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半导体复合机能压力传感器

阿波俊一郎  夏海成  
【摘要】:该文讨论复合机能压力传感器的工作原理。以差压检测器为例,说明复合机能压力传感器的应用。利用该传感器,可以从差压、静压求得质量流量。在气体条下,还可对压力的影响进行修正。今后,若数字传输信号达到标准化,使用多路信息传输技术,复合机能传感器的价值会得到更大的发挥。

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