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硅锥阵列场发射微真空二极管研制

朱长纯吴辉罗援周群杜博民靳冬奇

【摘要】：本文使用阳极抛光盖板技术取代工艺上较为复杂的牺牲层技术制作了硅锥阵列场发射真空二极管,并从实验上和理论上研究了该二极管电流电压特性.

【作者单位】：西安交通大学电子系西安交通大学电子系西安交通大学电子系航空航天部六九一厂航空航天部六九一厂航空航天部六九一厂
【基金】：国家自然科学基金资助课题

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	【引证文献】
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中国期刊全文数据库

前1条

1	关辉;朱长纯;;硅基场致发射光电探测器及硅锥阴极工艺研究[J];半导体光电;1993年02期

	【共引文献】
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中国期刊全文数据库

前10条

1	谢爱根;郭胜利;裴元吉;;计算高能原电子对金属射程的常数的新方法[J];安徽大学学报(自然科学版);2006年02期
2	谢爱根;郭胜利;李传起;裴元吉;;测量氧化镁的二次电子发射系数[J];安徽大学学报(自然科学版);2006年06期
3	谢爱根;宋标;赵浩峰;;高能有效真二次电子发射系数与逸出深度和入射角的关系[J];安徽大学学报(自然科学版);2008年06期
4	谢爱根;雷勇;姚义俊;;较高能有效真二次电子发射系数与入射能量、能量幂次的关系[J];安徽大学学报(自然科学版);2009年05期
5	龙建飞;罗崇泰;王多书;李晨;;高能原电子下金属曲面二次电子发射的理论研究[J];半导体光电;2010年03期
6	刘卫东，罗恩泽;真空微电子器件发射体材料研究概况[J];半导体技术;1994年02期
7	黄庆安;表面势阱对硅场发射的影响[J];半导体学报;1995年08期
8	黄庆安;氧化物中固定电荷对硅场致发射的影响[J];半导体学报;1996年11期
9	王金淑,刘娟,周美玲,李洪义,张久兴,左铁镛;掺杂稀土氧化物的钼阴极次级发射性能的研究[J];北京工业大学学报;2002年03期
10	刘登云,王剑波;接触电位差与光电效应实验──兼与吴永懋同志商榷[J];大学物理;1988年09期

中国重要会议论文全文数据库

前9条

1	张学粮;张化一;;电子束能量在线测量方法的MCNP模拟和实验研究[A];第十四届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集（下册）[C];2008年
2	吴雪梅;诸葛兰剑;柳襄怀;;C、Hf薄膜抑制栅极电子发射的机理研究[A];2005年功能材料学术年会论文集[C];2005年
3	李常杰;;MPCVD制备出的碳纳米管的热场发射性能研究[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集（第5分册）[C];2010年
4	刘燕文;田宏;张明晨;李玉涛;邹涛;刘胜英;董芳;张洪来;;利用光学方法测量阴极表面曲率半径的研究[A];2004全国光学与光电子学学术研讨会、2005全国光学与光电子学学术研讨会、广西光学学会成立20周年年会论文集[C];2005年
5	张学粮;张化一;;电子束能量在线测量方法的MCNP模拟和实验研究[A];第十四届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集（2）[C];2008年
6	刘宇;王元刚;赵福令;;电火花加工中极间介质击穿过程的研究[A];2007年中国机械工程学会年会之第12届全国特种加工学术会议论文集[C];2007年
7	刘宇;王元刚;赵福令;;电火花加工中极间介质击穿过程的研究[A];2007年中国机械工程学会年会论文集[C];2007年
8	冯进军;;微波管环境下场发射阵列阴极的工作稳定性研究[A];中国真空学会第六届全国会员大会暨学术会议论文集[C];2004年
9	刘燕文;田宏;张明晨;李玉涛;邹涛;刘胜英;董芳;张洪来;;用于真空微波器件的热阴极曲率半径测试研究[A];第八届真空技术应用学术年会论文集[C];2005年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	周身林;多晶稀土六硼化物阴极的制备、结构与性能研究[D];北京工业大学;2011年
2	刘宇;微细电火花加工中集肤效应的影响机理及相关技术研究[D];大连理工大学;2011年
3	杨兴繁;高工作比、热阴极4+1/2腔微波电子枪研究[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2000年
4	郁可;基于纳米结构的场致电子发射研究[D];华东师范大学;2004年
5	张桂芳;悬浮微细矿粒在电场中的数值分析及分选机理研究[D];昆明理工大学;2003年
6	杜晓晴;高性能GaAs光电阴极研究[D];南京理工大学;2005年
7	翟春雪;纳米金刚石涂层场发射阴极结构与性能研究[D];西北大学;2008年
8	柳鹏;碳纳米管场发射特性研究及新型发射体的制备[D];清华大学;2007年
9	黎林村;磁分散电弧等离子体的实验研究与数值模拟[D];中国科学技术大学;2008年
10	黎泽伦;多注行波管慢波系统的研究[D];合肥工业大学;2008年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	高桂超;场渗透对n型硅场发射电子能谱的影响[D];中国海洋大学;2010年
2	徐亮;内嵌六方金刚石的无定形碳纳米锥阵列制备及场发射性能[D];兰州大学;2011年
3	李常杰;碳纳米管的MPCVD制备工艺和温度对其场发射性能的影响[D];电子科技大学;2011年
4	谌怡;碳纳米管阴极强流脉冲发射特性研究[D];中国工程物理研究院;2011年
5	崔娜娜;用作OLED场发射阴极的金刚石薄膜的制备[D];郑州大学;2011年
6	刘娟娟;稀土钨热电子发射式高温静电除尘器阴极损耗机理的研究[D];南京师范大学;2011年
7	郭瑞生;CNTs/TiO_2/Ti纳米复合结构及其场致电子发射特性研究[D];西北师范大学;2010年
8	邹碧辰;J-TEXT托卡马克上的电子注入研究[D];华中科技大学;2011年
9	周立;微光像增强器的噪声特性研究[D];上海交通大学;2011年
10	党永霞;脉冲电晕结合现场吸收法脱硫脱硝中试实验研究[D];浙江工业大学;2011年

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前10条

1	皇甫鲁江,朱长纯;硅锥场发射阴极电热状态的数值模拟[J];真空科学与技术学报;1999年06期
2	朱长纯,淮永进,李毓民;两步法腐蚀硅锥阴极阵列的工艺研究[J];真空科学与技术学报;1994年06期
3	钱开友;林仰魁;徐东;蔡炳初;孙卓;;碳基场发射冷阴极材料的研究[J];材料导报;2004年05期
4	冯涛;戴丽娟;蒋军;王曦;柳襄怀;李琼;;可驱动碳纳米管冷阴极数码管的研制[J];真空电子技术;2006年01期
5	雷达;曾乐勇;夏玉学;陈松;梁静秋;王维彪;;前栅极冷阴极器件中单根纳米线表面电场分布研究[J];液晶与显示;2006年06期
6	关辉,朱长纯;硅锥场致发射力敏传感器的实验研究[J];仪表技术与传感器;1993年03期
7	朱长纯，关辉，李天英;真空微电子器件的栅极制造技术[J];半导体学报;1996年04期
8	蒋名律;张晓兵;雷威;;电子跳跃结构场发射阴极的电子通过率研究[J];电子器件;2006年01期
9	王芸;徐东;吴茂松;王莉;钱开友;叶枝灿;蔡炳初;;场发射硅锥阵列的干法制备与研究[J];微细加工技术;2006年01期
10	关辉,朱长纯,陈宁,张声良;真空微电子管的研究[J];真空科学与技术学报;1996年05期

中国重要会议论文全文数据库

前5条

1	张友渝;;0.35微米门孔宽度的劈形场发射冷阴极[A];中国电子学会真空电子学分会第十届年会论文集（下册）[C];1995年
2	高迎宾;张晓兵;雷威;王保平;;硅锥场发射阵列中离子轰击现象的分析[A];第四届华东真空科技学术交流展示会学术论文集[C];2003年
3	关辉;朱长纯;罗援;;全硅化场致发射冷阴极真空微电子二极管实验研究[A];中国科学技术协会首届青年学术年会论文集（工科分册·上册）[C];1992年
4	王燕东;吕男;;基于自组装技术构筑仿生抗反射、自清洁表面[A];中国化学会第十三届胶体与界面化学会议论文摘要集[C];2011年
5	刘卫东;薛耀国;朱长纯;;硅尖阵列电泳法淀积金刚石微粉及其场发射特性研究[A];中国电子学会真空电子学分会第十一届学术年会论文集[C];1997年

中国重要报纸全文数据库

前1条

1	本报记者刘肖勇通讯员刘楚珠;打造显示技术创新中心[N];广东科技报;2010年

中国博士学位论文全文数据库

前1条

1	齐殿鹏;三维抗反射结构的构筑及其性能研究[D];吉林大学;2012年

中国硕士学位论文全文数据库

前3条

1	陈涛;碳纳米复合材料的制备以及场发射特性研究[D];电子科技大学;2010年
2	于海波;场发射冷阴极尖锥制备及其性能研究[D];电子科技大学;2006年
3	刘宇;硅基纳米图形结构的制备及其在发光器件与太阳能电池中的应用[D];南京大学;2011年

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