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《液晶与显示》 2006年02期
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基于磁控溅射技术的ZAO透明导电薄膜及靶材的研究

肖华  王华  任鸣放  
【摘要】:阐述用磁控溅射技术制备综合性能优良的ZAO透明导电薄膜及其靶材的发展现状和趋势。介绍了透明导电薄膜的基本性能及其存在的问题,进而重点阐述了ZAO薄膜的组织结构、导电机制和透光特性。由于其优良的光电特性(用掺杂Al2O3质量分数达3%的溅射靶材可制备电阻率达4.7×10-4Ω·cm、透射率超过90%的ZAO薄膜)而具有广泛的应用前景。并针对靶材的制备和利用磁控溅射技术制备ZAO透明导电薄膜过程中存在的问题及发展方向进行了分析讨论。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 马颖;吕庆莉;张方辉;袁桃利;张麦丽;;锡掺杂对ITO膜方阻和结构的影响[J];液晶与显示;2006年05期
2 侯旭峰;荆海;谷长栋;张会平;;高阻ITO基板上电化学沉积ZnO薄膜的研究[J];液晶与显示;2007年01期
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前8条
1 赵大庆,范锦鹏,吴敏生,董民超;ZAO陶瓷烧结模型的研究[J];粉末冶金技术;2002年05期
2 范锦鹏,赵大庆,吴敏生,董民超;用纳米Al_2O_3制备超高致密度ZAO靶材[J];粉末冶金技术;2005年01期
3 龙涛,朱德贵,王良辉;高导电性ZAO陶瓷靶材及薄膜的制备[J];电子元件与材料;2004年02期
4 赵谢群;透明导电氧化物薄膜研究现状与产业化进展[J];电子元件与材料;2000年01期
5 边继明,李效民,张灿云,赵俊亮,于伟东,高向东;氮-铟共掺杂ZnO薄膜的制备及表征[J];液晶与显示;2005年03期
6 吴智华,蒋丹宇,张骋;陶瓷溅射靶材的发展与应用[J];陶瓷科学与艺术;2004年01期
7 葛春桥,薛亦渝,夏志林;AZO透明导电薄膜的制备技术、光电特性及应用[J];真空电子技术;2004年06期
8 孟扬,杨锡良,陈华仙,沈杰,蒋益明,章壮健,华中一;新型透明导电薄膜In_2O_3∶Mo[J];真空科学与技术学报;2000年05期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李世平;李玲;;溶胶-凝胶法制备ZnO:Al(ZAO)薄膜的光电特性[J];半导体技术;2006年10期
2 耿茜;汪建华;王升高;;射频溅射法生长ZnO薄膜的参数研究[J];微纳电子技术;2007年05期
3 王文文,刁训刚,王峥,王天民;直流磁控溅射ZnO:Al薄膜的光电和红外发射特性[J];北京航空航天大学学报;2005年02期
4 王敏,蒙继龙;透明导电氧化物薄膜的研究进展[J];表面技术;2003年01期
5 周宏明;易丹青;杨小玲;;ITO薄膜的生产技术概况及发展趋势探讨[J];表面技术;2006年01期
6 董玉峰,王万录,廖克俊,吴彬;氧浓度和衬底温度对透明导电Cd_2SnO_4薄膜光学性质的影响[J];重庆邮电学院学报(自然科学版);1999年04期
7 王华;透明导电氧化物薄膜及其制备方法[J];材料工程;2005年09期
8 朱月秀,王德苗;SnO_2膜导电玻璃性能的研究[J];材料科学与工程;2002年01期
9 李世涛;乔学亮;陈建国;;氧流量对铟锡氧化物薄膜光电性能的影响[J];稀有金属材料与工程;2006年01期
10 裴志亮,谭明晖,杜昊,陈猛,孙超,黄荣芳,闻立时;ZnO:Al薄膜的组织结构与性能[J];材料研究学报;2000年05期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 王涛;刁训刚;丁芃;舒远杰;武哲;;磁控溅射低温制备ZnO:Al透明导电薄膜及其特性研究[A];2006年材料科学与工程新进展——“2006北京国际材料周”论文集[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前7条
1 范志新;电子薄膜材料最佳掺杂含量的理论研究[D];河北工业大学;2002年
2 马勇;ZnO薄膜制备及性质研究[D];重庆大学;2004年
3 王海燕;硅基太阳能电池陷光材料及陷光结构的研究[D];郑州大学;2005年
4 徐甲强;氧化物纳米材料的合成、结构与气敏特性研究[D];上海大学;2005年
5 李喜峰;新型透明导电氧化物薄膜的研究[D];复旦大学;2006年
6 张越举;爆炸压实烧结纳米陶瓷粉末研究[D];大连理工大学;2007年
7 宋宁;超声—微波化学共沉淀法制备ITO和CIO纳米粉体的研究[D];昆明理工大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张兴旺;氧化物透明导电薄膜的溶胶—凝胶法制备[D];西安理工大学;2002年
2 黄昱勇;光学薄膜在投影显示和光开关中的应用[D];浙江大学;2002年
3 董建华;透明导电In_2O_3:Sn和ZnO:Al薄膜的制备及其特性研究[D];重庆大学;2002年
4 张聚宝;喷雾热分解法制备SnO_2:Sb薄膜及其性能研究[D];浙江大学;2003年
5 吕军华;In_2O_3/SnO_2纳米粉制备表征与表面修饰研究[D];南京工业大学;2003年
6 夏志林;电子束蒸发制备AZO薄膜的光电性能研究[D];武汉理工大学;2004年
7 刘永红;透明导电薄膜与微细图形的制备[D];西安理工大学;2004年
8 王树林;ITO薄膜的制备及性能研究[D];武汉理工大学;2004年
9 余俊;溅射法制备ZAO透明导电薄膜及其光电性能的研究[D];武汉理工大学;2004年
10 汤文兵;纳米ZnO的光学特性及其纳米涂层激光散射特性研究[D];南京理工大学;2004年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张泰华;纳米硬度计在MEMS力学检测中的应用[J];微纳电子技术;2003年Z1期
2 叶志镇,陈汉鸿,刘榕,张昊翔,赵炳辉;直流磁控溅射ZnO薄膜的结构和室温PL谱[J];半导体学报;2001年08期
3 范志新,孙以材,陈玖琳;氧化物半导体透明导电薄膜的最佳掺杂含量理论计算[J];半导体学报;2001年11期
4 吕建国,叶志镇,黄靖云,赵炳辉,汪雷;退火处理对ZnO薄膜结晶性能的影响[J];半导体学报;2003年07期
5 余旭浒,马瑾,计峰,王玉恒,王翠英,马洪磊;射频磁控溅射制备ZnO∶Ga透明导电膜及特性[J];半导体学报;2005年02期
6 李剑光,叶志镇,赵炳辉,袁骏;硅基上直流反应磁控溅射沉积优质ZnO薄膜及其性能研究[J];半导体学报;1996年11期
7 陈源,张德恒,马瑾,杨田林;不同有机衬底上沉积的ZnO ∶Al透明导电膜的研究[J];半导体杂志;1999年03期
8 徐美君;ITO透明导电膜玻璃生产及应用[J];玻璃与搪瓷;2001年02期
9 庄大明,张弓,刘家浚;功能薄膜的研究现状与应用前景[J];中国表面工程;2001年04期
10 王敏,蒙继龙;透明导电氧化物薄膜的研究进展[J];表面技术;2003年01期
中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 秦秀娟;纳米氧化锌常压/超高压下的烧结及其结构与性能[D];燕山大学;2005年
2 车平;ZnO基稀磁半导体的制备与性质研究[D];中国科学院研究生院(长春应用化学研究所);2005年
3 李喜峰;新型透明导电氧化物薄膜的研究[D];复旦大学;2006年
4 李雪梅;扫描电化学显微术构建金和辣根过氧化物酶微图形[D];山东大学;2007年
5 马全宝;透明的高导电近红外反射ZnO:Ga薄膜的制备及特性研究[D];浙江大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张坤;二氧化硅均匀颗粒的制备及其胶体晶体的组装[D];华东师范大学;2005年
2 周英;溶胶—凝胶法制备ZnO薄膜[D];电子科技大学;2005年
3 李征;液相法制备掺铝氧化锌导电材料[D];河北师范大学;2006年
4 徐自强;ZnO:Al薄膜光禁带的调控性研究[D];电子科技大学;2006年
5 祁源;蛋白质在金刚石和玻碳表面的共价修饰及电化学生物传感[D];同济大学;2007年
6 殷胜东;ZnO:Al薄膜的制备及其性质的研究[D];重庆师范大学;2007年
7 崔蕾;扫描电化学显微镜控制及数据处理软件的研究[D];山东大学;2007年
8 蒋松涛;电化学沉积法制备ZnO薄膜的研究[D];电子科技大学;2007年
9 李金丽;射频溅射掺铝ZnO薄膜工艺及其光电性能研究[D];电子科技大学;2007年
10 方成;电化学微传感器设计及应用[D];桂林工学院;2006年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前8条
1 陈源,张德恒,马瑾,杨田林;不同有机衬底上沉积的ZnO ∶Al透明导电膜的研究[J];半导体杂志;1999年03期
2 王敏,蒙继龙;透明导电氧化物薄膜的研究进展[J];表面技术;2003年01期
3 赵大庆,范锦鹏,吴敏生,董民超;ZAO陶瓷烧结模型的研究[J];粉末冶金技术;2002年05期
4 陈猛,白雪冬,黄荣芳,闻立时;柔性基片上In_2O_3:Sn和ZnO:Al薄膜的制备及其电学和光学特性[J];金属学报;1999年04期
5 陈建勋,赵瑞荣,秦毅红;影响氧化锌压敏陶瓷电性能的因素[J];矿冶工程;1999年01期
6 李燕,陈希明,熊英,杨保和;溅射法生长高度取向ZnO的实验研究[J];液晶与显示;2004年03期
7 唐沪军,沈杰,陈华仙,杨锡良,顾元壮,章壮健;介质薄膜的透射光谱测量及其光学参数的分析[J];真空科学与技术学报;1997年06期
8 范志新,陈玖琳,孙以材;AZO透明导电薄膜的特性、制备与应用[J];真空;2000年05期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 赵庆勋;张婷;马继奎;魏大勇;王宽冒;刘保亭;;沉积温度对磁控溅射BiFeO_3薄膜结构和性能的影响[J];人工晶体学报;2011年04期
2 黄秋实;李浩川;朱京涛;王晓强;蒋励;王占山;唐永建;;磁控溅射制备的W,WSi_2,Si单层膜和W/Si,WSi_2/Si多层膜应力[J];强激光与粒子束;2011年06期
3 赵志明;丁宇;曹智睿;田亚萍;屈直;张国君;蒋百灵;;CIGS薄膜太阳能电池用Mo背电极的制备与结构性能研究[J];材料导报;2011年12期
4 黄新丽;马书懿;马李刚;孙爱民;;生长ZnO薄膜的氧分压对ZnO/PS体系光学性能的影响[J];光电子.激光;2011年09期
5 廉玉东;朱亚彬;何帆;崔兆邦;张凯令;安垚;;磁控溅射法制备ZnO/YBCO异质结及电学特性[J];低温与超导;2011年07期
6 朱慧群;李毅;周晟;黄毅泽;佟国香;孙若曦;张宇明;郑秋心;李榴;沈雨剪;方宝英;;纳米VO_2/ZnO复合薄膜的热致变色特性研究[J];物理学报;2011年09期
7 翁卫祥;贾贞;于光龙;李昱;郭太良;;Cr/Cu/Ag/Cu/Cr新型银基复合薄膜电极的防氧化性能研究[J];真空科学与技术学报;2011年04期
8 弥谦;潘婷;袁渊明;;磁约束磁控溅射源工作特性及沉积速率的分析[J];西安工业大学学报;2011年03期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 陈吉星;朱德亮;李清华;马晓翠;贾芳;曹培江;吕有明;;退火对Co掺杂ZnO薄膜电磁性能的影响[A];第十五届全国化合物半导体材料,微波器件和光电器件学术会议论文集[C];2008年
2 亢原彬;刘思鹏;王晖;邓湘云;李德军;;磁控溅射参数对ZrB_2/ZrAlN纳米多层膜结构和性能的影响[A];TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2007年
3 孙瑜;阎晓庆;董军;杜亚冰;张正龙;刘晓静;高斐;郑海荣;;多孔阵列银膜结构的表面荧光增强效应[A];2011西部光子学学术会议论文摘要集[C];2011年
4 孙文立;光磊;陆文琪;徐军;;沉积偏压及N2流量对a-CNx膜成分、结构和性能的影响[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
5 吴小丽;熊长新;李钱陶;何光宗;;ZnS基底红外双波段保护膜研究[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
6 朱京涛;王蓓;徐垚;张众;王洪昌;王风丽;陈玲燕;王占山;;类镍钽软X射线激光用多层膜反射镜的研制[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
7 胡作启;;复合CrCO-Ti保护薄膜的热稳定性研究[A];陶瓷——金属封接与真空开关管用管壳技术进步专辑[C];2007年
8 田修波;吴忠振;巩春志;杨士勤;;高脉冲功率磁控溅射电源及放电特性研究[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
9 金沈贤;钟智勇;任学恒;张怀武;;Fe_3O_4缓冲层对CoFe_2O_4薄膜磁性能的影响[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(3)[C];2007年
10 袁渊明;弥谦;潘婷;;磁场强度对磁约束磁控溅射源工作状态的影响[A];2010年西部光子学学术会议摘要集[C];2010年
中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 黄烽;新型功能光学薄膜的磁控溅工艺及物性研究[D];中国科学技术大学;2009年
2 隋瑛锐;共掺杂p型ZnO和富氮Zr-N薄膜的制备、性能及表征[D];吉林大学;2010年
3 王云锋;复合类金刚石薄膜的制备及其摩擦性能研究[D];兰州大学;2012年
4 高丽丽;N掺杂p型Mg_xZn_(1-x)O薄膜的制备及相关问题的研究[D];吉林大学;2011年
5 任乃飞;飞秒激光纳米钴薄膜超快动力学特性研究[D];江苏大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张波;ZnO薄膜的制备及其掺杂研究[D];东华大学;2006年
2 韩敏;基于磁控溅射技术制备高效SERS基底的研究[D];首都师范大学;2008年
3 刘嘉;蓝宝石单晶表面生长增强用镁铝尖晶石薄膜研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
4 张明明;低介电常数CN_x薄膜的制备研究[D];大连理工大学;2008年
5 倪晟;磁控溅射制备TiAlN和ZnO薄膜的研究[D];华东师范大学;2006年
6 辛萍;反应磁控溅射ZnO薄膜多量子阱及合金特性研究[D];大连理工大学;2007年
7 韩彬;ZnO:In薄膜的制备及其光电性能研究[D];北京化工大学;2009年
8 朱宇峰;低溅射率MCP防离子反馈膜实验研究[D];南京理工大学;2004年
9 朱丽;氟化类金刚石薄膜疏水性能研究[D];苏州大学;2009年
10 武德起;含Ni-Al薄膜的硅基铁电电容器研究[D];河北大学;2006年
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