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《压电与声光》 2009年01期
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非晶态TeO_2/36°Y-X LiTaO_3 SAW基板

商晓莉  公勋  熊军  章德  
【摘要】:研究了非晶态TeO2/36°Y-X LiTaO3层状结构的延迟温度系数(TCD),并计算了该结构中声表面波(SAW)的其他重要特性,如声波模式和机电耦合系数(k2)。非晶态TeO2薄膜作为一种新型具有负温度系数的材料,当将其沉积于具有正温度系数的36°Y-X LiTaO3上时,在膜厚仅为传统SiO2薄膜的1/3情况下就可实现零延迟温度系数。另外,该结构中被利用的1阶Love波模式很纯,没有和其他模式明显的耦合,而且其k2高达8.61%。故此结构是一种具有广泛应用前景的新型复合SAW应用材料。

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