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《云南大学学报(自然科学版)》 1994年S2期
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非晶硅太阳能电池用气无机气相色谱分析方法研究

蒋文全  
【摘要】:非晶硅太阳能电池用气无机气相色谱分析方法研究蒋文全(北京有色金属研究总院测试所北京,100088)本文详细研究无机气相色谱法对非晶硅太阳能电池制造工艺过程中所用气体的分析方法。不仅提出了特种气体SiH_4,B_2H_6,PH_3,,CH_4,等及其混...
【作者单位】北京有色金属研究总院测试所
【分类号】:O657.7

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