;2011年
4 刘野;基于SOI材料的微压传感器研究与设计[D];沈阳工业大学;2012年
5 周振;基于MEMS悬臂梁压阻桥式传感器的检测仪的研制[D];中北大学;2012年
6 王佳能;二维微加速度传感器检测电路的研究[D];重庆大学;2006年
7 郭虎岗;数字式加速度传感器的厚膜混合集成技术研究[D];中北大学;2008年
8 田野;振动式微机械陀螺系统噪声分析及低噪声电路设计[D];哈尔滨工业大学;2009年
9 雷龙刚;电容式微机械陀螺自激驱动ASIC电路设计[D];哈尔滨工业大学;2009年
10 刘冬;MEMS电容式加速度传感器检测电路研究[D];西安电子科技大学;2010年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 吕惠民,田敬民;压力传感器的研究现状与发展趋势[J];半导体技术;1998年02期
2 费龙,钟先信,温志渝,高扬;硅微加速度传感器的现状及研究方向[J];传感器技术;1995年05期
3 樊尚春,刘广玉;热激励谐振式硅微结构压力传感器闭环系统[J];测控技术;2000年02期
4 刘笃仁,徐毓龙;微机电系统(MEMS)技术的应用:微结构气敏传感器[J];测控技术;2000年03期
5 陈德勇,崔大付,于中尧,王利;微机械氮化硅梁谐振式压力传感器[J];机械强度;2001年04期
6 李军俊,刘理天,杨景铭;新型硅微加速度传感器的设计与制作[J];清华大学学报(自然科学版);1999年S1期
7 韩小亮,朱作云,李跃进;高温半导体压力传感器技术[J];西安电子科技大学学报;2001年01期
8 张联,叶雄英,周兆英,李勇,姚健;阀片式硅微流量传感器的研究[J];仪表技术与传感器;1999年12期
9 樊尚春,刘广玉;硅谐振梁式压力传感器模拟计算[J];仪器仪表学报;1999年01期
10 王跃林,江刺正喜;新型力平衡微机械真空传感器研究[J];真空科学与技术;1999年04期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 韩建强,朱长纯,刘君华;电热激励微谐振器及谐振式传感器[J];微纳电子技术;2002年08期
2 张丹;林雁飞;冯勇建;;基于MEMS技术的电容式微型真空传感器[J];微纳电子技术;2008年02期
3 高振宁;陈德勇;王军波;毋正伟;;电磁激励微谐振式传感器的设计与制作[J];微纳电子技术;2008年10期
4 任森;苑伟政;邓进军;;一种硅微谐振式压力传感器的敏感膜片设计[J];传感技术学报;2006年05期
5 吴瑞;温廷敦;;基于介观压阻效应的硅微加速度计研究[J];传感技术学报;2007年08期
6 钟莹,张国雄,李醒飞;谐振原理在硅微机械加速度计中的应用[J];传感器技术;2002年04期
7 彭银桥,甘元驹;热处理工艺对合金薄膜电阻及其稳定性的影响[J];传感器技术;2005年07期
8 杨川;郭灿;;MEMS氮化钛谐振式压力传感器研究[J];传感器与微系统;2010年01期
9 周令,余小华,毕艳;微机械3031型加速度传感器特点分析及应用[J];电测与仪表;2005年09期
10 张建碧;;基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器设计[J];电子与封装;2009年10期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 曹慧丹;沈昱明;赖际舟;;微硅加速度计标定及试验研究[A];第六届全国信息获取与处理学术会议论文集(2)[C];2008年
2 彭银桥;周继承;;热处理对纳米薄膜电阻的影响及其稳定性研究[A];纳米材料和技术应用进展——全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集(下卷)[C];2003年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘云涛;电容式SIGMA-DELTA微加速度计接口ASIC芯片研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
2 陈德勇;微机械谐振梁压力传感器研究[D];中国科学院研究生院(电子学研究所);2002年
3 席占稳;MEMS传感器及在引信中的应用研究[D];南京理工大学;2003年
4 彭环云;灌浆自动检测与记录关键技术的研究[D];中南大学;2004年
5 蒋玉齐;高量程MEMS加速度计封装研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2004年
6 田文超;MEMS及纳米接触研究[D];西安电子科技大学;2004年
7 徐道连;摩托车噪声检测及分析新技术的研究[D];重庆大学;2005年
8 晏建武;纳米Ni-Cr薄膜的制备、表征及其性能研究[D];中南大学;2006年
9 王涛;高g值环境典型微结构动态特性及其测试技术研究[D];大连理工大学;2008年
10 樊康旗;MEMS黏着接触特性研究[D];西安电子科技大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 刘鹏飞;LC谐振式耐高温加速度传感器的设计[D];中北大学;2011年
2 王存玲;新型压阻式加速度传感器的研究[D];西安科技大学;2011年
3 易仙;基于MEMS技术的微加热板的设计与制作[D];华中科技大学;2011年
4 常文娟;谐振式压力传感器振动特性分析[D];燕山大学;2012年
5 吴凌慧;高温高压差传感器的设计与特性研究[D];哈尔滨工程大学;2011年
6 康恩涛;基于MSP430的锚杆测力无线收发系统设计[D];山东科技大学;2011年
7 白羽;多晶硅纳米膜加速度传感器结构研究[D];沈阳工业大学;2012年
8 李文燕;复合量程微加速度计温度补偿的研究[D];中北大学;2012年
9 郝颖;微机械加速度计的测试与应用研究[D];哈尔滨工程大学;2002年
10 陈光炎;真空微电子加速度传感器的研究[D];重庆大学;2002年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘月明,刘君华,张少君;硅微传感器的热挠曲及谐振频率的计算[J];半导体光电;2000年02期
2 刘金刚,何民辉,范琳,杨士勇;先进电子封装中的聚酰亚胺树脂[J];半导体技术;2003年10期
3 单霞,杜磊,万长兴,包军林;金属/半导体接触孔噪声特性研究[J];半导体技术;2005年05期
4 王振宇,成立,祝俊;微/纳米级微电子机械系统制造新技术[J];半导体技术;2005年08期
5 张威,张大成,王阳元;MEMS概况及发展趋势[J];微纳电子技术;2002年01期
6 邓俊泳,冯勇建;TMAH单晶硅腐蚀特性研究[J];微纳电子技术;2003年12期
7 吴学忠,刘宗林,李圣怡;微硅陀螺性能影响因素及其对策研究[J];微纳电子技术;2003年Z1期
8 李新;庞世信;徐开先;孙承松;;耐高温SOI结构压力敏感芯片的研制[J];微纳电子技术;2007年Z1期
9 于晓梅,江兴流,J.Thaysen,O.Hansen,A.Boisen;硅压阻输出微传感器的1/f噪声[J];半导体学报;2001年09期
10 鲍敏杭,沈绍群,胡澄宇,马青华;硅各向异性腐蚀<110>条补偿图形腐蚀前沿控制[J];半导体学报;1994年11期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 武元新;对偶四元数导航算法与非线性高斯滤波研究[D];国防科学技术大学;2005年
2 施阳和;微机械石英陀螺敏感元件的设计与制造研究[D];华中科技大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 曲秋红;实用太赫光谱仪信号锁相放大新技术研究[D];天津大学;2010年
2 黄小振;电容式振动微机械陀螺接口电路的设计、模拟与测试[D];中国科学院上海冶金研究所;2001年
3 芮祥新;自制数字锁频紫外-可见吸收谱仪及应用[D];浙江大学;2002年
4 蒋庆华;音叉电容式微机械陀螺接口电路设计研究[D];西北工业大学;2004年
5 付盛荣;电磁驱动电容式振动微机械陀螺接口电路研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2003年
6 顾来;厚膜混合集成压力传感器[D];沈阳工业大学;2005年
7 方华伟;一种新型高程差传感器的研究[D];南昌大学;2006年
8 余亮琴;石英音叉微机械陀螺的微弱信号数字检测技术的仿真与系统误差研究[D];国防科学技术大学;2005年
9 李伟东;微压力传感器的设计与制作工艺研究[D];国防科学技术大学;2005年
10 谢立强;音叉式石英微机械陀螺的驱动检测技术研究[D];国防科学技术大学;2005年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 王璐;温殿忠;刘红梅;田丽;莫兵;;利用MEMS技术研制硅脉象传感器[J];传感技术学报;2010年09期
2 熊飞;杨荣彬;;一种单轴MEMS陀螺仪信号处理电路设计[J];电子科技;2011年10期
3 黎永键;赵祚喜;高俊文;;MEMS惯性传感器ADIS16355在姿态测量中的应用[J];数据采集与处理;2012年04期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 王璐;基于MEMS技术的硅脉象传感与检测系统的研究[D];黑龙江大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 苑海静;船用MEMS航姿测量系统算法研究与实现[D];哈尔滨工程大学;2010年
2 谢爱珍;搜救机器人运动控制系统完善与改进[D];山东大学;2011年
3 苏振华;矫直机工件测控系统的开发与设计[D];重庆大学;2011年
4 王艳萍;微机械电容式加速度计检测电路的研究[D];吉林大学;2010年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 任学民;SOI晶片制造技术及其应用前景[J];半导体技术;1999年03期
2 樊尚春,刘广玉;方形膜片压力敏感元件的频率特性[J];北京航空航天大学学报;1995年01期
3 陈德勇,崔大付,王利,韩泾鸿;微结构谐振梁式压力传感器研究[J];传感技术学报;2000年04期
4 陈德勇,崔大付,王利,于中尧,韩泾鸿;微型硅谐振式压力传感器的研制[J];传感器技术;2001年02期
5 李科杰;传感器最新进展和技术动向[J];传感器世界;1996年05期
6 唐敏,黄刚;传感器技术的现状与未来[J];传感器世界;1996年07期
7 徐涛,武国英;微结构气体传感器的研究现状及展望[J];电子科技导报;1999年06期
8 徐毓龙,徐玉成;崭新的微机电系统(MEMS)技术[J];电子科技;1999年09期
9 朱作云,李跃进,杨银堂,贾护军;SiC/Si异质生长的研究[J];西安电子科技大学学报;1997年01期
10 孟涛;SIMOX——一种适用于高温硅传感器的工艺技术[J];仪表技术与传感器;1991年05期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 陈勇华;;微机电系统的研究与展望[J];电子机械工程;2011年03期
2 韩雪;李醒飞;钟莹;孙斐;李洪宇;;脑—机接口用微传感器设计与制造方法研究[J];传感器与微系统;2009年01期
3 任杰;樊尚春;;硅基谐振式微机械加速度计的设计与仿真计算[J];传感技术学报;2007年09期
4 任杰;樊尚春;王路达;;谐振式微机械加速度计设计的关键技术[J];传感技术学报;2008年04期
5 钟莹,李醒飞,张国雄;有限元法在谐振式硅微机械加速度计设计中的应用[J];天津大学学报;2003年04期
6 钟莹;张国雄;冷长林;张涛;;用于微机电系统运动检测的激光差动多普勒技术[J];中国机械工程;2006年22期
7 任杰;樊尚春;;硅基双轴谐振式微机械加速度计的设计与仿真[J];微纳电子技术;2007年10期
8 李素云,马修水,程蒲,李光;微机电系统的研究与应用[J];安徽电子信息职业技术学院学报;2005年03期
9 陈志勇;周斌;张嵘;;微机械角振动谐振器在低气压下的非线性振动[J];仪器仪表学报;2010年11期
10 钟莹,张国雄,郝一龙,贾玉斌;硅微机械音叉式谐振器[J];仪器仪表学报;2005年08期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 钟莹;张国雄;;体硅微机械音叉式谐振器[A];全球化、信息化、绿色化提升中国制造业——2003年中国机械工程学会年会论文集(微纳制造技术应用专题)[C];2003年
2 何高法;唐一科;何晓平;刘世明;;一种新型谐振式微加速度计设计和分析[A];第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集[C];2007年
3 李新英;;基层医院图书馆的现状与发展[A];濮阳市首届学术年会论文选编[C];2006年
4 陆晓奋;;立体视觉技术的现状与发展预测[A];中国图象图形学学会立体图象技术专业委员会学术研讨会论文集(第三期)[C];2009年
5 赵小青;李志芳;;高校团体辅导的现状与发展[A];迈向21世纪的高校心理健康教育——第六届全国大学生心理咨询学术会议优秀论文集[C];1999年
6 王金华;;中国高效井工开采技术现状与发展[A];全国煤炭工业建设高产高效矿井经济交流暨2001年度命名表彰大会专题报告、经验材料[C];2002年
7 胡良民;张广花;;开封市旅游景点解说系统现状与发展研究[A];中国地理学会百年庆典学术论文摘要集[C];2009年
8 商庆新;邓华亮;;浅析中医药知识产权保护的现状与发展对策[A];中华医学会医学科研管理学分会第十次学术年会暨第二届医学科研管理研讨会征文汇编[C];2006年
9 段玉山;;教育类学术期刊发展的思考——以《地理教学》期刊为例[A];改革创新·科学发展——第7届全国核心期刊与期刊国际化、网络化研讨会论文集[C];2009年
10 邸小坛;周燕;陶里;王安坤;;混凝土结构诊治技术的现状与发展[A];第十届全国混凝土及预应力混凝土学术交流会论文集[C];1998年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 魏小安;中国旅游业投资的现状与发展[N];中国审计报;2003年
2 魏小安;中国旅游投资的现状与发展[N];人民日报海外版;2003年
3 郭胜民 范晓雯;医药市场现状与发展[N];中国医药报;2000年
4 郭胜民 范晓雯;医药市场现状与发展[N];中国医药报;2000年
5 黑龙江省农业科学院经济作物研究所 关凤芝;黑龙江大麻产业现状与发展[N];中国纺织报;2009年
6 义林;我国食品和包装机械的现状与发展[N];中国包装报;2000年
7 蒋建华;审视基础教育的现状与发展[N];中国教育报;2002年
8 中国工程院院士 樊代明;浅谈中国医药的现状与发展[N];光明日报;2004年
9 ;我国生猪屠宰设备现状与发展之路[N];中国畜牧兽医报;2009年
10 本报记者 高爽;只有一个东软还不够[N];辽宁日报;2003年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 祝捷;微机电系统自聚焦压电声学换能器[D];武汉大学;2010年
2 钟莹;微机电系统谐振器面内运动检测的激光多普勒方法[D];天津大学;2005年
3 冷长林;基于激光多普勒技术的微机电系统运动检测[D];天津大学;2007年
4 吴亚雷;自检测压电微传感器灵敏度优化及并行探测技术研究[D];中国科学技术大学;2008年
5 李燕斌;静电梳齿结构的MEMS分析和优化设计[D];华中科技大学;2008年
6 陈治;MEMS微结构平面运动测量方法的研究[D];天津大学;2007年
7 曹钟慧;应用于光通信的非硅基底光开关与光衰减器的研究[D];浙江大学;2005年
8 鲍俊峰;基于微加工技术的光开关及光互连结构研究[D];浙江大学;2006年
9 黄腾超;微流控集成光波导光开关的研究[D];浙江大学;2005年
10 余洪斌;MEMS-DMs理论设计及工艺研究[D];华中科技大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 龚怀民;基于MEMS的微机械滤波器研究[D];电子科技大学;2006年
2 张于堂;我国网络大学的现状与发展研究[D];华东师范大学;2001年
3 高守东;安徽省网球运动现状与发展对策研究[D];安徽师范大学;2007年
4 鲁葵蓉;湖北省独立学院学校体育现状与发展对策的研究[D];华中师范大学;2008年
5 田小健;黑龙江省高校网球运动现状与发展对策的研究[D];苏州大学;2008年
6 董欣利;科协学会系统现状与发展对策研究[D];大连理工大学;2000年
7 陈关华;我国证券商发展现状与发展对策研究[D];华中师范大学;2000年
8 赵成涍;论国际会议产业的现状与发展战略[D];中国社会科学院研究生院;2003年
9 杨列亮;枣庄市农业技术推广体系的现状与发展对策[D];山东农业大学;2004年
10 韩庆万;延吉市房地产市场现状与发展对策[D];延边大学;2005年
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