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微气体敏感单元实验平台

朱斌  殷晨波  陶春旻  张子立  
【摘要】:为了安全、方便、可靠地进行微气体敏感单元气敏性实验,设计了一套微气体敏感单元实验平台,包括配气系统、反应室和检测系统。利用组态软件作为软、硬件的连接桥梁,实现了在计算机中对采集到的数据进行处理和存储。制备了SnO2敏感薄膜,通过实验平台测试测得灵敏度约75,响应时间约2 s,回复时间约200 s.实验验证了该实验平台的可靠性。

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