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《仪表技术与传感器》 1998年06期
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微机械加工技术发展概况(二)

鲍敏杭  
【摘要】:微机械加工技术发展概况(二)鲍敏杭复旦大学电子工程系,传感技术国家实验室上海市2002337表面平整化技术表面平整化技术是为大规模集成电路开发的一种工艺技术。它是利用化学机械抛光方法将因金属化加工而变得起伏的硅片表面变得平整,为进一步加工提供更好的...
【作者单位】复旦大学电子工程系
【分类号】:TN4,TP212

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 王立鼎,刘冲;微机电系统科学与技术发展趋势[J];大连理工大学学报;2000年05期
2 张贵钦;微机电系统(MEMS)研究现状及展望[J];组合机床与自动化加工技术;2002年07期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 席占稳;MEMS传感器及在引信中的应用研究[D];南京理工大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 范勇;压电致动式微泵的驱动装置结构分析与设计[D];西安电子科技大学;2001年
2 陈鲁疆;复合量程压阻式加速度传感器阵列的研究[D];中北大学;2006年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李路明,王立鼎;MEMS研究的新进展——微型系统及其发展应用的研究[J];光学精密工程;1997年01期
2 周兆英,叶雄英,崔天宏,张联;微米纳米技术及微型机电系统[J];光学精密工程;1998年01期
3 刘青;21 世纪的关键技术——微电子机械系统[J];航空工程与维修;1998年02期
4 姚林泉,胡银燕,俞焕然;具有压电材料弹性环形板的屈曲[J];力学学报;1998年02期
5 庞江涛,刘理天,李志坚;硅集成微型泵系统的优化设计和兼容工艺研究[J];清华大学学报(自然科学版);1999年S1期
6 尹执中,胡桅林,过增元;热驱动薄膜式微型泵性能的初步分析[J];仪器仪表学报;2000年02期
7 王晓浩,周兆英,张文栋,叶雄英;聚酰亚胺微型阀及其加工工艺[J];中国机械工程;1999年02期
8 温诗铸,李娜;微型机械与纳米机械学研究[J];中国机械工程;1996年02期
9 范宁军,马宝华;引信安全系统解除保险过程的数学分析[J];兵工学报;1992年03期
10 范宁军,马宝华;引信安全系统某些性质的理论研究[J];兵工学报;1994年02期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 孔德义;陶永春;梅涛;倪林;张涛;路巍;张正勇;王锐;;一种用于探测爆炸物微粒的MEMS敏感阵列设计及制作[A];第五届全球智能控制与自动化大会会议论文集(4)[C];2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 王长虹;阵列式硅压力加速度传感器研究[D];哈尔滨工程大学;2003年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 赵运才,李克安;微机电系统技术及其应用[J];湖南理工学院学报(自然科学版);2004年04期
2 褚金奎,郝秀春,王立鼎;拓扑优化方法的研究现状及在微机构设计中的应用[J];微纳电子技术;2003年Z1期
3 马官营;颜国正;于莲芝;施建;;人体消化道内微机电系统线圈耦合系数分析[J];北京生物医学工程;2006年05期
4 王沫然,李志信;基于MEMS的微泵研究进展[J];传感器技术;2002年06期
5 徐鹏,祖静,林祖森;微加速度计的力学分析[J];传感器技术;2002年06期
6 李新,唐祯安,徐军;用于微机电系统的类金刚石膜制备及表征[J];材料研究学报;2004年06期
7 李强,吴宇列,李圣怡;经济型微机电台阶测量仪的研究[J];航空精密制造技术;2005年03期
8 黄凯;微泵概念设计的FBS模型[J];机械工程师;2002年06期
9 郝秀春,褚金奎,王立鼎;微夾钳的拓扑优化设计[J];机械科学与技术;2004年11期
10 王海容,赵则祥,蒋庄德;大行程纳米分辨率加载机构的研制[J];机械强度;2001年04期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 王立鼎;;中国MEMS的研究与开发进程(简稿)[A];MICONEX2002仪器仪表与自动化技术发展学术大会会议指南[C];2002年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 梁军生;微型直接甲醇燃料电池结构、工艺及阳极气液输运研究[D];大连理工大学;2007年
2 王涛;高g值环境典型微结构动态特性及其测试技术研究[D];大连理工大学;2008年
3 王卫东;面向MEMS设计的微流体流动特性研究[D];西安电子科技大学;2007年
4 陈明祥;基于感应加热的MEMS封装技术与应用研究[D];华中科技大学;2006年
5 贾智;微电子机械系统中新型电磁微电机的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
6 曹彬;微通道反应器的传递和反应特性[D];中国科学院研究生院(大连化学物理研究所);2005年
7 白兰;基于MEMS的无阀泵数值仿真与实验研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
8 佟建华;压电双晶梁在微电机及微力传感器上的应用研究[D];大连理工大学;2006年
9 柯才军;微透镜阵列的设计、制作及与CCD的集成技术[D];华中科技大学;2005年
10 金翠云;MEMS平面微运动测量的若干关键技术研究[D];天津大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 宫献华;微尺度流动阻力特性的研究[D];浙江大学;2007年
2 王忠林;双环境信息采集处理系统的设计与识别算法的研究[D];南京理工大学;2007年
3 林胜勇;MEMS中多能量场耦合问题数值方法研究[D];西北工业大学;2001年
4 王英翘;三维微操作运动及定位控制的研究[D];大连理工大学;2002年
5 宋展;显微图象特征匹配与三维显示初步研究[D];大连理工大学;2003年
6 唐华锋;MEMS工艺集成化设计及其可视化[D];西北工业大学;2003年
7 李仁锋;MEMS高g值加速度计设计技术研究[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2003年
8 李勇;微夹持理论与系统的研究[D];清华大学;2002年
9 杨朝辉;扁平驻极体微电机的研究与仿真[D];西北工业大学;2004年
10 陈宏江;显微立体视觉系统中立体匹配的研究[D];河北工业大学;2004年
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2 李元奇;国外CAD系统发展概况[J];中国机械工程;1983年06期
3 王吉生;我国电子陶瓷的发展概况[J];电子元件与材料;1983年06期
4 ;结构CAD发展概况及现状[J];计算机工程与设计;1983年01期
5 張綸;压力传感器的技术发展动向[J];测控技术;1983年02期
6 王健良;;苏联热成象技术的发展概况[J];红外技术;1983年03期
7 尹世民;;国内外显象管发展概况及产品市场动态的调研和分析[J];真空电子技术;1983年01期
8 良忠;计算力学的发展概况[J];龙岩师专学报;1984年01期
9 鲁德双;双电层电容器发展概况[J];电子元件与材料;1984年04期
10 薛泉林;;国外战术电台的发展概况及其动向[J];通信技术;1984年Z1期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 彭荣;王爱民;;浅析空气分布器在我国发展概况[A];全国暖通空调制冷1996年学术年会资料集[C];1996年
2 王爱民;彭荣;李显峰;杨渭根;李永维;党珊珊;;防火节能伸缩风管在我国研制开发发展概况[A];全国暖通空调制冷1998年学术年会资料集(1)[C];1998年
3 李夏莉;李树林;;溴化锂吸收式制冷机的发展及选择[A];第九届全国冷水机组与热泵技术学术会议论文集[C];1999年
4 张为斌;方竞;;微机械陀螺仪的理论和设计基础[A];计算力学研究与进展——中国力学学会青年工作委员会第三届学术年会论文集[C];1999年
5 欧阳汝颖;;香港80年代的汉语教育发展概况[A];第二届国际汉语教学讨论会论文选[C];1987年
6 童申;;中国饮料工业发展概况[A];中国机械工程学会包装与食品工程分会第四届学术年会论文集[C];1995年
7 曾尤;周祖福;;雅克力卫生洁具的国内外发展概况[A];第十一届玻璃钢/复合材料学术年会论文集[C];1995年
8 王豫新;;钨业的回顾与展望[A];中国钨工业回顾与展望研讨会论文集[C];1993年
9 田铁梁;;天津汽车涂料概况及发展方向[A];材料科学与工程技术——中国科协第三届青年学术年会论文集[C];1998年
10 郭增建;;我国天灾预测的综合地球物理研究[A];《地球物理学报》纪念中国地球物理学会50周年专刊[C];1997年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 吴凤展 刘志明 熊伟胜;我国双向拉伸聚苯乙烯(BOPS)行业的发展概况和几点建议[N];中国包装报;2000年
2 张子龙;世界电力发展概况[N];中国电力报;2000年
3 通讯员 刘宇辉;丁石孙副委员长考察六0三所和西工大[N];中国航空报;2000年
4 彭华彰;一场生动的报告会[N];中国审计报;2000年
5 国土资源部土地整理中心 彭群;我国土地整理产业化概述[N];中国证券报;2000年
6 罗凤礼;战后西方心理史学发展概况[N];光明日报;2000年
7 ;共商法制新闻工作新思路[N];工人日报;2000年
8 国土资源部土地整理中心 彭群;土地整理与其产业化[N];甘肃经济日报;2000年
9 ;世界内河航运发展概况[N];国际经贸消息;2000年
10 ;我国农业技术推广发展概况[N];经济日报;2000年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 张流强;基于微机械的光调制热成像器件研究[D];中国科学院上海冶金研究所;2000年
2 吕琼莹;微机械压电微电机原型机的研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2001年
3 陈德勇;微机械谐振梁压力传感器研究[D];中国科学院研究生院(电子学研究所);2002年
4 徐峥谊;微机械热电堆红外探测器[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2002年
5 宗登刚;微机械材料力学性能测量[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2003年
6 贾智;微电子机械系统中新型电磁微电机的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
7 郭占社;基于微机械工艺的电磁型平面微电机的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
8 熊斌;栅结构微机械振动式陀螺[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2001年
9 董林玺;微机械电容式传感器及其相关特性研究[D];浙江大学;2004年
10 董玮;体硅微机械光开关的设计与制作工艺的研究[D];吉林大学;2004年
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1 金虎;悬臂梁结构微机械压阻式加速度传感器研究[D];中国科学院上海冶金研究所;2000年
2 赵洪策;桌面式微型工厂的建模和仿真与可视化关键技术研究[D];西北工业大学;2001年
3 田锋;微机械微腔阵列结构生物传感器的制备和表征[D];中国科学院上海冶金研究所;2001年
4 李浩;小量程悬臂梁微机械压阻式加速度传感器研究[D];中国科学院上海冶金研究所;2001年
5 刘东栋;一种基于体硅微机械工艺的微机械光开关的研究[D];浙江大学;2002年
6 黎海文;微摩擦测试仪中微力传感器的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2002年
7 黄全平;高量程微机械压阻式加速度传感器研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2002年
8 郝颖;微机械加速度计的测试与应用研究[D];哈尔滨工程大学;2002年
9 陈广文;基于MEMS的微机械射频开关的研究和设计[D];厦门大学;2002年
10 王卫东;微机械加工压力传感器的研究[D];哈尔滨工程大学;2003年
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