硅锥阵列场发射微真空二极管研制
【摘要】：本文使用阳极抛光盖板技术取代工艺上较为复杂的牺牲层技术制作了硅锥阵列场发射真空二极管,并从实验上和理论上研究了该二极管电流电压特性.
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